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롤투롤 공정을 위한 압력이 서로 다른 두 공정챔버 사이에 설치되며, 롤투롤 공정용 챔버에 의해 처리되는 기재가 상기 두 공정챔버 중 어느 하나의 공정챔버로부터 인입되는 입구부; 상기 입구부의 상측방향 또는 하측방향으로 배열되는 다층 구조이고 각각의 층은 상기 기재가 이동 가능하도록 서로에 대해 열려있는 기재이송로; 및 상기 기재이송로의 끝으로부터 나머지 하나의 공정챔버를 향해 상기 기재를 인출하는 출구부를 포함하는 기재이송챔버; 상기 기재이송챔버의 내부에서 상기 기재의 일면에 수직한 격판배열방향을 따라 일정 간격으로 배열되어 상기 기재이송챔버 내부에 상기 다층 구조의 기재이송로를 형성하는 2개 이상의 격판; 및 상기 기재이송로와 유체 소통 가능하도록 상기 기재이송챔버에 연결되고, 상기 입구부 또는 출구부를 통해 상기 기재이송로에 유입되는 유체를 흡입하는 유체흡입펌프를 포함하며,상기 기재이송챔버는,상면, 하면, 정면, 배면, 제1 및 제2 측면을 가지는 육면체이고,상기 입구부는 상기 정면의 상단 또는 하단에 위치하고,상기 출구부는 상기 배면에 상기 입구부의 사선 방향인 상단 또는 하단에 위치하고,상기 2개 이상의 격판은 상기 입구부 높이로부터 상기 출구부 높이 방향으로 순차적으로 상기 기재이송챔버의 정면 및 상기 배면 안쪽 면에 각 격판의 일 단부가 부착되어 상기 기재이송로가 'ㄹ'형을 구성하는,기재 이송용 가이드장치
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롤투롤 공정을 위한 압력이 서로 다른 두 공정챔버 사이에 설치되며, 롤투롤 공정용 챔버에 의해 처리되는 기재가 상기 두 공정챔버 중 어느 하나의 공정챔버로부터 인입되는 입구부; 상기 입구부의 상측방향 또는 하측방향으로 배열되는 다층 구조이고 각각의 층은 상기 기재가 이동 가능하도록 서로에 대해 열려있는 기재이송로; 및 상기 기재이송로의 끝으로부터 나머지 하나의 공정챔버를 향해 상기 기재를 인출하는 출구부를 포함하는 기재이송챔버; 상기 기재이송챔버의 내부에서 상기 기재의 일면에 수직한 격판배열방향을 따라 일정 간격으로 배열되어 상기 기재이송챔버 내부에 상기 다층 구조의 기재이송로를 형성하는 2개 이상의 격판; 및 상기 기재이송로와 유체 소통 가능하도록 상기 기재이송챔버에 연결되고, 상기 입구부 또는 출구부를 통해 상기 기재이송로에 유입되는 유체를 흡입하는 유체흡입펌프를 포함하며,상기 기재이송챔버는 상면, 하면, 정면, 배면, 제1 및 제2 측면을 가지는 육면체이고,상기 입구부는 상기 정면의 상단 또는 하단에 위치하고,상기 출구부는 상기 배면에 상기 입구부의 사선 방향인 상단 또는 하단에 위치하고,상기 2개 이상의 격판은 상기 기재이송챔버의 정면 또는 배면 안쪽 면에만 각 격판의 일단부가 부착되어 있고,상기 격판이 부착되지 않은 상기 기재이송챔버의 정면 또는 배면은 상기 격판 간의 이격 공간에 대응하도록 형성된 개구들을 포함하고,상기 기재이송챔버의 외부에서 상기 개구들이 형성된 정면 또는 배면에 포개어지는 개구 덮개판; 및 상기 개구 덮개판의 일면에서 상기 격판배열방향으로 배열되어 상기 개구들을 통해 상기 각각의 격판 사이로 삽입되고 완전 삽입 후 상기 개구가 형성되지 않은 상기 기재이송챔버의 정면 또는 배면 안쪽 면에 닿지 않는 길이를 가지는 기재가이드판을 포함하는 기재안내부재를 더 포함하고,상기 기재안내부재는 상기 기재가이드판이 상기 개구들을 통해 상기 기재이송챔버 내외로 이동가능하게 구성되는 것을 특징으로 하는,기재 이송용 가이드 장치
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제3항에 있어서,상기 기재 이송용 가이드 장치는, 상기 입구부 높이에서 제일 가까운 격판의 끝에 구비되는 상기 기재의 이송을 위한 제1 안내롤러; 및상기 출구부와 상기 출구부가 위치한 상기 기재이송챔버의 배면 내의 연결지점에 구비되는 상기 기재의 이송을 위한 제2 안내롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는,기재 이송용 가이드 장치
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제4항에 있어서,상기 기재 이송용 가이드 장치는, 상기 제1 안내롤러와 연결된 격판 및 상기 제2 안내롤러가 연결된 격판의 사이에 배치되는 하나 이상의 격판의 끝에 구비되는 상기 기재의 이송을 위한 제3 안내롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는,기재 이송용 가이드 장치
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제3항에 있어서,상기 기재 이송용 가이드 장치는, 상기 개구 덮개판 및 상기 개구들이 형성된 상기 기재이송챔버의 정면 또는 배면 사이에 구비되는 실링재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는,기재 이송용 가이드 장치
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