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평행 Ｘ선을 이용한 박막 태양전지 두께 측정장치(APPARATUS FOR MEASURING FILM THICKNESS OF SOLA CELL USING PARALLEL X―RAY BEAMS)

  • 기술번호 : KST2017011230
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 박막 태양전지 두께 측정 장치에 관한 것으로 구체적으로는 XRR(x-ray reflectivity)을 이용한 박막 태양전지 두께 측정 장치에 관한 것으로, 시료 공급부와 두께 측정부를 포함하고, 시료 공급부는 시료로 이용되는 웨이퍼들이 수용되는 카세트 모듈, 카세트 모듈로부터 공급된 웨이퍼의 방향을 정렬하기 위한 얼라인모듈, 얼라인모듈의 웨이퍼를 분석 스테이지로 자동으로 공급하기 위한 로봇암을 포함하고, 두께 측정부는 로봇암으로부터 공급된 웨이퍼가 장착되는 분석 스테이지, 분석 스테이지에 위치된 웨이퍼에 X선을 발생 및 조사하기 위한 X선 튜브 및 X선 튜브로부터 조사되어 웨이퍼로부터 반사된 X선을 검출하기 위한 X선 검출부를 포함하고, 상기 X선 튜브와 분석 스테이지 사이에는 X선 튜브로부터 발생 및 조사된 X선을 평행광으로 변경하기 위한 X선 미러가 형성되어 있다.
Int. CL G01B 15/02 (2016.02.05) H01L 31/18 (2016.02.05) H01L 21/677 (2016.02.05) H02S 50/10 (2016.02.05) B65G 49/06 (2016.02.05) B65G 47/90 (2016.02.05)
CPC G01B 15/02(2013.01) G01B 15/02(2013.01) G01B 15/02(2013.01) G01B 15/02(2013.01) G01B 15/02(2013.01) G01B 15/02(2013.01) G01B 15/02(2013.01) G01B 15/02(2013.01)
출원번호/일자 1020150188929 (2015.12.29)
출원인 원광대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0078423 (2017.07.07) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.12.29)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 원광대학교산학협력단 대한민국 전라북도 익산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김재훈 대한민국 경기도 수원시 권선구
2 이충훈 대한민국 서울특별시 도봉구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김해중 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, 영진벤처빌딩 *층 라온국제특허법률사무소 (서초동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2015-1284537-22
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.06.10 수리 (Accepted) 4-1-2016-5075701-65
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2016.12.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.02.10 수리 (Accepted) 9-1-2017-0004327-51
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.03.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0203194-25
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2017.05.22 수리 (Accepted) 1-1-2017-0482364-65
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2017.06.20 수리 (Accepted) 1-1-2017-0589480-84
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.07.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0673599-12
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.07.14 수리 (Accepted) 1-1-2017-0673588-10
10 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2017.11.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0811312-77
11 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2018.01.22 수리 (Accepted) 1-1-2018-0071289-44
12 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2018.02.21 수리 (Accepted) 1-1-2018-0183045-60
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.03.21 수리 (Accepted) 1-1-2018-0282430-80
14 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.03.21 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2018-0282441-82
15 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2018.09.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0601265-38
16 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
 2018.10.04 수리 (Accepted) 1-1-2018-0979459-51
17 법정기간연장승인서
 2018.10.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0154802-30
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
평행 X선을 이용한 박막 태양전지 두께 측정장치에 있어서,시료 공급부와 두께 측정부를 포함하고, 시료 공급부는 시료로 이용되는 웨이퍼들이 수용되는 카세트 모듈, 카세트 모듈로부터 공급된 웨이퍼의 방향을 정렬하기 위한 얼라인모듈, 얼라인모듈의 웨이퍼를 분석 스테이지로 자동으로 공급하기 위한 로봇암을 포함하고, 두께 측정부는 로봇암으로부터 공급된 웨이퍼가 장착되는 분석 스테이지, 분석 스테이지에 위치된 웨이퍼에 X선을 발생 및 조사하기 위한 X선 튜브 및 X선 튜브로부터 조사되어 웨이퍼로부터 반사된 X선을 검출하기 위한 X선 검출부를 포함하고, 상기 X선 튜브와 분석 스테이지 사이에는 X선 튜브로부터 발생 및 조사된 X선을 평행광으로 변경하기 위한 X선 미러가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 평행 X선을 이용한 박막 태양전지 두께 측정장치
2 2
제1항에 있어서,상기 X선 검출부와 상기 분석 스테이지 사이에는 상기 분석 스테이지 상에 놓여진 시료로부터 반사되는 X선으로부터의 산란광을 제거하기 위한 산란제거슬릿을 더 포함하는,평행 X선을 이용한 박막 태양전지 두께 측정장치
3 3
제2항에 있어서,상기 분석 스테이지는 X축, Y축 및 Z축 상에서 이동가능하고, 상기 X축을 회전축으로 하는 오메가축 회전 및 상기 Y축을 회전축으로 하는 카이축 회전가능하도록 구성된 평행 X선을 이용한 박막 태양전지 두께 측정장치
4 4
제1항에 있어서,상기 X선 미러로부터 평행 상태에 있는 분석 스테이지 상의 시료로 입사되는 X선의 입사각도는 ±5°의 범위 내에 있는평행 X선을 이용한 박막 태양전지 두께 측정장치
5 5
제4항에 있어서,상기 오메가 축회전은 -2°내지 +5°의 범위 내에서 축회전 가능하도록 구성되고, 평행 X선을 이용한 박막 태양전지 두께 측정장치
6 6
제5항에 있어서,상기 카이 축회전은 -10°내지 +10°의 범위 내에서 축회전 가능하도록 구성된 것을 특징으로 하는평행 X선을 이용한 박막 태양전지 두께 측정장치
7 7
제6항에 있어서,상기 X선 검출부(600)는 수직방향으로부터 -10°내지 +10°의 범위 내에서 회전가능하도록 구성된 것을 특징으로 하는 평행 X선을 이용한 박막 태양전지 두께 측정장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
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