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내부가 진공 상태로 형성가능한 진공 용기;상기 진공 용기 내부에 위치되는 중공형의 가속관;상기 가속관 표면상에 부착되어 돌출형성된 기준자;상기 진공 용기 일측면에 소정의 거리로 이격되어 위치하는 정밀정렬장치;상기 정밀정렬장치 및 상기 진공 용기 사이에 배치되는 제 1 렌즈장치; 및상기 진공 용기 타측에 소정의 거리로 이격되어 위치하는 제 2 렌즈장치를 포함하고,상기 진공 용기는 각 일측면 및 타측면 상에 서로 대응되게 위치하는 제 1 및 제 2 뷰포트를 구비하며,상기 정밀정렬장치, 상기 제 1 렌즈장치, 상기 제 1 뷰포트, 상기 기준자, 상기 제 2 뷰포트 및 상기 제 2 렌즈장치는 일방향의 동일한 축선상에 정렬되는 것을 특징으로 하는,정밀정렬장치를 이용한 가속관 변위 측정 시스템
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제 1 항에 있어서,상기 정밀정렬장치, 상기 제 1 렌즈장치, 상기 제 1 뷰포트, 상기 기준자, 상기 제 2 뷰포트 및 상기 제 2 렌즈장치를 모두 한 쌍으로 포함하여 한 쌍이 두 개의 축을 이루어 배치되고, 한 쌍의 상기 기준자는 상기 가속관의 양측에 돌출형성된 것을 특징으로 하는, 정밀정렬장치를 이용한 가속관 변위 측정 시스템
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제 1 항에 있어서,상기 제 2 렌즈장치는 광원을 포함하는 것을 특징으로 하는,정밀정렬장치를 이용한 가속관 변위 측정 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 렌즈장치는 경사 조절기를 포함하는 것을 특징으로 하는,정밀정렬장치를 이용한 가속관 변위 측정 시스템
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제 3 항에 있어서,상기 광원이 하나의 광축을 형성하여 상기 정밀정렬장치, 상기 제 1 렌즈장치, 상기 제 1 뷰포트, 상기 기준자, 상기 제 2 뷰포트 및 상기 제 2 렌즈장치가 상기 광축을 기준으로 정렬되는 것을 특징으로 하는,정밀정렬장치를 이용한 가속관 변위 측정 시스템
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진공 용기, 정밀정렬장치, 제 1 렌즈장치, 제 1 뷰포트, 기준자, 제 2 뷰포트 및 제 2 렌즈장치를 포함한 정밀정렬장치를 이용한 가속관 변위 측정 시스템에 있어서,(a) 상기 정밀정렬장치가 지면과 수평을 이루도록 조절되는 단계;(b) 상기 제 2 렌즈장치에 구비된 광원에 의해 형성된 광축을 기준으로 상기 정밀정렬장치, 상기 제 1 렌즈장치, 상기 제 1 뷰포트, 상기 기준자, 상기 제 2 뷰포트 및 상기 제 2 렌즈장치가 일렬로 정렬되는 단계;(c) 상기 정밀정렬장치에 부착된 인디케이터가 상기 광축이 정렬된 상태에서 좌표 초기값을 상하(), 좌우()로 읽는 단계;(d) 상기 기준자가 부착된 가속관이 상기 진공 용기 내부에 위치한 상태에서 상기 진공 용기가 고진공 상태로 유지되고, 목표한 고진공 상태에 도달되면 상기 기준자 상에서 상기 인디케이터가 좌표 변형값을 수직이동(), 수평이동()으로 읽는 단계; 및(e) 상기 (c) 단계 및 상기 (d) 단계 각각에서 얻은 상기 좌표 초기값 및 좌표 변형값이 사용되어 제 1 보정값이 산출되는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는,정밀정렬장치를 이용한 가속관 변위 측정 방법
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제 6 항에 있어서,상기 (e) 단계의 상기 제 1 보정값은 상기 좌표 초기값 및 상기 좌표 변형값의 차이 (,)인 것을 특징으로 하는,정밀정렬장치를 이용한 가속관 변위 측정 방법
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제 6 항에 있어서, 상기 정밀정렬장치, 상기 제 1 렌즈장치, 상기 제 1 뷰포트, 상기 기준자, 상기 제 2 뷰포트 및 상기 제 2 렌즈장치를 모두 한 쌍으로 포함하여 한 쌍이 두 개의 축을 이루어 배치되고, 한 쌍의 상기 기준자는 상기 가속관의 양측에 돌출형성된 것을 특징으로 하고, 상기 (a) 단계 및 상기 (b) 단계가 상기 두 개의 축의 축선상에 각각 배치된 상기 정밀정렬장치, 상기 제 1 렌즈장치, 상기 제 1 뷰포트, 상기 기준자, 상기 제 2 뷰포트 및 상기 제 2 렌즈장치에 동일하게 적용되는 것을 특징으로 하는,정밀정렬장치를 이용한 가속관 변위 측정 방법
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제 8 항에 있어서,상기 (c) 단계는, (c1) 상기 정밀정렬장치와 쌍을 이루는 다른 정밀정렬장치에 부착된 인디케이터가 상기 광축과 쌍을 이루는 다른 광축의 좌표 초기값을 상하(), 좌우()로 읽는 단계를 포함하고,상기 (d) 단계는, (d1) 상기 목표한 고진공 상태에 도달되면 상기 기준자와 쌍을 이루는 다른 기준자 상에서 상기 다른 정밀정렬장치의 인디케이터가 좌표 변형값을 수직이동(), 수평이동()로 읽는 단계를 포함하며; 그리고상기 (e) 단계는, (e1) 각 상기 (c1) 단계 및 상기 (d1) 단계 각각에서 얻은 상기 좌표 초기값 및 상기 좌표 변형값이 사용되어 제 2 보정값이 산출되는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는,정밀정렬장치를 이용한 가속관 변위 측정 방법
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제 9 항에 있어서,상기 (e1) 단계의 상기 제 2 보정값은 상기 (c1) 단계 및 상기 (d1) 단계 각각에서 얻은 상기 좌표 초기값 및 상기 좌표 변형값의 차이 (,)인 것을 특징으로 하는,정밀정렬장치를 이용한 가속관 변위 측정 방법
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제 9 항에 있어서,상기 진공 용기에 냉매 또는 열원 공급이 안 될 경우에는, 상기 제 1 및 제 2 보정값이 사용되어 상기 진공 용기와 상기 가속관이 정렬되고,상기 진공 용기에 냉매 또는 열원 공급이 될 경우에는,(f) 쌍으로 배치되는 상기 정밀정렬장치, 상기 제 1 렌즈장치, 상기 제 1 뷰포트, 상기 기준자, 상기 제 2 뷰포트 및 상기 제 2 렌즈장치가 상기 한 쌍의 제 2 렌즈장치에 구비된 광원이 형성하는 한 쌍의 광축을 기준으로 두 줄로 나란히 정렬되는 단계;(g) 상기 한 쌍의 정밀정렬장치에 부착된 인디케이터가 상기 한 쌍의 광축의 좌표값을 각각 수직이동( 및 ), 수평이동( 및 )으로 읽는 단계;(h) 상기 (g) 단계에서 얻은 상기 좌표값(, , , )과 상기 (c) 단계에서 얻은 상기 초기값(, , , )이 사용되어 보정값이 산출되는 단계; 그리고(i) 상기 (h)단계에서 산출된 보정값이 사용되어 상기 진공 용기와 상기 가속관이 정렬되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는,정밀정렬장치를 이용한 가속관 변위 측정 방법
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제 11 항에 있어서,상기 (h) 단계에서 산출된 상기 보정값은 상기 (g) 단계 및 상기 (c) 단계 각각에서 얻은 상기 좌표값 및 상기 초기값의 차이 (, , , )인 것을 특징으로 하는,정밀정렬장치를 이용한 가속관 변위 측정 방법
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