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절연 필름의 양면에 전극이 각각 형성된 플라스마 발생 필름에 전압을 인가하는 단계;상기 전극에 인가된 전압의 Vpp값을 측정하는 단계;기준 Vpp값과 상기 측정 Vpp값을 비교하는 단계; 및상기 측정 Vpp값이 상기 기준 Vpp값의 소정 퍼센트 범위에 해당할 경우, 상기 전압 인가를 차단하는 단계를 포함하되,상기 기준 Vpp값은 상기 전극에 상기 전압 인가가 시작된 시점으로부터 기준 시간 동안 상기 전극에서 측정된 Vpp값의 평균값이고,상기 측정 Vpp값은 상기 기준 시간 경과 이후, 상기 기준 시간 단위로 상기 전극에서 측정된 Vpp값의 평균값이며,상기 기준 Vpp값과 상기 측정 Vpp값을 비교하는 단계는 상기 기준 시간 단위로 진행되는 플라스마 발생 제어 방법
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제 1 항에 있어서,상기 전압 인가를 차단하는 단계는 상기 측정 Vpp값이 상기 기준 Vpp값의 99
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전원;절연 필름의 일면에 접지된 전극이 형성되고, 타면에 상기 전원과 연결되는 전극이 형성된 플라스마 발생 필름;상기 전원과 연결되는 전극에 인가된 전압의 Vpp값을 측정하는 Vpp 측정 센서; 및기준 Vpp값과 상기 측정 Vpp값을 비교하고, 상기 측정 Vpp값이 상기 기준 Vpp값의 소정 퍼센트 범위에 해당할 경우, 상기 전원을 오프(off)하는 컨트롤러를 포함하되,상기 기준 Vpp값은 상기 전원과 연결되는 전극에 상기 전압 인가가 시작된 시점으로부터 기준 시간 동안 상기 전원과 연결되는 전극에서 측정된 Vpp값의 평균값이고,상기 측정 Vpp값은 상기 기준 시간 경과 이후, 상기 기준 시간 단위로 상기 전원과 연결되는 전극에서 측정된 Vpp값의 평균값이며,상기 컨트롤러는 상기 기준 시간 단위로 상기 기준 Vpp값과 상기 측정 Vpp값을 비교하는 플라스마 발생 장치
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제 4 항에 있어서,상기 컨트롤러는 상기 측정 Vpp값이 상기 기준 Vpp값의 99
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제 4 항 또는 제 6 항에 있어서,상기 절연 필름의 두께는 수십 마이크로미터이고,상기 접지된 전극와 상기 전원과 연결되는 전극의 두께는 수 내지 수십 마이크로미터이며,상기 플라스마 발생 필름은 플렉시블한 플라스마 발생 장치
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제 4 항 또는 제 6 항에 있어서,상기 접지된 전극은 소정 형상의 패턴으로 제공되며, 상기 전극 패턴은 방향이 전환되는 영역에서 부드러운 곡선으로 제공되는 플라스마 발생 장치
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제 8 항에 있어서,상기 접지된 전극의 패턴의 폭은 0
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제 4 항 또는 제 6 항에 있어서,상기 플라스마 발생 필름에서 생성되는 이산화탄소의 농도는 대기 중의 이산화탄소의 농도보다 큰 플라스마 발생 장치
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