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기재를 준비하는 단계;상기 기재 상에 유연 재료를 형성하는 단계;상기 유연 재료에 대해 표면 처리를 수행하여, 그 표면에 하이드록실 기를 전개하는 단계;상기 표면 처리된 유연 재료 상에 상기 하이드록실 기와 공유 결합되는 자기 조립 단분자막(SAM)을 형성하는 단계;상기 자기 조립 단분자막과 대향하는 전극층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마찰전기 제너레이터 제조 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 유연 재료로서 폴리디메틸실록산(PDMS)을 이용하는 것을 특징으로 하는 마찰전기 제너레이터 제조 방법
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청구항 2에 있어서, 상기 표면 처리로서 산소 플라즈마 처리를 이용하는 것을 특징으로 하는 마찰전기 제너레이터 제조 방법
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청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서, 상기 자기 조립 단분자막으로서, 3-아미노프로필트리에톡시실란(APTES), 3-글리시디록시프로필트리에톡시실란(GPTES), 1H,1H,2H,2H-퍼플루오로옥틸트리클로로실란(FOTS) 또는 트리클로로(3,3,3-트리플루오로프로필) 실란(TFPS)을 이용하는 것을 특징으로 하는 마찰전기 제너레이터 제조 방법
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청구항 4에 있어서, 상기 자기 조립 단분자막으로서, 상기 FOTS를 이용하는 것을 특징으로 하는 마찰전기 제너레이터 제조 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 기재는 전극 역할도 겸하는 것을 특징으로 하는 마찰전기 제너레이터 제조 방법
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하이드록실 기를 갖도록 표면 처리된 기재와;상기 기재의 표면과 공유 결합된 자기 조립 단분자막과;상기 자리 조립 단분자막과 대향하는 전극층을 포함하는 마찰전기 제너레이터
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청구항 7에 있어서, 상기 기재는 전극 역할을 겸하는 기판과 상기 기판 상에 형성된 유연 재료를 포함하고 상기 유연 재료 표면이 하이드록실 기를 갖도록 표면 처리되어 있는 것을 특징으로 하는 마찰전기 제너레이터
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청구항 7에 있어서, 상기 기재는 표면 처리된 실크, 코튼 및 폴리(에틸렌 테레프탈레이트)(PET) 섬유 및 PET-필름 중 선택되는 하나의 기재인 것을 특징으로 하는 마찰전기 제너레이터
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10
청구항 8에 있어서, 상기 유연 재료로서 폴리디메틸실록산(PDMS)을 이용하는 것을 특징으로 하는 마찰전기 제너레이터
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11
청구항 7 내지 청구항 10 중 어느 한 항에 있어서, 상기 자기 조립 단분자막으로서, 3-아미노프로필트리에톡시실란(APTES), 3-글리시디록시프로필트리에톡시실란(GPTES), 1H,1H,2H,2H-퍼플루오로옥틸트리클로로실란(FOTS) 또는 트리클로로(3,3,3-트리플루오로프로필) 실란(TFPS)을 이용하는 것을 특징으로 하는 마찰전기 제너레이터
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하이드록실 기를 갖도록 표면 처리된 기재를 준비하는 단계;상기 표면 처리된 기재 상에 상기 하이드록실 기와 공유 결합되는 자기 조립 단분자막(SAM)을 형성하는 단계;상기 자기 조립 단분자막과 대향하는 전극층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마찰전기 제너레이터 제조 방법
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청구항 12에 있어서, 상기 기재를 준비하는 단계는 기판을 제공하는 단계, 상기 기판 상에 유연 재료를 형성하는 단계, 상기 유연 재료에 대해 표면 처리를 수행하여, 그 표면에 하이드록실 기를 전개하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마찰전기 제너레이터 제조 방법
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청구항 12에 있어서, 상기 기재를 준비하는 단계는 실크, 코튼 및 폴리(에틸렌 테레프탈레이트)(PET) 섬유 및 PET-필름 중 선택되는 하나의 기재에 대하여 불소 처리를 포함하는 표면 처리를 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마찰전기 제너레이터 제조 방법
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청구항 12 내지 청구항 14 중 어느 한 항에 있어서, 상기 자기 조립 단분자막으로서, 1H,1H,2H,2H-퍼플루오로옥틸트리클로로실란(FOTS)을 이용하는 것을 특징으로 하는 마찰전기 제너레이터 제조 방법
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