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일정한 온도 이상의 설정 온도를 유지할 수 있고, 회전 가능한 원통형의 튜브로, 상기 튜브로 내에 가스를 공급관을 통하여 공급하는 가스 공급 장치, 상기 튜브로 내의 배가스를 배기관을 통하여 처리하는 배가스 처리 장치, 및 상기 튜브로 내에 일 방향으로 연속적으로 계속 투입되어 회수될 수 있고, 시료 분말을 담는 복수개의 트레이를 포함하는 초고순도 실리카 분말 제조 장치
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제1항에 있어서,상기 튜브로는 폴리에틸렌(PE) 또는 테프론 소재로 제작되는 것인 초고순도 실리카 분말 제조 장치
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제1항에 있어서,상기 가스 공급 장치는 운반 가스를 저장하기 위한 운반 가스 저장부, 반응 가스를 저장하기 위한 반응 가스 공급부, 상기 공급관에 연결되는 운반 가스 공급관, 및 상기 공급관에 연결되는 반응 가스 공급관을 포함하는 것인 초고순도 실리카 분말 제조 장치
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제3항에 있어서,상기 운반 가스는 아르곤으로 이루어지는 것인 초고순도 실리카 분말 제조 장치
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제4항에 있어서,상기 반응 가스는 염소 가스와 염산 가스를 혼합하여 사용되는 것인 초고순도 실리카 분말 제조 장치
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제1항에 있어서,상기 시료 분말은 석영 분말로 이루어지는 것인 초고순도 실리카 분말 제조 장치
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제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 트레이는 상기 튜브로 내에 투입되어 회수될 수 있고, 내부에 가스가 이동될 수 있는 중공부를 갖는 트레이 본체, 상기 트레이 본체의 일측부에 형성되는 삽입홀, 및 상기 트레이 본체의 타측부에 돌출 형성되는 돌출부를 포함하는 것인 초고순도 실리카 분말 제조 장치
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제7항에 있어서,상기 트레이 본체는 원통형으로 형성되는 것인 초고순도 실리카 분말 제조 장치
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제8항에 있어서,상기 트레이 본체의 내주면에 돌출 형성되는 돌출판을 포함하는 것인 초고순도 실리카 분말 제조 장치
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제9항에 있어서,상기 돌출판은 상기 트레이 본체의 내주면에 길이 방향을 따라서 직사각형으로 형성되는 것인 초고순도 실리카 분말 제조 장치
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11
제10항에 있어서,상기 돌출판은 상기 트레이 본체의 내주면에 원주 방향으로 적어도 2개 내지 8개 이상 일정한 간격으로 형성되는 것인 초고순도 실리카 분말 제조 장치
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제11항에 있어서,상기 돌출판은 상기 트레이 본체 전체 높이의 5~20%의 높이가 되도록 제작되는 것인 초고순도 실리카 분말 제조 장치
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제3항에 있어서,상기 운반 가스 공급관에는 운반 가스 공급량 제어 밸브가 설치되는 것인 초고순도 실리카 분말 제조 장치
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제13항에 있어서,상기 반응 가스 공급관에는 반응 가스 공급량 제어 밸브가 설치되는 것인 초고순도 실리카 분말 제조 장치
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제7항에 있어서,상기 트레이의 소재는 최소 99
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