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전기화학적 이산화탄소 환원을 위한 금속촉매 전극의 제조방법에 있어서,(a) 유기물을 이용하여 기판 상에 유기물 패턴을 형성하는 단계;(b) 상기 유기물 패턴이 형성된 기판 상에 금속층 또는 산화물층을 형성하는 단계;(c) 상기 유기물 패턴을 제거하여 식각마스크를 형성하는 단계;(d) 상기 식각마스크로 기판을 식각하여 상기 기판에 패턴을 형성하는 단계; (e) 상기 패턴을 포함하는 기판에 금속층을 형성하는 단계; 및(f) 상기 기판으로부터 금속층을 박리하여 금속촉매 전극을 형성하는 단계를 포함하는 금속촉매 전극의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 기판은 규소(Si), 비정질 규소(a-Si), 유리(Glass), 질화갈륨(GaN), 산화알루미늄(Al2O3), 산화아연(ZnO) 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속촉매 전극의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 유기물은 포토레지스트, UV 경화형 수지, 열경화형 수지 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속촉매 전극의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 유기물 패턴은 포토리소그래피, 전자선 리소그래피, 레이져 리소그래피, 나노임프린트 중 적어도 하나를 이용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 금속촉매 전극의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 유기물 패턴은 원형, 타원형 및 다각형 중 하나의 돌기 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 금속촉매 전극의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 식각마스크는 Ti, Ni
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제1항에 있어서,상기 식각마스크는 ZnO, MgO, TiO2, NiO, Al2O3, SiO2 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속촉매 전극의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 (d) 단계에서는 습식 식각 또는 건식 식각 중 하나로 상기 기판을 식각하는 것을 특징으로 하는 금속촉매 전극의 제조방법
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제8항에 있어서,상기 습식 식각은 BOE, HF, H2SO4, HNO3, HCl, KOH, NaOH, FeCl2, CuCl2 중 적어도 하나를 포함하는 식각 용액을 이용하는 것을 특징으로 하는 금속촉매 전극의 제조방법
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제8항에 있어서,상기 건식 식각은 심도반응성 이온식각(Deep reactive Ion Etching(DRIE)), 유도결합 플라즈마 식각(Inductively Coupled Plama(ICP) etching) 중 하나의 방법인 것을 특징으로 하는 금속촉매 전극의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 금속층은 Fe, Ag, Au, Cu, Cr, W, Al, W, Mo, Zn, Ni, Pt, Pd, Co, In
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제1항에 있어서,상기 금속층은 주조법, 열 증착법, 스퍼터 증착법, 화학기상 증착법 및 전기 도금법 중 하나의 방법으로 형성하는 것을 특징으로 하는 금속촉매 전극의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 금속촉매 전극은 원형, 타원형 및 다각형 중 하나의 돌기 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 금속촉매 전극 제조방법
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