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형광체를 포함하는 시료를 촬영하는 형광 현미경에 있어서,상기 형광체가 형광을 방출하도록 여기하는 여기 광을 방출하는 여기광원;상기 여기광원에서 방출되는 여기 광에 의하여 여기된 형광체를 탈여기시키는 여기감소 광을 방출하는 여기감소광원;상기 여기광원에서 방출된 빛과 상기 여기감소광원에서 방출되는 빛을 서로 중첩시키고, 중첩된 빛을 시료를 향하게 하는 광학바디부; 및상기 광학바디부에서 배출된 빛이 입사되고, 상기 광학바디부에서 배출된 빛을 시료를 향하도록 굴절시키는 고체 침지렌즈;를 포함하고,상기 고체 침지렌즈에 입사된 빛은 상기 고체 침지렌즈의 저면에서 전반사되고,상기 고체 침지렌즈의 저면은 중심부에서 가장자리로 갈수록 상향 경사지게 형성되고, 상기 저면의 중앙부를 제외한 나머지 주변부가 시료로부터 소정 각도 θ만큼 틸팅되어 형성되며,상기 θ는 상기 고체 침지렌즈와 상기 시료가 20nm 이하의 미세 간극을 유지하기 위한 범위인 θ≤±0
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제1항에 있어서,상기 여기광원에서 방출되는 여기 광의 일부분을 가리는 애퍼처를 더 포함하는 내부 전반사 형광 현미경
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제2항에 있어서,상기 애퍼처는 상기 여기광원에서 방출되는 여기 광의 일부분을 차단하여, 상기 고체 침지렌즈에 입사되는 여기 광 가운데 상기 고체 침지렌즈의 저면에서 전반사되지 않는 영역의 빛을 차단하는 내부 전반사 형광 현미경
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제3항에 있어서,상기 애퍼처는 상기 여기광원에서 방출되는 여기 광의 일부분을 차단하여, 상기 고체 침지렌즈에 입사되는 여기 광 가운데 임계각 이하의 영역을 차단하는 내부 전반사 형광 현미경
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제2항에 있어서,상기 애퍼처는 투명한 재질로 형성되어 상기 여기광원에서 배출되는 여기 광을 통과시키는 투과부; 및 불투명한 재질로 형성되어 상기 여기광원에서 배출되는 여기 광을 차단하는 차단부;를 포함하며,상기 고체 침지렌즈로 입사되는 상기 여기 광의 입사 각도가 임계각보다 크도록 상기 투과부 및 상기 차단부가 배치되는 내부 전반사 형광 현미경
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제5항에 있어서,상기 차단부는 상기 여기광원에서 배출되는 여기 광의 중앙을 차단하는 원형으로 형성되고, 상기 투과부는 상기 차단부 주변에 링 형상으로 형성되는 내부 전반사 형광 현미경
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제1항에 있어서,상기 시료의 형광체의 형광 빛을 감지하는 검출부를 더 포함하는 내부 전반사 형광 현미경
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제1항에 있어서,상기 광학바디부는, 상기 여기광원에서 방출되는 여기 광을 시료를 향하여 전달시키는 여기광 전달부; 및상기 여기감소광원에서 방출된 여기감소 광을 시료를 향하여 전달시키는 여기감소광 전달부;를 포함하는 내부 전반사 형광 현미경
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제8항에 있어서,상기 여기광 전달부 및 상기 여기감소광 전달부는 여기 광 또는 여기감소 광은 반사하고, 시료의 형광물질에서 방출되는 형광 빛은 통과시키는 것을 이색성 거울 또는 빔 스플리터인 내부 전반사 형광 현미경
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제1항에 있어서,상기 광학바디부의 하부에는 상기 광학바디부에서 배출된 빛을 상기 고체 침지렌즈를 향하여 입사시키는 대물렌즈가 구비되는 내부 전반사 형광 현미경
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제1항에 있어서,상기 고체 침지렌즈를 향하여 입사되는 상기 여기 광이 임계각보다 큰 각도로 입사되면 상기 고체 침지렌즈의 저면에서 내부 전반사가 발생되고, 상기 고체 침지렌즈에서 시료를 향하여 감쇄파가 발생하며, 상기 감쇄파에 의하여 발생되는 형광체의 형광 빛을 감지하는 내부 전반사 형광 현미경
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제1항에 있어서,상기 여기감소 광은, 상기 여기 광의 중심부 영역을 제외한 주변 영역에서 상기 여기 광과 중첩되도록 도넛 형상으로 파면이 형성되고,상기 형광체를 여기하는 상기 여기 광을 탈여기시키는 유도방출억제(STED) 현상을 일으켜 수평 분해능을 증가시키는 내부 전반사 형광 현미경
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제10항에 있어서,상기 대물렌즈에서 배출되는 빛은 상기 고체 침지렌즈의 표면에서 수직 방향으로 입사되어 집광 효율이 증가되는 것을 특징으로 하는 내부 전반사 형광 현미경
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제13항에 있어서,상기 고체 침지렌즈 또는 상기 대물렌즈의 표면에는 상기 광학바디부에서 배출되는 빛을 굴절시키는 복제렌즈가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 내부 전반사 형광 현미경
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형광체를 포함하는 시료를 촬영하는 형광 현미경에 있어서,상기 형광체를 여기하는 제1 파장으로 여기 광을 방출하는 여기광원;상기 여기광원에서 방출되는 여기 광에 의하여 여기된 상기 형광체를 탈여기시키는 제2 파장의 여기감소 광을 방출하는 여기감소광원;상기 여기광원에서 방출된 빛과 상기 여기감소광원에서 방출되는 빛을 서로 중첩시키고, 중첩된 빛을 시료로 향하게 하는 광학바디부;상기 광학바디부에서 배출된 빛이 유입되고, 상기 광학바디부에서 배출된 빛을 시료를 향하도록 굴절시키는 고체 침지렌즈;상기 여기광원의 적어도 일부를 가려서 상기 여기광원에서 방출되는 빛의 양을 조절하고, 상기 광학바디부에서 배출된 빛이 상기 고체 침지렌즈의 저면에서 내부 전반사가 일어나도록 하는 애퍼처; 및상기 광학바디부에서 배출된 빛을 받은 상기 형광체의 형광반응을 수광하는 검출기;를 포함하고,상기 광학바디부의 하부에는 상기 광학바디부에서 배출된 빛을 상기 고체 침지렌즈를 향하여 입사시키는 대물렌즈가 구비되며,상기 고체 침지렌즈 또는 상기 대물렌즈의 표면에는 각각 상기 광학바디부에서 배출되는 빛을 굴절시키는 복제렌즈가 더 구비되며,상기 고체 침지렌즈의 저면은 중심부에서 가장자리로 갈수록 상향 경사지게 형성되고, 상기 저면의 중앙부를 제외한 나머지 주변부가 시료로부터 소정 각도 θ만큼 틸팅되어 형성되며,상기 θ는 상기 고체 침지렌즈와 상기 시료가 20nm 이하의 미세 간극을 유지하기 위한 범위인 θ≤±0
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제16항에 있어서,상기 애퍼처는 상기 여기광원에서 방출되는 여기 광의 일부분을 차단하여, 상기 고체 침지렌즈에 입사되는 여기 광 가운데 상기 고체 침지렌즈의 저면에서 전반사되지 않는 영역의 빛을 차단하는 내부 전반사 형광 현미경
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제17항에 있어서,상기 애퍼처는 상기 여기광원에서 방출되는 여기 광의 일부분을 차단하여, 상기 고체 침지렌즈에 입사되는 여기 광 가운데 임계각 이하의 영역을 차단하는 내부 전반사 형광 현미경
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제16항에 있어서,상기 애퍼처는 투명한 재질로 형성되어 상기 여기광원에서 배출되는 여기 광을 통과시키는 투과부; 및 불투명한 재질로 형성되어 상기 여기광원에서 배출되는 여기 광을 차단하는 차단부;를 포함하며,상기 고체 침지렌즈로 입사되는 상기 여기 광의 입사 각도가 임계각보다 크도록 상기 투과부 및 상기 차단부가 배치되는 내부 전반사 형광 현미경
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제19항에 있어서,상기 차단부는 상기 여기광원에서 배출되는 여기 광의 중앙을 차단하는 원형으로 형성되고, 상기 투과부는 상기 차단부 주변에 링 형상으로 형성되는 내부 전반사 형광 현미경
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