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가간섭 광을 조사하는 광원부;상기 광원부로부터 입사된 광을 측정면과 기준면에 조사하기 위해 측정광과 기준광으로 분할시키며, 상기 측정면에 조사된 후 반사되는 측정광과 상기 기준면에 조사된 후 반사되는 기준광에 의해 간섭무늬가 결상되는 간섭 렌즈계; 상기 간섭 렌즈계에 결상된 간섭무늬를 획득하는 영상획득부; 및상기 간섭 렌즈계를 광축 방향으로 이동시키기 위한 구동부;를 포함하고,상기 광원부는 백색광을 조사하는 광원; 상기 백색광을 반사광과 투과광으로 분할시키는 제1 광분할기; 상기 반사광을 상기 제1 광분할기를 향해 반사하여, 제1 광경로를 형성하는 제1 미러; 및 상기 투과광을 상기 제1 광분할기를 향해 반사하여, 제2 광경로를 형성하는 제2 미러;를 포함하여 이루어지고, 서로 다른 광경로를 통해 서로 다른 위상을 갖는 제1 가간섭 광 및 제2 가간섭 광을 생성하고, 상기 제1 광분할기와 상기 제1 미러 사이의 거리(m1)와 상기 제1 광분할기와 상기 제2 미러 사이의 거리(m2)가 서로 다르게 구비되어, 상기 제1 광경로와 상기 제2 광경로의 거리가 서로 다른 것을 특징으로 하는 이중 가간섭 백색광 주사 간섭계
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제 1항에 있어서,상기 간섭 렌즈계는상기 제1 가간섭 광에 의한 간섭무늬, 상기 제2 가간섭 광에 의한 간섭무늬 또는 상기 제1 가간섭 광 및 상기 제2 가간섭 광에 의한 간섭무늬가 결상되는 것을 특징으로 하는 이중 가간섭 백색광 주사 간섭계
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제 2항에 있어서,상기 간섭 렌즈계는상기 광원부를 통해 입사되는 광을 집광시키는 제1 집광 렌즈; 및소정 위치에 구비되는 기준면;상기 제1 집광 렌즈를 통해 집광된 광을 시편의 측정면과 상기 기준면에 조사하기 위해 분할시키는 제2 광분할기;를 포함하고, 상기 제2 광분할기에는 상기 측정면에 조사된 후 반사되는 측정광과 상기 기준면에 조사된 후 반사되는 기준광에 의해 간섭무늬가 결상되는 것을 특징으로 하는 이중 가간섭 백색광 주사 간섭계
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제 2항에 있어서,상기 광원부와 상기 간섭 렌즈계 사이에 구비되어, 상기 광원부로부터 입사되는 광을 분할하는 제3 광분할기; 및상기 제3 광분할기를 통해 입사되는 상기 제1 가간섭광과 상기 제2 가간섭광의 스펙트럼을 계측하여, 상기 제1 광경로와 상기 제2 광경로의 거리 차이를 실시간으로 산출하는 분광기;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이중 가간섭 백색광 주사 간섭계
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제 5항에 있어서,상기 영상획득부는상기 제3 광분할기를 통해 상기 간섭 렌즈계에 결상된 간섭무늬를 획득하는 CCD 카메라를 포함하는 것을 특징으로 하는 이중 가간섭 백색광 주사 간섭계
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제 1항, 제 2항, 제 4항 내지 제 6항 중 어느 한 항의 이중 가간섭 백색광 주사 간섭계를 이용하여 단차를 갖는 시편의 표면 형상 측정 방법으로서,시편의 제1 측정면의 표면 높이를 측정하는 단계; 및상기 제1 측정면과 다른 높이를 갖는 제2 측정면의 표면 높이을 측정하는 단계;를 포함하여 이루어지고,상기 제1 측정면의 표면형상을 측정하는 단계는 상기 제1 측정면에 조사되는 상기 측정광과 상기 기준면에 조사되는 상기 기준광의 광경로차가 0에 근접하도록 상기 기준면의 위치를 조절하여, 상기 제1 가간섭광에 의한 간섭무늬와 상기 제2 가간섭광에 의한 간섭무늬가 발생되게 하고,상기 제2 측정면의 표면형상을 측정하는 단계는 상기 제1 가간섭광 및 상기 제2 가간섭광에 의한 간섭무늬가 발생되도록 상기 기준면의 위치를 조절하며, 상기 기준면의 구동거리는 상기 시편의 단차에서 상기 제1 가간섭 광경로와 상기 제2 가간섭 광경로의 차이를 뺀 값인 것을 특징으로 하는 단차를 갖는 시편의 표면 형상 측정 방법
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