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질화규소 및 Y, Sc, Nd 및 Yb으로 이루어진 희토류 금속 그룹 중에서 선택된 최소한 2종의 희토류 금속의 산화물 또는 염을 포함하는 원료분말로서, xSi3N4-yA2O3-zB2O3(x, y, z는 mol%이고, x, y, z003e#0, A 및 B는 각각 선택된 희토류 금속)로 표현되는 배합식에 따라 원료 분말을 준비하는 단계;상기 배합된 원료 분말을 혼합하는 단계;상기 혼합된 원료 분말을 성형하는 단계; 및상기 성형된 성형체를 소결하는 단계를 포함하는 질화규소 소결체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 배합식의 A는 Sc인 것을 특징으로 하는 질화규소 소결체의 제조방법
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제2항에 있어서,상기 배합식의 B는 Y인 것을 특징을 하는 질화규소 소결체의 제조방법
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제3항에 있어서,상기 배합식에서 y+z003e#2인 것을 특징으로 하는 질화규소 소결체의 제조방법
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제4항에 있어서,상기 배합식에서 y003e#z인 것을 특징으로 하는 질화규소 소결체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 배합식에서 2003c#y+z003c#8인 것을 특징으로 하는 질화규소 소결체의 제조방법
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스칸듐과 스칸듐 이외의 다른 희토류 화합물을 소결조제로 포함하는 질화규소 소결체로서,상기 소결체는 Si3N4상을 주성분으로 하는 1차상과, Sc 화합물을 이차상으로 포함하며,상기 질화규소 소결체의 열전도율은 65W/mK 이상인 것을 특징으로 하는 질화규소 소결체
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제7항에 있어서,상기 Sc 화합물은 Sc2SiO5 또는 스칸듐과 다른 희토류 금속 산화물의 고용상을 포함하는 것을 특징으로 하는 질화규소 소결체
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