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알루미나 분체 시료에 대해 X-선을 조사하는 조사부,상기 알루미나 분체 시료로부터 회절된 X-선을 검출하는 검출부, 그리고상기 검출부로부터 검출한 상기 X-선의 회절 각과 회절 강도를 이용하여, 상기 알루미나 분체 시료의 격자 상수를 계산하고, 상기 계산한 알루미나 분체 시료의 격자 상수를 이용하여, 상기 알루미나 분체 시료의 불순물 함량을 계산하는 연산부를 포함하고, 상기 연산부는, 불순물 함량에 따른 격자 상수의 관계식을 저장하는 저장부를 포함하고, 상기 저장부에 미리 저장된 불순물 함량에 따른 격자 상수의 관계식으로부터 시료에 포함된 불순물 함량을 구하고,상기 불순물 함량에 따른 격자 상수의 관계식은 불순물 함량에 따른 격자 상수를 기록한 테스트 시료의 데이터를 이용하여 불순물 함량에 따른 격자 상수의 관계를 n차 함수의 형태로 도출하되,상기 불순물 함량에 따른 격자 상수의 관계식은, (Y는 기저면의 격자 상수와 축 방향 격자 상수의 비율(c/a), X는 불순물양(ppm))인알루미나 분체의 불순물 측정 장치
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제1항에서,상기 연산부는, 브래그의 법칙을 이용하여 면간 거리를 계산하는 알루미나 분체의 불순물 측정 장치
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제2항에서,상기 연산부는, 상기 면간 거리와 면지수를 이용하여 격자 상수를 계산하는 알루미나 분체의 불순물 측정 장치
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제3항에서, 상기 연산부는, 육방 밀집 결정 구조의 면간 거리 계산식인 을 이용하여 기저면의 격자 상수(a) 및 축 방향의 격자 상수(c)를 계산하는 알루미나 분체의 불순물 측정 장치
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알루미나 분체 시료에 X-선을 조사하는 단계,상기 알루미나 분체 시료로부터 회절된 X-선을 검출하는 단계, 그리고상기 X-선 검출 단계에서 검출된 상기 X-선의 회절각과 회절강도를 이용하여 상기 알루미나 분체 시료의 격자 상수를 계산하고, 상기 계산한 알루미나 분체 시료의 격자 상수를 이용하여, 상기 알루미나 분체 시료의 불순물 함량을 계산하는 단계를 포함하고, 상기 불순물 함량을 계산하는 단계는, 미리 저장된 불순물 함량에 따른 격자 상수의 관계식으로부터 상기 계산한 격자 상수를 이용하여 알루미나 시료에 포함된 불순물 함량을 구하고, 상기 미리 저장된 불순물 함량에 따른 격자 상수의 관계식은 불순물 함량에 따른 격자 상수를 기록한 테스트 시료의 데이터를 이용하여 불순물 함량에 따른 격자 상수의 관계를 n차 함수의 형태로 도출하며, 상기 불순물 함량에 따른 격자 상수의 관계식은, (Y는 기저면의 격자 상수와 축 방향 격자 상수의 비율(c/a), X는 불순물양(ppm))인 알루미나 분체의 불순물 측정 방법
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제8항에서, 상기 불순물 함량을 계산하는 단계는,상기 X-선의 회절각을 이용하여 면간 거리를 계산하는 단계,상기 면간 거리 및 회절 강도의 피크 값의 면지수(miller index)를 이용하여 격자 상수를 계산하는 단계; 그리고 상기 계산한 격자 상수를 이용하여 불순물 양을 측정하는 단계를 포함하는 알루미나 분체의 불순물 측정 방법
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제9항에서, 상기 면간 거리를 계산하는 단계는, 브래그의 법칙을 이용하여 면간 거리를 계산하는 알루미나 분체의 불순물 측정 방법
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제10항에서, 상기 격자 상수를 계산하는 단계는, 육방 밀집 결정 구조의 면간 거리 계산식인 을 이용하여 기저면의 격자 상수(a) 및 축 방향의 격자 상수(c)를 계산하는 알루미나 분체의 불순물 측정 방법
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