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다층무기봉지박막 및 이의 제조방법(multi-layer inorganic thin film for encapsulation and method for manufacturing the same)

기술번호 : KST2017009896
담당센터 : 경기기술혁신센터
전화번호 : 031-8006-1570

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 다층무기봉지박막 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 무기박막의 인접 계면 사이에 페이스 인터믹싱(phase intermixing) 현상이 발생하여 비정질의 단층 특성을 보이는 다층무기봉지박막 및 이의 제조방법에 관한 것이다.본 발명의 다층무기봉지박막에 의하면 무기박막의 인접 계면 사이에 페이스 인터믹싱(phase intermixing) 현상이 발생하여 비정질의 단층 특성을 보임으로써 수분 및 산소의 침투 경로가 늘어나 소자의 투습률 및 수명이 우수하다는 효과가 있다. 또한, 본 발명의 다층무기봉지박막의 제조방법에 의하면 페이스 인터믹싱(phase intermixing) 현상을 이용하여 제조함으로써 무기박막의 인접 계면 사이를 비정질의 단층 특성을 보이도록 하여 수분 및 산소의 침투 경로를 늘릴 수 있는 장점이 있다.
Int. CL	H01L 51/52 (2016.01.17) H01L 51/50 (2016.01.17) H01L 21/471 (2016.01.17) H01L 21/02 (2016.01.17) H01L 51/56 (2016.01.17)
CPC	H01L 51/5237(2013.01) H01L 51/5237(2013.01) H01L 51/5237(2013.01) H01L 51/5237(2013.01) H01L 51/5237(2013.01) H01L 51/5237(2013.01) H01L 51/5237(2013.01)
출원번호/일자	1020150174093 (2015.12.08)
출원인	한국생산기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자	10-2017-0067427 (2017.06.16) 문서열기
공고번호/일자	문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	등록
심사진행상태	수리
심판사항
구분	신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2015.12.08)
심사청구항수	12

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	한국생산기술연구원	대한민국	충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	최범호	대한민국	충청남도 천안시 서북구
2	이종호	대한민국	광주광역시 동구
3	김은미	대한민국	광주광역시 북구
4	김영훈	대한민국	광주광역시 광산구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	특허법인아이엠	대한민국	서울특별시 강남구 봉은사로 *, *호 (역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	한국생산기술연구원		충청남도 천안시 서북구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2015.12.08	수리 (Accepted)	1-1-2015-1200899-98
2	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2016.12.12	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2017.02.09	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-6-2018-0082224-60
4	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2018.06.21	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2018-0422795-15
5	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2018.07.02	수리 (Accepted)	4-1-2018-5123030-77
6	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2018.08.21	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2018-0824721-29
7	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2018.08.21	수리 (Accepted)	1-1-2018-0824736-14
8	등록결정서 Decision to grant	2018.12.31	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2018-0894701-37

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 다층무기봉지박막에 있어서,전처리된 제1무기박막층;상기 제1무기박막층 상에 형성된 전처리된 제2무기박막층; 및상기 제2무기박막층 상에 형성된 제3무기박막층;을 포함하며,상기 다층무기봉지박막은 상기 제1무기박막층과 상기 제2무기박막층 사이의 계면 그리고, 상기 제2무기박막층과 상기 제3무기박막층 사이의 계면에서 혼합층으로 존재하여 비정질 상태인 것을 특징으로 하는 다층무기봉지박막
2	2 제 1 항에 있어서,상기 제1무기박막층은 SiN박막층이고, 상기 제2무기박막층은 SiCN박막층이며, 상기 제3무기박막층은 SiN박막층인 것을 특징으로 하는 다층무기봉지박막
3	3 제 2 항에 있어서,상기 다층무기봉지박막의 밀도는 2
4	4 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 다층무기봉지박막은 OLED용 다층무기봉지박막인 것을 특징으로 하는 다층무기봉지박막
5	5 다층무기봉지박막의 제조방법에 있어서,제1무기박막층을 형성하는 제1단계;상기 제1무기박막층을 전처리하는 제2단계;상기 제1무기박막층 상에 제2무기박막층을 형성하는 제3단계;상기 제2무기박막층을 전처리하는 제4단계; 및상기 제2무기박막층 상에 제3무기박막층을 형성하는 제5단계;를 포함하며,상기 제1무기박막층과 상기 제2무기박막층 사이의 계면 그리고, 상기 제2무기박막층과 상기 제3무기박막층 사이의 계면은 혼합층으로 존재하여 비정질 상태인 것을 특징으로 하는 다층무기봉지박막의 제조방법
6	6 제 5 항에 있어서,상기 제1단계는 PECVD법을 이용하여 SiN박막층을 증착하는 것을 특징으로 하는 다층무기봉지박막의 제조방법
7	7 제 6 항에 있어서,상기 제2단계는 상기 SiN박막층을 질소 플라즈마처리공정을 수행함과 함께, 200 내지 300℃ 범위의 일정 온도에서 열처리공정을 수행하여 상기 SiN박막층 표면에 기공을 형성하는 것을 특징으로 하는 다층무기봉지박막의 제조방법
8	8 제 7 항에 있어서,상기 제3단계는 PECVD법을 이용하여 SiCN박막층을 증착하는 것을 특징으로 하는 다층무기봉지박막의 제조방법
9	9 제 8 항에 있어서,상기 제4단계는 상기 SiCN박막층을 질소 및 산소 플라즈마처리공정을 수행함과 함께, 150 내지 250℃ 범위의 일정 온도에서 열처리공정을 수행하여 상기 SiCN박막층 표면에 기공을 형성하는 것을 특징으로 하는 다층무기봉지박막의 제조방법
10	10 제 9 항에 있어서,상기 제5단계는 PECVD법을 이용하여 SiN박막층을 증착하는 것을 특징으로 하는 다층무기봉지박막의 제조방법
11	11 제 10 항에 있어서,상기 제5단계의 상기 SiN박막층의 밀도는 상기 제1단계의 상기 SiN박막층과 상기 제3단계의 상기 SiCN박막층의 밀도보다 높은 것을 특징으로 하는 다층무기봉지박막의 제조방법
12	12 제 5 항 내지 제 11 항 중 어느 한 한에 있어서,상기 다층무기봉지박막은 OLED용 다층무기봉지박막인 것을 특징으로 하는 다층무기봉지박막의 제조방법

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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2015.12.08	수리 (Accepted)	1-1-2015-1200899-98
2	선행기술조사의뢰서	2016.12.12	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서	2017.02.09	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-6-2018-0082224-60
4	의견제출통지서	2018.06.21	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2018-0422795-15
5	출원인정보변경(경정)신고서	2018.07.02	수리 (Accepted)	4-1-2018-5123030-77
6	[명세서등 보정]보정서	2018.08.21	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2018-0824721-29
7	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2018.08.21	수리 (Accepted)	1-1-2018-0824736-14
8	등록결정서	2018.12.31	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2018-0894701-37


과제고유번호	1711034179
세부과제번호	EO150028
연구과제명	고효율/장수명 투명 OLED 조명용 면광원 개발(1/3)
성과구분	출원
부처명	미래창조과학부
연구관리전문기관명
연구주관기관명
성과제출연도	2015
연구기간	201501~201612
기여율	0.5
연구개발단계명	개발연구
6T분류명	NT(나노기술)


과제고유번호	1711034374
세부과제번호	EO150025
연구과제명	하이브리드 박막공정을 이용한 OLED lighting film 제조기술 개발(1/3)
성과구분	출원
부처명	미래창조과학부
연구관리전문기관명
연구주관기관명
성과제출연도	2015
연구기간	201501~201512
기여율	0.5
연구개발단계명	개발연구
6T분류명	NT(나노기술)

특허성과

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