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외부 공진기형 파장 가변 레이저의 제어하는 방법에 있어서, 상기 외부 공진기형 파장 가변 레이저의 파장 범위 내에서의 파장가변 곡선을 획득하는 1차 캘리브레이션을 수행하는 단계;상기 외부 공진기형 파장 가변 레이저의 파장 범위 내에서 최소 첩 조건 곡선을 획득하는 2차 캘리브레이션을 수행하는 단계; 및상기 1차 캘리브레이션 및 상기 2차 캘리브레이션 결과를 기초로, 상기 외부 공진기형 파장 가변 레이저가 특정 파장에서 최소 첩 조건으로 동작하도록 상기 외부 반사경의 히터 파워, 상기 모듈 온도 및 위상 제어부의 전류를 설정하는 파장 잠금 동작을 수행하는 단계;를 포함하되,상기 2차 캘리브레이션은, 임의의 외부 반사경의 히터 파워 및 임의의 모듈 온도에서, 상기 외부 공진기형 파장 가변 레이저의 상기 위상 제어부 전류의 변화에 따른 출력 파워의 변화를 기초로 상기 최소 첩 조건 곡선을 획득하는 것을 특징으로 하는 외부 공진기형 파장 가변 레이저의 파장 제어 방법
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제1항에 있어서, 상기 1차 캘리브레이션은, 상기 외부 반사경의 히터 파워 및 상기 모듈 온도에 따른 파장 변화를 기초로 수행되는 외부 공진기형 파장 가변 레이저의 파장 제어 방법
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제 1항에 있어서, 상기 2차 캘리브레이션을 수행하는 단계는, 임의의 외부 반사경의 히터 파워 및 임의의 모듈 온도에서, 상기 위상 제어부 전류를 변화시키며 출력 파워를 모니터링하는 단계; 상기 모니터링된 출력 파워의 최대값이 가장 작은 값인 경우를, 상기 임의의 외부 반사경의 히터 파워 및 상기 임의의 모듈 온도에서 최소 첩 조건인 것으로 판단하는 단계; 및상기 판단된 최소 첩 조건을 기초로 상기 최소 첩 조건 곡선을 획득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 외부 공진기형 파장 가변 레이저의 파장 제어 방법
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제 3항에 있어서, 상기 출력 파워를 모니터링하는 단계는, 상기 외부 공진기형 파장 가변 레이저의 이득 매질의 고반사 코팅면을 통해 나오는 출력 파워를 모니터링하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 외부 공진기형 파장 가변 레이저의 파장 제어 방법
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제 3항에 있어서, 상기 2차 캘리브레이션은, 상기 외부 공진기형 파장 가변 레이저의 외부 반사경의 히터 파워 및 모듈 온도를 기초로 수행되는 것을 특징으로 하는 외부 공진기형 파장 가변 레이저의 파장 제어 방법
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제 3항에 있어서, 상기 모니터링된 출력 파워의 최대값이 가장 작은 값인경우의 위상 제어부 전류는 상기 출력 파워의 가장 작은 값에 옵셋을 주어 설정하는 외부 공진기형 파장 가변 레이저의 파장 제어 방법
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제 3항에 있어서, 상기 최소 첩 조건 곡선에 따라 상기 파장 잠금 동작을 위한 위상 제어부 전류 값을 결정하는 단계;를 더 포함하고,상기 위상 제어부 전류 값은 동일한 출력 파워를 갖도록 하는 위상 제어부 전류 값인 외부 공진기형 파장 가변 레이저의 파장 제어 방법
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제 1항에 있어서, 상기 2차 캘리브레이션을 수행하는 단계는, 임의의 외부 반사경의 히터 파워 및 임의의 모듈 온도에서, 상기 위상 제어부 전류를 변화시키며 출력 파워를 모니터링하는 단계; 상기 모니터링된 출력 파워의 최대값들이 가장 큰 값인 경우를, 상기 임의의 외부 반사경의 히터 파워 및 상기 임의의 모듈 온도에서 최소 첩 조건인 것으로 판단하는 단계; 및상기 판단된 최소 첩 조건을 기초로 상기 최소 첩 조건 곡선을 획득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 외부 공진기형 파장 가변 레이저의 파장 제어 방법
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가변 가능한 파장 범위 내의 광을 출력하는 외부 공진기형 파장 가변 레이저; 및상기 외부 공진기형 파장 가변 레이저의 출력을 제어하는 제어부를 포함하되, 상기 외부 공진기형 파장 가변 레이저는,방사된 광을 발진시키는 이득 매질; 상기 발진된 광의 중심 파장을 제어하는 외부 반사경; 및상기 발진된 광의 발진 모드 위상을 제어하는 위상 제어부를 포함하고,상기 제어부는, 상기 외부 공진기형 파장 가변 레이저의 파장 범위내에서의 파장가변 곡선을 획득하는 1차 캘리브레이션, 임의의 외부 반사경의 히터 파워 및 임의의 모듈 온도에서, 상기 위상 제어부의 전류를 변화시킬 때 출력 파워의 변화에 기초하여 최소 첩 조건 곡선을 획득하는 2차 캘리브레이션 및 상기 1차 캘리브레이션 및 상기 2차 캘리브레이션 결과를 기초로, 상기 외부 공진기형 파장 가변 레이저이 특정 파장에서 최소 첩 조건으로 동작하도록 상기 외부 반사경의 히터 파워 및 상기 모듈 온도를 설정하는 파장 잠금을 수행하는 것을 특징으로 하는 외부 공진기형 파장 가변 레이저의 파장 제어 장치
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제 9항에 있어서, 상기 위상 제어부는, 상기 외부 반사경에 집적되는 것을 특징으로 하는 외부 공진기형 파장 가변 레이저의 파장 제어 장치
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제 9항에 있어서, 상기 위상 제어부는, 상기 이득 매질에 집적되는 것을 특징으로 하는 외부 공진기형 파장 가변 레이저의 파장 제어 장치
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제 9항에 있어서, 상기 제어부는, 상기 외부 반사경의 히터 파워 및 상기 모듈 온도에 따른 파장 변화를 기초로 상기 1차 캘리브레이션을 수행하는 것을 특징으로 하는 외부 공진기형 파장 가변 레이저의 파장 제어 장치
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제 9항에 있어서, 상기 제어부는, 임의의 외부 반사경의 히터 파워 및 임의의 모듈 온도에서, 상기 위상 제어부 전류를 변화시키며 출력 파워를 모니터링하고, 상기 모니터링된 출력 파워의 최대 값이 가장 작은 경우를, 상기 임의의 외부 반사경의 히터 파워 및 상기 임의의 모듈 온도에서 최소 첩 조건인 것으로 판단하여 상기 최소 첩 조건 곡선을 획득하는 것을 특징으로 하는 외부 공진기형 파장 가변 레이저의 파장 제어 장치
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제 13항에 있어서, 상기 출력 파워는, 상기 이득 매질의 고반사 코팅면을 통해 나오는 출력 파워인 것을 특징으로 하는 외부 공진기형 파장 가변 레이저의 파장 제어 장치
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제 13항에 있어서, 상기 제어부는, 상기 외부 공진기형 파장 가변 레이저의 가변의 동작 가능한 외부 반사경의 히터 파워 및 모듈 온도를 기초로 상기 2차 캘리브레이션을 수행하는 것을 특징으로 하는 외부 공진기형 파장 가변 레이저의 파장 제어 장치
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제 9항에 있어서, 상기 제어부는, 임의의 외부 반사경의 히터 파워 및 임의의 모듈 온도에서, 상기 위상 제어부 전류를 변화시키며 출력 파워를 모니터링하고, 상기 모니터링된 출력 파워의 최대값이 가장 큰 경우를, 상기 임의의 외부 반사경의 히터 파워 및 상기 임의의 모듈 온도에서 최소 첩 조건인 것으로 판단하여 상기 최소 첩 조건 곡선을 획득하는 것을 특징으로 하는 외부 공진기형 파장 가변 레이저의 파장 제어 장치
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