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내부에 금속 입자가 구비되고, 외부에 히터(heater)가 구비되며, 상기 히터를 이용하여 상기 금속 입자를 증기화시키는 가열부;상기 가열부와 연결되고, 상기 증기화된 금속 입자를 냉각시켜 금속 나노입자로 생성하는 냉각부; 및상기 냉각부와 연결되고, 금속 나노입자와 산화반응을 하는 활성액체를 담고 있으며, 상기 생성된 금속 나노입자를 상기 활성액체에 주입하여 상기 생성된 금속 나노입자의 표면에 산화막을 형성하는 산화부;를 포함하는 금속 나노입자의 제조장치
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제 1항에 있어서,상기 가열부, 상기 냉각부 및 상기 산화부는, 서로 이송관으로 연결되고, 상기 가열부로 유입되는 캐리어가스로 상기 증기화된 금속 입자 및 상기 금속 나노입자가 상기 이송관을 통해 이송되는 것을 특징으로 하는 금속 나노입자의 제조장치
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제 1항에 있어서,상기 냉각부는,상기 증기화된 금속 입자를 중탕으로 냉각시키는 것을 특징으로 하는 금속 나노입자의 제조장치
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제 1항에 있어서,상기 산화부는,상기 활성액체에 산 또는 염기를 더 첨가하여 상기 금속 나노입자의 산화반응을 조절하는 것을 특징으로 하는 금속 나노입자의 제조장치
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제 1항에 있어서,상기 활성액체는,H2OX 중 X가 2이상인 액체인 것을 특징으로 하는 금속 나노입자의 제조장치
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금속 입자를 준비하는 단계;상기 준비된 금속 입자를 히터로 가열하여 증기화시키는 단계;상기 증기화된 금속 입자를 냉각시켜 금속 나노입자로 생성하는 단계; 및상기 생성된 금속 나노입자를 상기 금속 나노입자와 산화반응을 하는 활성액체에 주입하여 상기 생성된 금속 나노입자의 표면에 산화막을 형성하는 단계;를 포함하는 금속 나노입자의 제조방법
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