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촉매로 작용하는 알칼리 금속염이 로딩된 진공 챔버를 준비하는 단계(a);상기 진공 챔버에 할라이드 리간드를 가지는 전구체 및 반응물질을 주입하여 CVD에 의해 전이금속 칼코겐 화합물을 합성하는 단계(b)를 포함하는 것을 특징으로 하는 전이금속 칼코겐 화합물 합성 방법
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제1항에 있어서, 상기 알칼리 금속염은 NaCl, Na2CO3, KNO3, LiBr 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 전이금속 칼코겐 화합물 합성 방법
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제1항에 있어서,상기 반응물질은 유기 리간드를 가지는 반응물질인 것을 특징으로 하는 전이금속 칼코겐 화합물 합성 방법
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제1항에 있어서,상기 전이금속 칼코겐 화합물은 상기 진공 챔버 내의 비결정질의 기판상에 증착되는 것을 특징으로 하는 전이금속 칼코겐 화합물 합성 방법
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제1항에 있어서,상기 전구체는 Ti, Hf, Zr, V, Nb, Ta, Mo, W, Tc, Re, Co, Rh, Ir, Ni, Pd, Pt, Zn 및 Sn으로부터 선택된 어느 하나의 전이 금속을 포함하는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 전이금속 칼코겐 화합물 합성 방법
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제5항에 있어서,상기 전구체는 TiCl4, TiF4, TiI4, HfCl4, HfCp2Me2, HfI4, Hf(CpMe)2(OMe)Me, ZrCl4, ZrI4, VCl3, VoCl3, NbCl5, TaCl5, TaF5, TaI5, MoCl5, Mo(CO)6, WCl6, WCl4, WF6, WOCl4, TcCl4, ReCl4, ReCl5, ReCl6, CoCl2, CoCp(CO)2, CoI2, Co(acac)2, CoCp2, RhCl5, IrCl3, NiCl2, Ni(acac)2, NiCp2, PdCl2, Pd(thd)2, PtCl2, ZnCl2, ZnMe2, ZnEt2, ZnI2, SnCl2, SnCl4 및 SnI4 중의 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 전이금속 칼코겐 화합물 합성 방법
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제1항에 있어서,상기 반응물질은 S, Se 및 Te으로부터 선택된 하나 이상의 칼코겐족 원소를 포함하는 것을 특징으로 하는 전이금속 칼코겐 화합물 합성 방법
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제7항에 있어서,상기 반응물질은 황파우더(sulfur powder), 황화수소(H2S), 디에틸설파이드(diethyl sulfide), 디메틸디설파이드(dimethyl disulfide), 에틸메틸설파이드(Ethyl methyl sulfide), (Et3Si)2S, 셀레늄 파우더(selenium powder), 셀레늄화수소(H2Se), 디에틸셀레나이드(diethyl selenide), 디메틸디셀레나이드(dimethyl diselenide), 에틸메틸셀레나이드(ethyl methyl selenide), (Et3Si)2Se, 텔레늄 파우더(Telenium powder), 텔레늄화수소(H2Te), 디메틸텔루라이드(dimethyl telluride), 디에틸텔루라이드(diethyl telluride), 에틸메틸텔루라이드(Ethyl methyl telluride) 및 (Et3Si)2Te 중 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 전이금속 칼코겐 화합물 합성 방법
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