| 1 |
1
플라즈마 챔버의 둘레를 따라 이격되어 설치되고, 상기 플라즈마 챔버 내부의 영상을 획득하는 복수의 영상 획득 장치; 및상기 복수의 영상 획득 장치에 의해 획득된 영상들의 아크 방전 영역의 교차 영역을 검출하여 아크 방전 위치를 산출하는 아크방전 위치검출부를 포함하는 아크방전 검출장치
|
| 2 |
2
제1 항에 있어서,상기 복수의 영상 획득 장치는,제1 방향으로 상기 플라즈마 챔버 내부에 대한 제1 영상을 촬영하는 제1 영상 촬영부; 및제2 방향으로 상기 플라즈마 챔버 내부에 대한 제2 영상을 촬영하는 제2 영상 촬영부를 포함하는 아크방전 검출장치
|
| 3 |
3
제2 항에 있어서,상기 제2 영상 촬영부는 상기 제1 방향과 직교하는 상기 제2 방향으로 상기 제2 영상을 촬영하는 아크방전 검출장치
|
| 4 |
4
제2 항에 있어서,상기 아크방전 위치검출부는,상기 제1 영상에서 아크 방전점의 제1 좌표를 검출하고, 상기 제2 영상에서 상기 아크 방전점의 제2 좌표를 검출하는 좌표 검출부;상기 제1 좌표에 따라 제1 아크 방전선을 산출하고, 상기 제2 좌표에 따라 제2 아크 방전선을 산출하는 방전선 산출부; 및상기 제1 아크 방전선과 상기 제2 아크 방전선의 교점 좌표를 산출하여 상기 아크 방전 위치를 계측하는 아크방전 위치계측부를 포함하는 아크방전 검출장치
|
| 5 |
5
제4 항에 있어서,상기 좌표 검출부는 상기 제1 영상에서 밝기가 기설정된 레벨 이상인 제1 픽셀을 검출하고, 상기 제2 영상에서 밝기가 기설정된 레벨 이상인 제2 픽셀을 검출하고, 상기 제1 픽셀의 좌표를 상기 제1 좌표로 결정하고, 상기 제2 픽셀의 좌표를 상기 제2 좌표로 결정하는 아크방전 검출장치
|
| 6 |
6
플라즈마 챔버의 둘레를 따라 설치된 복수의 영상 획득 장치에 의해 획득된 영상들에서 아크 방전점의 좌표들을 검출하는 단계;상기 영상들에서 검출된 아크 방전점의 좌표들에 따라 아크 방전선들을 생성하는 단계; 및상기 아크 방전선들의 교점의 2차원 좌표를 산출하여 상기 플라즈마 챔버 내의 아크 방전 위치를 계측하는 단계를 포함하는 아크방전 검출방법
|
| 7 |
7
제6 항에 기재된 아크방전 검출방법을 실행하기 위한 프로그램이 기록된 컴퓨터로 판독 가능한 기록매체
|
