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기판을 준비하는 단계;상기 기판 상에 금속 산화물을 포함하는 전구체 용액(precursorsolution)을 코팅하는 단계; 및상기 전구체 용액 상에 극단파 백색광(IntensePulsed Light)을 조사하는 방법으로, 상기 전구체 용액을 소결하여, 상기 전구체 용액 내에 상기 금속 산화물을 포함하는 결정 구조체(crystal structure)를 형성하는 단계를 포함하되,상기 전구체 용액 상에 상기 극단파 백색광을 조사하기 전,상기 전구체 용액 상에 상기 전구체 용액을 상기 소결하기 위해 조사된 에너지보다 낮은 에너지를 갖는 상기 극단파 백색광을 조사하여 상기 전구체 용액을 열분해(pyrolysis)하는 것을 포함하는 금속 산화물 박막의 제조 방법
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제1 항에 있어서,상기 전구체 용액은, 란탄(lanthanum)계 페로브스카이트를 포함하는 금속 산화물 박막의 제조 방법
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제1 항에 있어서,상기 전구체 용액을 상기 소결하기 위해 조사되는 에너지가 60~70J/㎠인 것을 포함하는 금속 산화물 박막의 제조 방법
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제1 항에 있어서,상기 전구체 용액을 열분해하는 공정은, 상기 전구체 용액으로부터 유기 용매를 제거하는 것을 포함하는 금속 산화물 박막의 제조 방법
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제1 항에 있어서,상기 전구체 용액을 상기 열분해하는 단계 전,상기 전구체 용액에 포함된 수분을 제거하기 위해 건조 공정(dryingprocess)을 수행하는 것을 더 포함하는 금속 산화물 박막의 제조 방법
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제1 항에 있어서,상기 금속 산화물 박막은, pore가 형성된 다공성 박막(porous thin film)인 것을 특징으로 하는 금속 산화물 박막의 제조 방법
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제1 항에 있어서,상기 기판은, 금속 기판, 실리콘 반도체 기판, 화합물 반도체 기판, 플라스틱 기판, 또는 유리 기판 중 어느 하나인 것을 포함하는 금속 산화물 박막의 제조 방법
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제1 전극(first electrode)을 준비하는 단계;상기 제1 전극 상에 지르코니아(zirconia) 및 세리아(ceria)계 전구체 용액을 코팅한 후, 극단파 백색광(Intense Pulsed Light)을 조사하여 전해질 막을 형성하는 단계; 및상기 전해질 막 상에 란탄(lanthanum)계 페로브스카이트 전구체 용액을 코팅한 후, 상기 극단파 백색광을 조사하는 방법으로 상기 란탄계 페로브스카이트 전구체 용액을 소결하여, 제2 전극(second electrode)을 형성하는 단계를 포함하되,상기 란탄계 페로브스카이트 전구체 용액 상에 상기 극단파 백색광을 조사하기 전,상기 란탄계 페로브스카이트 전구체 용액 상에 상기 란탄계 페로브스카이트 전구체를 상기 소결하기 위해 조사된 에너지보다 낮은 에너지를 갖는 상기 극단파 백색광을 조사하여 상기 란탄계 페로브스카이트 전구체 용액을 열분해하는 것을 포함하는 연료 전지의 제조 방법
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제8 항에 있어서,상기 제2 전극을 형성하는 단계는, 상기 란탄계 페로브스카이트 전구체 용액 상에 60~70J/㎠의 에너지를 갖는 상기 극단파 백색광을 조사하는 것을 포함하는 연료전지의 제조 방법
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제8 항에 있어서, 상기 전해질 막 및 상기 제2 전극은, pore가 형성된 다공성 박막(porous thin film)인 것을 포함하는 연료 전지의 제조 방법
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제8 항에 있어서, 상기 제1 전극은 기판 상에 배치되는 것을 포함하되, 상기 기판은, 금속 기판, 실리콘 반도체 기판, 화합물 반도체 기판, 플라스틱 기판, 또는 유리 기판 중 어느 하나인 것을 포함하는 연료 전지의 제조 방법
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제8 항 내지 제11 항 중에서 어느 한 항에 따라 제조된 연료 전지; 및상기 연료 전지로부터 전력을 공급받아 외부로 송출하는 전력 제어 장치를 포함하는 발전용 연료 전지 시스템
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