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제1 탱크;상기 제1 탱크 상에 배치되어 상기 제1 탱크에 수용된 유체를 유출하는 복수의 리크홀;상기 제1 탱크와 상기 복수의 리크홀 사이에서 상기 제1 탱크에 수용된 유체의 유출을 제어하는 복수의 리크밸브;상기 제1 탱크 내의 압력을 검출하는 제1 압력센서; 및상기 제1 탱크 내의 압력이 목표압력에 도달하도록 상기 제1 압력센서에서 검출된 압력정보를 이용하여 상기 복수의 리크밸브를 제어하는 제어부; 를 포함하는 압력조절장치
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제1항에 있어서,상기 복수의 리크홀은 서로 상이한 유출량을 가지는 압력조절장치
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제1항에 있어서,상기 제1 탱크에 연결되며, 상기 제1 탱크로 유체를 공급하는 압력 압축기를 더 포함하는 압력조절장치
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제3항에 있어서상기 제어부는 목표압력보다 상기 제1 탱크 내의 압력이 높아지도록 상기 압력 압축기를 제어하고, 상기 제1 탱크 내의 압력이 목표압력에 도달하도록 상기 복수의 리크밸브를 단계적으로 제어하는 압력조절장치
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제1 탱크;상기 제1 탱크 상에 배치되어 상기 제1 탱크에 수용된 유체를 유출하는 복수의 리크홀;상기 제1 탱크와 상기 복수의 리크홀 사이에서 상기 제1 탱크에 수용된 유체의 유출을 제어하는 복수의 리크밸브;상기 제1 탱크 내의 압력을 검출하는 제1 압력센서;상기 제1 탱크와 연결된 제2 탱크;상기 제2 탱크 내의 압력을 검출하는 제2 압력센서; 및 상기 제1 탱크와 상기 제2 탱크 사이에 연결되어 상기 제2 탱크에 수용된 유체의 상기 제1 탱크로의 공급을 제어하는 공급밸브를 포함하고,제어부는 상기 제1 탱크와 상기 제2 탱크 간의 압력차가 설정압력차를 가지도록 상기 제1 압력센서 및 제2 압력센서에서 검출된 압력정보를 이용하여 상기 복수의 리크밸브를 제어하는 스위치 검사 장치
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제5항에 있어서,상기 제어부는 상기 제1 탱크 내에 압력 상승이 발생하도록 상기 공급밸브를 제어하는 스위치 검사 장치
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제5항에 있어서,상기 제2 탱크에 연결되며, 상기 제2 탱크로 유체를 공급하는 압력 압축기를 더 포함하는 스위치 검사 장치
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제7항에 있어서,상기 제어부는 설정압력차보다 상기 제1 탱크와 상기 제2 탱크 간의 압력차가 커지도록 상기 압력 압축기를 제어하고, 상기 제1 탱크와 상기 제2 탱크 간의 압력차가 상기 설정압력차에 도달하도록 상기 복수의 리크밸브를 단계적으로 제어하는 스위치 검사 장치
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제2 탱크 및 압력 상승 검출 스위치와 연결된 제1 탱크로 유체를 공급하는 단계;상기 제1 탱크 및 상기 제2 탱크 내의 압력을 검출하는 단계;상기 제1 탱크 및 상기 제2 탱크 간의 압력차가 설정압력차보다 크면, 상기 제1 탱크에 수용된 유체를 복수의 리크홀을 통해 단계적으로 유출하는 단계;상기 제1 탱크 및 상기 제2 탱크 간의 압력차가 상기 설정압력차에 도달하면 상기 제2 탱크에 수용된 유체를 상기 제1 탱크로 공급하는 단계; 및상기 압력 상승 검출 스위치의 작동 여부를 판단하는 단계;를 포함하는 스위치 검사 방법
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제9항에 있어서, 상기 제2 탱크에 수용된 유체를 상기 제1 탱크로 공급하는 단계는 상기 제1 탱크와 상기 제2 탱크 사이에 연결된 공급밸브를 제어하여 이루어지는 스위치 검사 방법
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