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포터블 소재 표면 세정 장치(POTABLE DEVICE FOR CLEANING SURFACE OF MATERIAL)

  • 기술번호 : KST2017009488
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 휴대 상태에서 보다 안정적으로 레이저 포커스를 소재 표면에 정확히 조사할 수 있도록, 전원을 공급하는 전원 컨트롤 유닛과, 상기 전원 컨트롤 유닛으로부터 전원선으로 연결되어 자유롭게 이동되며 소재 표면에 레이저를 조사하여 금속 또는 금속반응 생성물을 포함하는 오염물질을 세정하는 휴대 레이저부를 포함하는 포터블 소재 표면 세정 장치로, 상기 휴대 레이저부는 오염물질이 묻은 소재의 표면에 국부적으로 피코초 이하의 초단 펄스를 가지는 레이저를 조사하여 소재 표면에 초단 펄스의 피크 에너지를 가해 오염물질을 세정하는 구조의 포터블 소재 표면 세정장치를 제공한다.
Int. CL H01L 21/67 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01)
CPC H01L 21/67028(2013.01) H01L 21/67028(2013.01)
출원번호/일자 1020150169199 (2015.11.30)
출원인 재단법인 포항산업과학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0063155 (2017.06.08) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.11.30)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박순홍 대한민국 경북 포항시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.11.30 수리 (Accepted) 1-1-2015-1170205-95
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
4 [심사청구]심사청구서·우선심사신청서
2020.11.30 수리 (Accepted) 1-1-2020-1290461-10
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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전원을 공급하는 전원 컨트롤 유닛과, 상기 전원 컨트롤 유닛으로부터 전원선으로 연결되어 자유롭게 이동되며 소재 표면에 레이저를 조사하여 금속 또는 금속반응 생성물을 포함하는 오염물질을 세정하는 휴대 레이저부를 포함하는 포터블 소재 표면 세정 장치로,상기 휴대 레이저부는 오염물질이 묻은 소재의 표면에 국부적으로 피코초 이하의 초단 펄스를 가지는 레이저를 조사하여 소재 표면에 초단 펄스의 피크 에너지를 가해 오염물질을 세정하는 구조의 포터블 소재 표면 세정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 휴대 레이저부는 외형을 이루는 하우징과, 상기 하우징에서 외측으로 연장되고 선단으로부터 레이저가 조사되는 조사부, 상기 하우징 내부에 설치되고 외부에서 인가된 전원을 통해 피코초 이하 펄스를 갖는 레이저를 생성하는 레이저 발진원, 레이저 발진원에서 생성된 레이저의 파워 조절용 조절기(Attenuator), 레이저의 형상 전달을 위한 복수개의 미러(Mirror), 상기 조사부 선단을 통해 조사되는 레이저를 2차원 평면 내의 원하는 곳으로 전달하기 위한 스캐너(Scanner), 및 상기 하우징에 설치되된 이동용 어깨끈을 포함하는 포터블 소재 표면 세정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 휴대 레이저부에서 조사되는 레이저의 포커스가 소재 표면에서 벗어나는지 여부를 검출하는 거리확인부를 더 포함하는 포터블 소재 표면 세정 장치
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제 3 항에 있어서,상기 거리확인부는 상기 휴대 레이저부에 설치되어 휴대 레이저부로부터 레이저가 조사되는 소재 표면까지의 거리를 측정하는 측정센서와, 상기 측정센서의 검출 신호를 연산하여 소재 표면과 휴대 레이저부 사이 거리가 허용 범위를 벗어나는지를 검출하는 제어부, 및 상기 제어부의 신호에 따라 이상 발생시 이를 외부에 경고하기 위한 경고부를 포함하는 포터블 소재 표면 세정 장치
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제 2 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 휴대 레이저부에서 조사되는 레이저 포커스의 위치를 조절하는 조절부를 더 포함하는 포터블 소재 표면 세정 장치
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제 5 항에 있어서,상기 조절부는 휴대 레이저부의 스캐너에 연결되어 스캐너를 조정하여 레이저의 포커스 위치를 상하로 이동시키는 상하구동부, 상기 스캐너에 연결되어 스캐너를 조정하여 레이저의 포커스 위치를 좌우로 이동시키기 위한 좌우구동부, 및 상기 휴대 레이저부의 하우징 일측에 설치되어 상기 상하구동부와 좌우구동부를 조작하는 조절 스위치를 포함하는 포터블 소재 표면 세정 장치
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제 6 항에 있어서,상기 휴대 레이저부에서 조사되는 레이저의 포커스 위치를 검출하는 검출부를 더 포함하는 포터블 소재 표면 세정 장치
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제 7 항에 있어서,상기 검출부는 상기 휴대 레이저부에 간격을 두고 이격되어 설치되고 레이저 포커스 위치에 맞춰 서로 교차하도록 지시레이저를 조사하는 적어도 두 개 이상의 레이저포인터를 포함하는 포터블 소재 표면 세정 장치
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제 7 항에 있어서,상기 검출부는 상기 휴대 레이저부에 설치되고 레이저의 포커스 위치에 대응되는 길이로 연장되는 지시부재를 포함하는 포터블 소재 표면 세정 장치
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제 9 항에 있어서,상기 지시부재는 레이저를 감싸는 통 형태로 이루어져 휴대 레이저부의 조사부 선단에 설치되고 레이저 포커스 위치로 연장된 선단은 개방된 구조의 포터블 소재 표면 세정 장치
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제 7 항에 있어서,상기 휴대 레이저부는 고체레이저, 액체레이저, 기체레이저 또는 반도체레이저를 모드잠금(mode-locking)하고 큐스위칭(Q-switching)하여 펄스 폭을 줄이고 출력을 높여 피코초 이하의 초단 펄스를 갖는 레이저를 생성하는 구조의 포터블 소재 표면 세정 장치
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제 11 항에 있어서,상기 레이저는 팸토초 또는 아토초 펄스의 레이저인 포터블 소재 표면 세정 장치
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제 12 항에 있어서,상기 레이저의 피크 에너지는 0
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.