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열전도성이 우수한 질화규소 소결체의 제조방법(Manufacturing method of silicon nitride sintered body having high thermal conductivity)

  • 기술번호 : KST2017008694
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 질화규소 분말, Ti, Ta, W 및 Nb 중에서 선택된 1종 이상의 전이금속 분말, MgO 분말 및 Y2O3 분말을 혼합하여 혼합분말을 형성하는 단계와, 상기 혼합분말을 목표하는 형태로 성형하는 단계 및 성형된 결과물을 소결하는 단계를 포함하는 질화규소 소결체의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 질화규소의 표면에 존재하는 산소 불순물이 결정 내부로 이동하는 것을 억제하여 입자 또는 입계에 존재하는 불순물의 양이 최소화되고 열전도 특성을 향상시킬 수 있다.
Int. CL C04B 35/584 (2015.12.22) C04B 35/593 (2015.12.22) C04B 35/64 (2015.12.22) C04B 35/645 (2015.12.22)
CPC C04B 35/593(2013.01) C04B 35/593(2013.01) C04B 35/593(2013.01) C04B 35/593(2013.01) C04B 35/593(2013.01) C04B 35/593(2013.01) C04B 35/593(2013.01)
출원번호/일자 1020150158546 (2015.11.12)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0055639 (2017.05.22) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.11.12)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 도환수 대한민국 경상남도 창원시 성산구
2 김경훈 대한민국 경기도 안산시 상록구
3 박주석 대한민국 경기도 광명시 디지털로 **,
4 임종인 대한민국 서울특별시 노원구
5 김경자 대한민국 경기도 군포시 금산로 **, *
6 김성훈 대한민국 경상남도 진주시 대신로***번

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 고길수 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로**길 **, *층 (서초동)(정석국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 경상남도 진주시 소호로 ***
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.11.12 수리 (Accepted) 1-1-2015-1101376-87
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2016.03.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2016.04.11 수리 (Accepted) 9-1-2016-0017570-09
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.05.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0350149-95
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.07.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0679587-04
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.07.17 수리 (Accepted) 1-1-2017-0679602-02
7 등록결정서
Decision to grant		 2017.10.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0738375-96
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
질화규소 분말, Ti, Ta, W 및 Nb 중에서 선택된 1종 이상의 전이금속 분말, MgO 분말 및 Y2O3 분말을 혼합하여 혼합분말을 형성하는 단계;상기 혼합분말을 목표하는 형태로 성형하는 단계; 및성형된 결과물을 소결하는 단계를 포함하며,상기 혼합분말은 상기 질화규소 분말 100중량부에 대하여 MgO 분말 0
2 2
제1항에 있어서, 상기 혼합분말은 상기 질화규소 분말 100중량부에 대하여 Al2O3 분말 0
3 3
제1항에 있어서, 상기 혼합분말은 상기 질화규소 분말 100중량부에 대하여 CaO 분말 0
4 4
제1항에 있어서, 상기 성형하는 단계는, 상기 혼합분말에 10∼80MPa의 압력을 가하여 성형하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 질화규소 소결체의 제조방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 소결하는 단계는, 성형된 결과물을 퍼니스에 장입하는 단계;펌프를 작동시켜 상기 퍼니스 내에 존재하는 불순물 가스를 배기하는 단계; 상기 퍼니스의 온도를 질화규소의 용융 온도보다 낮은 목표하는 소결 온도로 상승시키는 단계; 상기 소결 온도에서 상기 혼합분말의 성형체에 압력을 가하면서 소결시키는 단계; 및상기 퍼니스를 냉각하여 질화규소 소결체를 얻는 단계를 포함하는 질화규소 소결체의 제조방법
6 6
제5항에 있어서, 상기 소결 온도는 1700∼1950℃ 범위인 것을 특징으로 하는 질화규소 소결체의 제조방법
7 7
제5항에 있어서, 상기 혼합분말의 성형체에 가해지는 압력은 10∼80MPa 범위인 것을 특징으로 하는 질화규소 소결체의 제조방법
8 8
제1항에 있어서, 상기 소결하는 단계는 질소(N2) 가스 분위기에서 수행하는 것을 특징으로 하는 질화규소 소결체의 제조방법
9 9
삭제
10 10
제1항에 있어서, 상기 질화규소 분말은 α-Si3N4 상을 갖는 분말로 이루어진 것을 특징으로 하는 질화규소 소결체의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.