맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

X선을 이용한 태양전지 박막 두께 측정 장치용 스테이지(STAGE USED IN APPARATUS FOR MEASURING FILM THICKNESS OF SOLA CELL USING PARALLEL X―RAY BEAMS)

  • 기술번호 : KST2017011229
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 웨이퍼 또는 태양전지의 박막 두께를 측정하기 위한 XRR을 이용한 두께 측정 장치 또는 클러스터에 이용되는 스테이지, 구체적으로는 스테이지 구동 부재에 의해 x축, y축, z축 상에서의 이동과, x축을 회전축으로 한 오메가축 회전과 y축을 회전축으로 한 카이축 회전이 가능하도록 구성되는 X선을 이용한 태양전지 박막 두께 측정 장치용 스테이지가 제공되고, 이 스테이지는, 기판이 안착되는 스테이지의 몸체, 몸체의 상부 표면으로부터 미리정해진 깊이로 형성되는 복수의 홈부, 몸체의 내부에 형성되는 중공부, 몸체의 상부 표면으로부터 몸체 내부에 형성된 중공부까지 형성되는 복수의 에어홀, 중공부의 적어도 일부분으로부터 몸체의 외측으로 형성되는 공기 배출부를 포함한다.
Int. CL G01B 17/02 (2016.02.04) H02S 50/10 (2016.02.04) H01L 21/677 (2016.02.04)
CPC G01B 17/02(2013.01) G01B 17/02(2013.01) G01B 17/02(2013.01) G01B 17/02(2013.01)
출원번호/일자 1020150189048 (2015.12.29)
출원인 원광대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0078478 (2017.07.07) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.12.29)
심사청구항수 3

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 원광대학교산학협력단 대한민국 전라북도 익산시

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김재훈 대한민국 경기도 수원시 권선구
2 이충훈 대한민국 서울특별시 도봉구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김해중 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, 영진벤처빌딩 *층 라온국제특허법률사무소 (서초동)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2015-1285118-84
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.06.10 수리 (Accepted) 4-1-2016-5075701-65
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2016.11.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.01.10 수리 (Accepted) 9-1-2017-0000569-00
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.03.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0203192-34
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2017.05.22 수리 (Accepted) 1-1-2017-0482638-70
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2017.06.20 수리 (Accepted) 1-1-2017-0589527-31
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.07.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0673700-38
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.07.14 수리 (Accepted) 1-1-2017-0673691-15
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0834765-18
11 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2018.01.29 수리 (Accepted) 1-1-2018-0096341-51
12 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2018.02.28 수리 (Accepted) 1-1-2018-0206698-37
13 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.03.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0313454-92
14 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.03.29 수리 (Accepted) 1-1-2018-0313415-11
15 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2018.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0588070-81
16 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
 2018.10.01 수리 (Accepted) 1-1-2018-0965123-54
17 법정기간연장승인서
 2018.10.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0155510-82
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
스테이지 구동 부재에 의해 x축, y축, z축 상에서의 이동과, x축을 회전축으로 한 오메가축 회전과 y축을 회전축으로 한 카이축 회전이 가능하도록 구성되는 X선을 이용한 태양전지 박막 두께 측정 장치용 스테이지에 있어서,기판이 안착되는 스테이지의 몸체, 몸체의 상부 표면으로부터 미리정해진 깊이로 형성되는 복수의 홈부, 몸체의 내부에 형성되는 중공부,몸체의 상부 표면으로부터 몸체 내부에 형성된 중공부까지 형성되는 복수의 에어홀, 중공부의 적어도 일부분으로부터 몸체의 외측으로 형성되는 공기 배출부를 포함하는 것을 특징으로 하는X선을 이용한 태양전지 박막 두께 측정 장치용 스테이지
2 2
제1항에 있어서,상기 복수의 에어홀(110)은 몸체 내부에 형성된 중공부를 통해 서로 연결되도록 구성된 것을 특징으로 하는X선을 이용한 태양전지 박막 두께 측정 장치용 스테이지
3 3
제2항에 있어서,상기 복수의 홈부의 깊이는 로봇암의 픽부가 수용되도록 형성되는 것을 특징으로 X선을 이용한 태양전지 박막 두께 측정 장치용 스테이지
4 4
제3항에 있어서,상기 공기 배출부는 외부의 공기 흡입기에 연결되는 것을 특징으로 하는X선을 이용한 태양전지 박막 두께 측정 장치용 스테이지
5 5
제3항에 있어서,상기 스테이지는 사각형 또는 원형으로 형성된 것을 특징으로 하는 X선을 이용한 태양전지 박막 두께 측정 장치용 스테이지
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 원광대학교산학협력단 지역혁신센터 조성사업 차세대 방사선 산업기술 지역혁신센터