맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

화학 기상 침착 장치(Chemical vapor infiltration device)

  • 기술번호 : KST2017008691
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예는 화학 기상 침착 장치에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 탄화 규소 기지상이 형성되는 공정 챔버에서 공정 가스가 흘러 들어 오는 시편 입구에서의 온도가 가장 낮고, 공정 가스가 흘러 나가는 시편 출구에서의 온도가 가장 높음으로써, 상대적으로 밀도가 높고 기계적 특성이 우수한 탄화 규소 섬유 강화 탄화 규소 복합체(SiCf/SiC)를 제조할 수 있는 화학 기상 침착 장치를 제공하는데 있다.이를 위해 본 발명은 하부에 공정 가스의 주입구가 연결되고, 상부에 공정 가스의 배출구가 연결되며, 내부에 위치된 탄화 규소 섬유가 상기 공정 가스와 반응하여 탄화 규소 복합체가 제조되도록 하는 공정 챔버; 및 상기 공정 챔버의 상부에 결합되어 상기 탄화 규소 섬유에 열을 제공하는 상부 히터로 이루어진 화학 기상 침착 장치를 개시한다.
Int. CL C23C 16/32 (2015.12.08) C23C 16/44 (2015.12.08) C23C 16/455 (2015.12.08)
CPC C23C 16/325(2013.01) C23C 16/325(2013.01)
출원번호/일자 1020150152911 (2015.11.02)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0050870 (2017.05.11) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.11.02)
심사청구항수 2

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 최균 대한민국 서울시 서초구
2 서진원 대한민국 경기도 파주시

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김호종 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **-*, *층 (역삼동, 신도빌딩)(태산특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 경상남도 진주시 소호로 ***
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.11.02 수리 (Accepted) 1-1-2015-1061294-14
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2016.06.24 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2016.08.10 수리 (Accepted) 9-1-2016-0034258-12
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0858822-40
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.01.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0099864-08
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.01.31 수리 (Accepted) 1-1-2017-0099830-56
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2017.06.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0410175-68
8 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
 2017.07.14 수리 (Accepted) 1-1-2017-0675561-24
9 법정기간연장승인서
 2017.07.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0099994-17
10 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2017.08.14 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-0780565-47
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.08.14 수리 (Accepted) 1-1-2017-0780500-91
12 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2017.09.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0666472-05
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하부에 공정 가스의 주입구가 연결되고, 상부에 공정 가스의 배출구가 연결되며, 내부에 위치된 탄화 규소 섬유가 상기 공정 가스와 반응하여 탄화 규소 복합체가 제조되도록 하는 공정 챔버와상기 공정 챔버의 상부에 결합되어 상기 탄화 규소 섬유에 열을 제공하는 상부 히터와하단이 상기 탄화 규소 섬유의 상단보다 높도록 상기 공정 챔버의 측부에 결합되어 상기 탄화 규소 섬유에 열을 제공하는 측부 히터와상기 공정 챔버의 상부 중앙에 연결된 버퍼 챔버와그래파이트 벌크로 형성되고, 상부 중앙에서 하부 방향으로 형성되면서 상기 주입구와 연결되는 요홈을 구비하며 상기 공정 챔버의 하부에 설치되어 상기 탄화 규소 섬유가 상부에 위치되는 열전도부와상기 열전도부의 하부에 위치되어 열전달을 방지하는 단열부 및상기 단열부의 하부에 위치되어 냉각을 수행하는 냉각부 및상기 요홈에 위치하며, 상면에 상기 탄화 규소 섬유가 안착되는 다공성 열전도체를 포함하며,상기 배출구는 상기 버퍼 챔버의 중앙 또는 측부에 연결되며,상기 공정 챔버에서 상기 공정 가스가 흘러나가는 상기 탄화 규소 섬유의 상부 영역 온도를 상기 공정 가스가 흘러 들어오는 상기 탄화 규소 섬유의 하부 영역 온도보다 높게 하여 상기 탄화 규소 섬유와 공정 가스와 반응하여 형성되는 탄화 규소 기지상이 상기 탄화 규소 섬유의 상부에서부터 하단의 방향으로 순차적으로 증착되도록 함을 특징으로 하는 화학 기상 침착 장치
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
삭제
9 9
삭제
10 10
삭제
11 11
삭제
12 12
삭제
13 13
삭제
14 14
삭제
15 15
삭제
16 16
삭제
17 17
제 1 항에 있어서,상기 주입구는 상기 냉각부, 단열부 및 열전도부를 관통하여 상기 공정 챔버에 연결된 것을 특징으로 하는 화학 기상 침착 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.