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클러스터용 평행 X선을 이용한 태양전지 박막 두께 측정 장치(APPARATUS ON CLUSTER FOR MEASURING FILM THICKNESS OF SOLA CELL USING PARALLEL X―RAY BEAMS)

  • 기술번호 : KST2017011231
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 클러스터형 반도체 제조 장치에 이용될 수 있는 클러스터용 평행 X선을 이용한 태양전지 두께 측정 장치에 관한 것이다.본 발명에 따르면, 두께 측정 장치는, 로봇암으로부터 공급된 웨이퍼가 장착되는 분석 스테이지, 분석 스테이지에 위치된 웨이퍼에 X선을 발생 및 조사하기 위한 X선 튜브 및 X선 튜브로부터 조사되어 웨이퍼로부터 반사된 X선을 검출하기 위한 X선 검출부를 포함하고, 상기 X선 튜브와 분석 스테이지 사이에는 X선 튜브로부터 발생 및 조사된 X선을 평행광으로 변경하기 위한 X선 미러가 형성되어 있으며, 상기 분석 스테이지는 클러스터의 트랜스퍼 모듈로부터 웨이퍼를 이송받기 위한 제1 상태와 웨이퍼 박막의 두께를 측정하기 위해 제1 상태로부터 45°기울어진 제2 상태 사이에서 전환 가능하도록 구성된다.
Int. CL G01B 15/02 (2016.02.12) H01L 21/66 (2016.02.12)
CPC G01B 15/02(2013.01) G01B 15/02(2013.01) G01B 15/02(2013.01)
출원번호/일자 1020150189043 (2015.12.29)
출원인 원광대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0078477 (2017.07.07) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.12.29)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 원광대학교산학협력단 대한민국 전라북도 익산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김재훈 대한민국 경기도 수원시 권선구
2 이충훈 대한민국 서울특별시 도봉구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김해중 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, 영진벤처빌딩 *층 라온국제특허법률사무소 (서초동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 (주)광일에너지 전라북도 군산
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2015-1285079-91
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.06.10 수리 (Accepted) 4-1-2016-5075701-65
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.12.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.02.10 수리 (Accepted) 9-1-2017-0004166-07
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.03.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0203196-16
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.05.22 수리 (Accepted) 1-1-2017-0482385-13
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.06.20 수리 (Accepted) 1-1-2017-0589508-74
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.07.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0673641-32
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.07.14 수리 (Accepted) 1-1-2017-0673635-68
10 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2017.11.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0797087-68
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.11.22 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-1163540-80
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.11.22 수리 (Accepted) 1-1-2017-1163505-92
13 등록결정서
Decision to grant
2017.12.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0883869-06
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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클러스터형 반도체 제조 장치에 제공되는 평행 X선을 이용한 박막 태양전지 두께 측정장치에 있어서,두께 측정 장치는, 로봇암으로부터 공급된 웨이퍼가 장착되는 분석 스테이지, 분석 스테이지에 위치된 웨이퍼에 X선을 발생 및 조사하기 위한 X선 튜브 및 X선 튜브로부터 조사되어 웨이퍼로부터 반사된 X선을 검출하기 위한 X선 검출부를 포함하고, 상기 X선 튜브와 분석 스테이지 사이에는 X선 튜브로부터 발생 및 조사된 X선을 평행광으로 변경하기 위한 X선 미러가 형성되어 있으며,상기 분석 스테이지는 클러스터의 트랜스퍼 모듈로부터 웨이퍼를 이송받기 위한 제1 상태와 웨이퍼 박막의 두께를 측정하기 위해 제1 상태로부터 45°기울어진 제2 상태 사이에서 전환 가능하도록 구성되고,상기 X선 튜브와 X선 미러는, 웨이퍼를 이송하는 이송하는 로봇암의 이송경로와 로봇암이 출입하는 게이트 밸브와의 기구적 간섭을 피하기 위해 로봇 암과 게이트 밸브의 하측에 설치되고, 상기 X선 미러는 상기 분석 스테이지가 상기 제2 상태에 위치될 때, 상기 X선 미러로부터 분석 스테이지 상의 시료로의 X선의 입사각도가 ±5°의 범위 내에 있도록 설치되고,상기 분석 스테이지가 상기 제2 상태에 위치될 때, 상기 X선 검출부는 수직방향으로부터 -10°내지 +10°의 범위 내에서 회전가능하도록 구성된 것을 특징으로 하는 클러스터용 평행 X선을 이용한 박막 태양전지 두께 측정장치
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제1항에 있어서,상기 X선 검출부와 상기 분석 스테이지 사이에는 상기 분석 스테이지 상에 놓여진 시료로부터 반사되는 X선으로부터의 산란광을 제거하기 위한 산란제거슬릿을 더 포함하는,클러스터용 평행 X선을 이용한 박막 태양전지 두께 측정장치
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제2항에 있어서,상기 분석 스테이지는 제2 상태에서, X축, Y축 및 Z축 상에서 이동가능하고, 상기 X축을 회전축으로 하는 오메가축 회전 및 상기 Y축을 회전축으로 하는 카이축 회전가능하도록 구성된 클러스터용 평행 X선을 이용한 박막 태양전지 두께 측정장치
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삭제
5 5
삭제
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제3항에 있어서,상기 분석 스테이지가 상기 제2 상태에 위치될 때 상기 카이축 회전은 -10°내지 +10°의 범위 내에서 축회전 가능하도록 구성된 것을 특징으로 하는클러스터용 평행 X선을 이용한 박막 태양전지 두께 측정장치
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삭제
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1 지식경제부 원광대학교산학협력단 지역혁신센터 조성사업 차세대 방사선 산업기술 지역혁신센터