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마이크로파 공진을 이용하여 시료를 가열하는 유전체 공진 마이크로파 가열 장치에 있어서,내부로 마이크로파를 인가받는 금속 몸체;상기 금속 몸체의 내부에 상기 마이크로파를 인가하는 안테나; 및인가되는 마이크로파에 의해 유전체 공진이 발생하도록 상기 금속 몸체의 내부에 위치되는 유전체 공진기를 포함하고,상기 유전체 공진기는 상기 시료에 인접하게 위치하고 상기 시료를 가열시키는 주파수와 동일한 제1 주파수로 공진하며,상기 안테나는 상기 유전체 공진기를 공진시키는 상기 제1 주파수의 마이크로파를 인가하여,상기 시료가 상기 유전체 공진기에서 공진되는 마이크로파를 흡수하여 가열되도록 하는 것을 특징으로 하는 유전체 공진 마이크로파 가열 장치
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제1항에 있어서,상기 금속 몸체는,상기 안테나를 외부로부터 상기 금속 몸체 내부로 인도하는 동축 도파관을 포함하는 것을 특징으로 하는 유전체 공진 마이크로파 가열 장치
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제1항에 있어서,상기 안테나는,상기 유전체 공진기와의 결합상수(coupling coefficient)에 기초하여, 상기 유전체 공진기로부터 이격된 거리를 제어할 수 있는 것을 특징으로 하는 유전체 공진 마이크로파 가열 장치
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제3항에 있어서,상기 안테나는,상기 유전체 공진기의 하면으로부터 수직 방향으로 소정의 거리만큼 이격되어 있는 루프(loop) 형상의 안테나인 것을 특징으로 하는 유전체 공진 마이크로파 가열 장치
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제3항에 있어서,상기 안테나는,상기 유전체 공진기 측면으로부터 수평 방향으로 소정의 거리만큼 이격되어 있는 다이폴(dipole) 안테나인 것을 특징으로 하는 유전체 공진 마이크로파 가열 장치
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제1항에 있어서,상기 유전체 공진기는,수직 방향을 따라 소정의 거리만큼 이격되어 있는 제1 분할 유전체 공진기 및 제2 분할 유전체 공진기를 포함하고,상기 시료는, 상기 제1 분할 유전체 공진기보다 하부에 위치하는 상기 제2 분할 유전체 공진기의 상부에 위치되는 것을 특징으로 하는 유전체 공진 마이크로파 가열 장치
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제1항에 있어서,상기 유전체 공진 마이크로파 가열 장치는,상기 금속 몸체의 내부와 연통 가능하게 형성되는 차단 도파관을 더 포함하고,상기 차단 도파관은, 상기 시료의 온도를 측정하기 위하여 상기 시료로 인가되는 광 신호의 통로로 이용되는 것을 특징으로 하는 유전체 공진 마이크로파 가열 장치
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제1항에 있어서,상기 유전체 공진 마이크로파 가열 장치는,상기 시료를 수평 방향으로 이동시키며 상기 시료의 가열되는 영역을 연속적으로 변화시키는 이동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유전체 공진 마이크로파 가열 장치
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제1항에 있어서,상기 유전체 공진 마이크로파 가열 장치는,상기 금속 몸체의 내부에 하나 이상의 상기 유전체 공진기를 더 포함하고,복수개의 유전체 공진기는 수평 방향으로 정렬되어있는 것을 특징으로 하는 유전체 공진 마이크로파 가열 장치
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제9항에 있어서,상기 유전체 공진 마이크로파 가열 장치는,상기 금속 몸체의 내부에 하나 이상의 상기 안테나를 더 포함하고,상기 안테나는 각각 하나 이상의 유전체 공진기로 마이크로파를 인가하는 것을 특징으로 하는 유전체 공진 마이크로파 가열 장치
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