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금속 증착 공정 장치의 요철형 표면을 갖는 부품에 형성된 금속 또는 금속반응 생성물을 포함하는 오염물질을 제거하기 위한 요철형 부품 세정장치로,오염물질이 묻은 부품의 요철형 표면에 국부적으로 피코초 이하의 초단 펄스를 가지는 레이저를 조사하여 부품 표면에 초단 펄스의 피크 에너지를 가해 오염물질을 세정하는 레이저조사부와, 상기 레이저조사부에서 조사되는 레이저의 조사 영역을 부품의 표면을 따라 이동시키기 위한 이동부, 및 상기 레이저조사부에서 조사되는 레이저를 요철형 부품 표면으로 반사시키는 반사경을 포함하는 요철형 부품의 세정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 레이저조사부는 고체레이저, 액체레이저, 기체레이저 또는 반도체레이저를 모드잠금(mode-locking)하고 큐스위칭(Q-switching)하여 펄스 폭을 줄이고 출력을 높여 피코초 이하의 초단 펄스를 갖는 레이저를 생성하는 구조의 요철형 부품의 세정 장치
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제 2 항에 있어서,상기 레이저는 팸토초 또는 아토초 펄스의 레이저인 요철형 부품의 세정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 레이저의 피크 에너지는 0
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제 1 항에 있어서,상기 소재에 대한 레이저 조사 각도는 30 ~ 90도 인 요철형 부품의 세정 장치
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제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 이동부는 부품이 놓여지는 테이블과, 상기 테이블을 회전시키기 위한 회전부, 상기 테이블 상부에 배치되고 상기 레이저조사부가 설치된 상부지지대, 및 상기 상부지지대를 테이블에 대해 승하강 시키기 위한 승하강부를 포함하는 요철형 부품의 세정 장치
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제 6 항에 있어서,상기 세정장치는 부품의 요철형 표면에 맞춰 상기 레이저조사부에서 조사되는 레이저의 초점 위치를 조절하는 조절부를 더 포함하는 요철형 부품의 세정 장치
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제 7 항에 있어서,상기 조절부는 상기 레이저조사부와 반사경 사이 간격을 이격시켜 초점 거리를 가변시키는 초점거리 이동부와, 상기 반사경의 각도를 조절하여 레이저조사부에서 조사되는 레이저의 반사각도를 가변시키는 각도조절부를 포함하는 요철형 부품의 세정 장치
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제 8 항에 있어서,상기 초점거리 이동부는 레이저조사부가 설치되는 상부지지대에 상하로 이동가능하게 설치되고 선단에는 반사경이 설치되는 가이드바와, 상기 가이드바를 상하로 이동시키기 위한 수직구동부를 포함하는 요철형 부품의 세정 장치
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제 9 항에 있어서,상기 각도조절부는 상기 가이드바에 끼워져 가이드바를 따라 슬라이딩가능하게 설치되는 링부재와, 상기 가이드바에 설치되고 상기 링부재와 연결되어 링부재를 상하로 이동시키기 위한 상하구동부를 포함하고, 상기 반사경은 링부재에 회동가능하게 힌지결합되고, 가이드바 선단에 링크부재를 매개로 회동가능하게 힌지결합된 구조의 요철형 부품의 세정 장치
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제 6 항에 있어서,상기 반사경은 반사면이 안으로 오목한 구조의 요철형 부품의 세정 장치
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제 6 항에 있어서,상기 반사경은 반사면이 외부로 볼록한 구조의 요철형 부품의 세정 장치
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