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희토류 산화물 박막을 이용한 표면 개질방법(METHOD FOR MODIFYING SURFACE OF SUBSTRATE USING RARE EARTH OXIDE THIN FILM)

  • 기술번호 : KST2017010207
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 희토류 산화물 박막을 이용한 표면 개질방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 플라즈마 원자층 증착법(PE-ALD)을 이용하여 무기물(Si, SiO2, Pt) 기판에 희토류 산화물(Y2O3)을 소정 두께로 증착함으로써, 고온에서도 안정적으로 소수성 표면을 유지할 수 있고, PE-ALD 공정에 의한 박막 성장시 발생하는 기판의 데미지를 최소화할 수 있으며, 구체적인 하부 기판의 소수성 특성에 따라 증착 표면의 최종 소수성 특성을 적절히 조절할 수 있는 희토류 산화물 박막을 이용한 표면 개질방법, 및 이에 따라 표면 개질된 소수성 기판에 관한 것이다.
Int. CL C23C 16/455 (2006.01.01) C23C 16/50 (2006.01.01) C23C 16/40 (2006.01.01)
CPC C23C 16/45536(2013.01) C23C 16/45536(2013.01) C23C 16/45536(2013.01) C23C 16/45536(2013.01)
출원번호/일자 1020150178476 (2015.12.14)
출원인 인천대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1751619-0000 (2017.06.21)
공개번호/일자 10-2017-0070668 (2017.06.22) 문서열기
공고번호/일자 (20170630) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.12.14)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인천대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 연수구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이한보람 대한민국 인천광역시 연수구
2 최준호 대한민국 인천광역시 남동구
3 김형준 대한민국 서울특별시 영등포구
4 오일권 대한민국 서울특별시 서대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 차준용 대한민국 서울특별시 구로구 디지털로**길 ***(구로동) 제이엔케이디지털타워 ****호(거번국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인천대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 연수구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.12.14 수리 (Accepted) 1-1-2015-1223979-25
2 수수료 사후 감면 신청서
Request for Follow-up Reduction of Official Fee
2016.01.12 수리 (Accepted) 1-1-2016-0031171-60
3 보정요구서
Request for Amendment
2016.01.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0006604-45
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2016.01.18 수리 (Accepted) 1-1-2016-0055019-90
5 수수료 사후 감면안내서
Notification of Follow-up Reduction of Official Fee
2016.02.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0017890-33
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.06.10 수리 (Accepted) 4-1-2016-5075573-17
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.08.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.10.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2016-0139926-48
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.10.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0778021-31
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.12.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-1273624-84
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2016-1273623-38
12 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.04.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0275644-91
13 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
2017.05.04 수리 (Accepted) 1-1-2017-0431752-93
14 법정기간연장승인서
2017.05.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0063700-35
15 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.05.18 수리 (Accepted) 1-1-2017-0471865-70
16 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2017.05.18 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-0471866-15
17 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)
2017.05.24 수리 (Accepted) 1-1-2017-0494373-02
18 보정요구서
Request for Amendment
2017.05.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0070542-82
19 등록결정서
Decision to Grant Registration
2017.06.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0427520-15
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.14 수리 (Accepted) 4-1-2019-5212872-93
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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친수성 표면을 소수성으로 개질하기 위한 방법으로서,친수성 무기물 기판 상에 플라즈마 원자층 증착법(PE-ALD)으로 희토류 산화물 박막을 증착하여, 표면의 소수성을 증대시키는 것이며,a) 친수성 무기물 기판으로서 물에 대한 접촉각(Contact Angle; CA)이 31
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제1항에 있어서,상기 방법에 따라 표면이 개질된 기판은 발수 유리, 금속 배선, 반도체 기판 또는 제트엔진 부품의 소재로 사용되는 것을 특징으로 하는,희토류 산화물 박막을 이용한 표면 개질방법
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소기업청 중소기업산학협력센터 산학연공동기술개발지원사업 나노파우더 코팅기술을 통한 초소수성 세라믹 기능성 도료 개발