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내부 상측에 삽입홈(11)이 형성되고, 상기 삽입홈(11)과 연통되는 유로(12)가 내부에 수평방향으로 형성되며, 상기 유로(12)와 연통되는 유입홀(13)과 유출홀(14)이 전방과 후방에 각각 형성된 바디(10)와;상기 바디(10)의 삽입홈(11)에 설치되고, 전자석(M)으로부터 온/오프(ON/OFF)신호를 받아 상하로 진동하는 자성체(21)가 중앙에 설치된 다이아프램(20)과;상기 바디(10) 내부에 설치되어 상기 다이아프램(20)의 상하 움직임에 따라 좌우로 움직여 상기 유로(12)를 개폐하는 제1체크밸브(30)와;상기 바디(10) 내부에 상기 제1체크밸브(30)와 이격되게 설치되어 상기 다이아프램(20)의 상하 움직임에 따라 좌우로 움직여 상기 유로(12)를 개폐하는 제2체크밸브(40);를 포함하여 구성되되,상기 제1체크밸브(30)는 상기 다이아프램(20)의 중앙부분이 상승할 때 우측으로 이동하여 상기 유로(12)를 개방함으로써 상기 유입홀(13)을 통해 유입된 유체가 제2체크밸브(40)와의 사이에 유입되도록 하고, 상기 다이아프램(20)의 중앙부분이 하강할 때 좌측으로 이동하여 상기 유로(12)를 밀폐하며,상기 제2체크밸브(40)는 상기 다이아프램(20)의 중앙부분이 상승할 때 상기 유로(12)의 밀폐상태를 유지하고, 상기 다이아프램(20)의 중앙부분이 하강할 때 우측으로 이동하여 상기 유로(12)를 개방함으로써 상기 제1체크밸브(30)와의 사이로 유입된 유체가 상기 유출홀(14)로 토출되도록 하는 것을 특징으로 하는 다이아프램 방식의 마이크로펌프
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청구항 1에 있어서,상기 제1체크밸브(30)와 제2체크밸브(40)에는 제1스프링(32a)과 제2스프링(42a)이 각각 설치되어, 상기 제1,2체크밸브(30,40)가 상기 유로(12)를 밀폐하는 방향으로 탄성력을 제공받는 것을 특징으로 하는 다이아프램 방식의 마이크로펌프
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청구항 1에 있어서,상기 바디(10)의 유로(12) 좌측에는 수동밸브(50)가 설치되되,상기 수동밸브(50)를 우측으로 밀었을 때 상기 제1체크밸브(30)와 제2체크밸브(40)가 연쇄적으로 우측으로 밀려 상기 유로(12)가 개방되는 것을 특징으로 하는 다이아프램 방식의 마이크로펌프
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청구항 3에 있어서,상기 수동밸브(50)에는 밸브스프링(52a)이 설치되어, 상기 수동밸브(50)가 좌측으로 밀리는 방향으로 탄성력을 제공받는 것을 특징으로 하는 다이아프램 방식의 마이크로펌프
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청구항 3에 있어서,상기 바디(10)의 좌단 외측면에는 상기 수동밸브(50)가 바디(10) 외부로 이탈되는 것을 방지하는 이탈방지패널(60) 설치된 것을 특징으로 하는 다이아프램 방식의 마이크로펌프
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청구항 1에 있어서,상기 삽입홈(11)에는 고정캡(70)이 설치되어 상기 다이아프램(20)의 상면 테두리 부분을 가압하는 것을 특징으로 하는 다이아프램 방식의 마이크로펌프
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청구항 1에 있어서,상기 유로(12)에는 다른 곳보다 직경이 작은 상태로 일정거리 유지되다가 우측으로 갈수록 점점 직경이 커지는 제1병목홀(12a)과 제2병목홀(12b)이 일정거리 이격되게 형성되고,상기 제1병목홀(12a)과 제2병목홀(12b)은 상기 제1체크밸브(30)와 제2체크밸브(40)에 의해 각각 개폐되는 것을 특징으로 하는 다이아프램 방식의 마이크로펌프
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