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유입포트와 배출포트를 갖는 밸브 바디;상기 밸브 바디의 내부에 형성된 로드 가이드에 슬라이드 이동 가능하게 설치되는 슬라이딩 로드;상기 슬라이딩 로드의 일단에 구비되며, 상기 슬라이딩 로드의 이동에 따라 상기 유입포트와 배출포트 사이의 유로를 개폐하는 포핏;상기 밸브 바디에 결합되며, 파일럿 압력에 따른 변형에 의해 상기 슬라이딩 로드를 직선 이동시키는 다이어프램식 액추에이터;상기 슬라이딩 로드의 외주에 형성되며, 상기 로드 가이드의 내부에 트랩된 유체가 상기 로드 가이드의 개방 단부를 통해 외측 공간으로 새어 나가도록 하는 벤트 그루브;상기 밸브 바디에 형성되며, 상기 로드 가이드의 외측 공간의 유체를 상기 밸브 바디의 외부로 배출시키는 벤트홀; 및상기 슬라이딩 로드의 타단에 결합되는 로드 결합부를 구비하는 피스톤 헤드;를 포함하며,상기 로드 결합부는 상기 다이어프램식 액추에이터의 작동에 따라 상기 로드 가이드와 접촉하여 밸브 열림 상태에서 상기 로드 가이드의 개방 단부를 차단하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 다이어프램 방식 극저온 밸브
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제1항에 있어서,상기 벤트 그루브는 상기 슬라이딩 로드의 길이 방향을 따라 형성되되, 상기 슬라이딩 로드의 외주에 복수로 형성되는 것을 특징으로 하는 다이어프램 방식 극저온 밸브
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삭제
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제1항에 있어서,상기 로드 결합부에는 밸브 열림 상태에서 상기 로드 가이드의 저면과 접촉하는 돌출부가 상기 슬라이딩 로드의 둘레를 따라 형성되는 것을 특징으로 하는 다이어프램 방식 극저온 밸브
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제1항에 있어서, 상기 다이어프램식 액추에이터는,상기 밸브 바디에 결합되며, 파일럿 가스가 유입 또는 배출되는 파일럿 포트를 갖는 지지체; 및상기 지지체의 외주를 따라 접합되어 상기 파일럿 가스의 압력에 의해 변형되는 다이어프램을 포함하는 것을 특징으로 하는 다이어프램 방식 극저온 밸브
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제5항에 있어서, 상기 다이어프램은,상기 피스톤 헤드를 지지하는 수평 지지부;상기 수평 지지부에서 수직 방향으로 벤딩되는 벤딩부; 및상기 벤딩부의 단부에서 수직 방향으로 연장되되, 상기 지지체의 외주를 따라 용접되는 수직 용접부를 포함하는 것을 특징으로 하는 다이어프램 방식 극저온 밸브
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제5항에 있어서,상기 다이어프램은 2개의 레이어가 적층된 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 다이어프램 방식 극저온 밸브
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