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전기적으로 접지되고 도전체로 형성된 안테나 몸체부;도전체로 형성되고 외부로부터 가변 초고주파를 제공받아 상기 가변 초고주파를 플라즈마에 방사하고 상기 안테나 몸체부를 관통하여 배치되는 송신 안테나 코어;절연체로 형성되고 상기 안테나 몸체부에 매설되고 상기 송신 안테나 코어를 감싸도록 배치되는 송신 안테나 절연 튜브;절연체로 형성되고 상기 송신 안테나 코어와 동축 상에서 상기 안테나 몸체부의 일면에 링 형상으로 매설된 수신 안테나 절연 링;도전체로 형성되고 상기 플라즈마를 통과하여 수신된 가변 초고주파 신호를 수신하고 상기 수신 안테나 절연링에 매설된 수신 안테나 도전 링;을 포함하고,상기 송신 안테나 코어의 일단 및 상기 수신 안테나 도전 링의 일면은 외부로 노출되는 것을 특징으로 하는 초고주파 플라즈마 진단 장치
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제1 항에 있어서,상기 송신 안테나 코어에 상기 가변 초고주파를 제공하고 상기 수신 안테나 링을 통하여 수신된 상기 가변 초고주파 신호를 분석하는 스펙트럼 분석부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초고주파 플라즈마 진단 장치
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제1 항에 있어서,상기 스펙트럼 분석부는 초고주파의 투과 계수를 산출하고,상기 투과 계수로부터 플라즈마 컷오프 주파수를 추출하고, 상기 플라즈마 컷오프 주파수를 플라즈마 밀도로 변환하는 처리부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초고주파 플라즈마 진단 장치
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제1 항에 있어서,도전체로 형성되고 상기 수신 안테나 링에 연결되고 상기 안테나 몸체부를 관통하여 배치되는 수신 안테나 연결부; 및절연체로 형성되고 상기 수신 안테나 연결부를 감싸도록 배치되고 절연체로 형성된 수신 안테나 연결 절연부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초고주파 플라즈마 진단 장치
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제1 항에 있어서,상기 수신 안테나 절연 링의 일면, 상기 수신 안테나 도전 링의 일면, 상기 송신 안테나 코어의 일단, 및 상기 송신 안테나 절연 튜브의 일단은 상기 안테나 몸체부의 일면에 노출되고, 동일한 평면에 정렬되는 것을 특징으로 하는 초고주파 플라즈마 진단 장치
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제1 항에 있어서,상기 수신 안테나 절연 링은 상기 송신 안테나 절연 튜브와 접촉하지 않도록 배치되는 것을 특징으로 하는 초고주파 플라즈마 진단 장치
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제1 항에 있어서,상기 수신 안테나 절연 링은 상기 송신 안테나 절연 튜브와 접촉하도록 배치되고, 상기 수신 안테나 절연 링과 상기 송신 안테나 절연 튜브은 일체형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 초고주파 플라즈마 진단 장치
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제1 항에 있어서,상기 수신 안테나 절연 링은 상기 송신 안테나 절연 튜브와 접촉하도록 배치되고, 상기 수신 안테나 절연 링과 상기 송신 안테나 절연 튜브는 분리형으로 구성되는 것을 특징으로 하는 초고주파 플라즈마 진단 장치
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제4 항에 있어서,상기 수신 안테나 연결부, 상기 수신 안테나 연결 절연부, 및 상기 안테나 몸체부은 동축 케이블 구조를 형성하고, 상기 동심축 케이블 구조의 특성 임피던스는 50 오옴인 것을 특징으로 하는 초고주파 플라즈마 진단 장치
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제1 항에 있어서,상기 송신 안테나 코어, 상기 송신 안테나 절연 튜브, 및 상기 안테나 몸체부는 동축 케이블 구조를 형성하고, 상기 동축 케이블 구조의 특성 임피던스는 50 오옴인 것을 특징으로 하는 초고주파 플라즈마 진단 장치
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