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전원을 공급하는 전원 공급부;노즐부를 구비한 원통형 챔버로서, 내부에 유입된 액체 또는 액체와 기체의 혼합 유체가 플라즈마 상태로 전환되어 분사되는 플라즈마 노즐; 및상기 플라즈마 노즐 내부에 형성되고, 유입된 액체 또는 액체와 기체의 혼합 유체에 전원 공급부로부터 공급된 전압을 인가하여 플라즈마 상태로 전환시키는 전극부를 포함하고, 상기 전극부는 전원 공급부와 전기적으로 연결되는 내부 전극; 및 상기 내부 전극을 둘러싸는 유전체 튜브를 포함하며, 복수의 내부 전극이 유전체 튜브 내에 다발 형태로 구성된 액체 플라즈마 젯 분사 장치
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제 1 항에 있어서, 유전체 튜브는 내부 전극의 끝 단 보다 돌출되어있는 액체 플라즈마 젯 분사 장치
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제 2 항에 있어서, 내부 전극의 끝 단으로부터 유전체 튜브가 돌출된 길이는 0
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제 1 항에 있어서, 내부에 유입되는 액체는 물, H2O2, C2H5OH, CH3OH, CH3COOH 또는 이들의 2가지 이상의 혼합물인 액체 플라즈마 젯 분사 장치
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제 1 항에 있어서, 유전체 튜브의 재질은 질화붕소(BN), 알루미나 또는 석영 중 하나 이상의 재질로 구성되는 액체 플라즈마 젯 분사 장치
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제 1 항에 있어서, 내부 전극의 재질은 텅스텐, 몰리브덴, 티타늄 또는 스테인레스 스틸 중 하나 이상의 재질로 구성되는 액체 플라즈마 젯 분사 장치
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제 1 항에 있어서, 노즐부는 직선형 또는 방사형인 액체 플라즈마 젯 분사 장치
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제 1 항에 있어서, 노즐부는 플라즈마 노즐 내부에서 노즐부의 끝단 방향으로 노즐유로의 직경이 일정하게 유지되는 형태, 노즐유로의 직경이 커지는 형태, 또는 노즐유로의 직경이 작아지는 형태 중 어느 것인 액체 플라즈마 젯 분사 장치
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제 1 항에 있어서, 플라즈마 노즐에 적어도 하나의 유체 유입구가 형성되어 있는 액체 플라즈마 젯 분사 장치
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제 1 항에 있어서, 복수의 전극부를 포함하는 액체 플라즈마 젯 분사 장치
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삭제
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제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 기재된 액체 플라즈마 젯 분사 장치를 포함하는 표면 세정 장치
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제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 기재된 액체 플라즈마 젯 분사 장치를 포함하는 공기 정화 장치
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제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 기재된 액체 플라즈마 젯 분사 장치를 포함하는 표면 코팅 장치
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