| 요약 |
본 발명은 이온 펌프를 진공 튜브와 일체화시킨, 이온 펌프를 구비한 진공 전자 장치를 공개한다. 본 발명은 한 쌍의 음 전극 플레이트 사이에 복수의 양 전극 셀이 배치된 이온 펌프를 진공 튜브와 일체로 형성하고, 진공 전자 장치의 메인 자석에서 발생된 누설 자기장을 이온 펌프를 구동하는 자기장으로 활용함으로써, 종래 기술에서 이온 펌프를 구동하기 위해서 포함되었던 영구자석과 영구자석의 자기장 차폐를 위한 Iron shield의 생략이 가능해졌다. 따라서, 이온 펌프로부터 무거운 영구 자석과 iron shield를 생략함으로써 진공 전자 장치의 경량화가 가능하고, 이온 펌프 구동을 위한 영구자석과 전자빔 집속을 위해 진공 전자 장치의 메인 자석에서 발생된 자기장의 상호 간섭이 없으므로, 도 1과 같이 이온 펌프를 진공 튜브의 높은 위치에 설치할 필요가 없고, 이에 따라서, 진공 전자 장치의 구조적 안정성을 향상 시킬 수 있다. 또한, 이온 펌프의 위치를 메인 자석과 근접하게 설치할 수 있으므로, 초고진공 조건이 요구되는 상호작용 회로(cavity 등)에 최대한 가깝게 이온 펌프의 설치가 가능하고, 이에 따라서 진공 효율을 향상시킬 수 있으며, 진공 전자 장치의 소형화가 가능하다.
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