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유체이송관;상기 유체이송관의 내부로 전자파를 공급하도록 상기 유체이송관과 전자파 커플링된 환형의 도파관;상기 유체이송관의 종방향에 평행하도록 상기 유체이송관의 내부에 설치되고, 상기 환형의 도파관으로부터 전자파가 유입되는 유전체관; 및상기 유체이송관 내에 전자파 및 플라즈마 가둠 캐비티를 형성하도록 상기 유전체관의 상단부 및 하단부에 배치된 한 쌍의 금속 메쉬망을 포함하는 것을 특징으로 하는,고밀도 마이크로파 플라즈마 장치
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제1항에 있어서,상기 환형 도파관은 환형의 내측 원의 표면이 상기 유전체가 위치한 유체이송관의 일부 영역의 외면을 감싸도록 상기 유전체관과 결합되어 있고,상기 환형 도파관은 상기 환형의 내측 원의 표면에 형성된 적어도 하나의 전자파방사슬롯을 포함하고,상기 유체이송관은 상기 환형의 내측 원의 표면이 감싸고 있는 영역에 형성되어 상기 전자파방사슬롯과 대응되는 적어도 하나의 전자파유입슬롯을 포함하는 것을 특징으로 하는,고밀도 마이크로파 플라즈마 장치
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제2항에 있어서,상기 유전체관은 외면이 상기 유체이송관의 내면에 밀착되어 상기 전자파유입슬롯을 덮고 있는 것을 특징으로 하는,고밀도 마이크로파 플라즈마 장치
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제1항에 있어서,상기 유체이송관은 단부의 직경보다 큰 직경을 갖도록 상기 유체이송관의 일부 영역에 형성된 환형공간을 포함하고,상기 유전체관은 상기 유전체관의 외면 및 상기 환형공간의 내면이 일정 거리 이격되도록 상기 환형공간 내에 위치하여 상기 환형공간이 상기 유전체를 에워싸도록 배치되어 있고,상기 환형 도파관은 축방향에 수직한 면이 상기 환형공간에 대응되도록 상기 환형공간의 상측 또는 하측에 접하여 있고,상기 환형 도파관의 상기 환형공간과 접하여 있는 면은 적어도 하나의 전자파방사슬롯을 포함하는 것을 특징으로 하는,고밀도 마이크로파 플라즈마 장치
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제1항에 있어서,상기 환형 도파관은 상기 유체이송관은 단부의 직경보다 큰 직경을 갖도록 상기 유체이송관의 일부 영역에 형성된 환형공간으로 구성되고,상기 유전체관은 상기 유전체관의 외면 및 상기 환형공간의 내면이 일정 거리 이격되도록 상기 환형공간 내에 위치하여 상기 환형공간이 상기 유전체를 에워싸도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는,고밀도 마이크로파 플라즈마 장치
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제4항 또는 제5항에 있어서,상기 유전체관은 상기 유전체관의 단부와 유사한 직경을 갖도록 형성되어 있고 상기 환형공간 및 상기 유전체관의 단부측의 내부가 서로 독립되도록 상기 환형공간 내에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는,고밀도 마이크로파 플라즈마 장치
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제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 장치는,상기 유전체관의 내부의 중심부에서 상기 유전체의 종방향에 평행하게 설치된 안테나로드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는,고밀도 마이크로파 플라즈마 장치
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공정가스를 주입하여 공정가스를 이용한 소정의 공정이 진행되는 공정 챔버;상기 공정 챔버로부터 공정 후의 폐가스를 배출하는 폐가스배출관;상기 폐가스배출관의 종단부에 연결되어 상기 폐가스배출관을 통해 배출되는 폐가스를 포집하는 드라이 펌프;상기 드라이 펌프에 배관을 통해 연결되어 상기 드라이 펌프로부터 배출되는 폐가스 내의 불순물 입자를 포집하여 처리하는 스크러버; 및상기 드라이 펌프의 앞단에 위치하도록 상기 폐가스배출관 상에 설치되어 상기 폐가스배출관 내부를 통과하는 폐가스 내의 유해성분을 제거하는 마이크로파 플라즈마 장치를 포함하고,상기 마이크로파 플라즈마 장치는,유체이송관;상기 유체이송관의 내부로 전자파를 공급하도록 상기 유체이송관과 전자파 커플링된 환형의 도파관;상기 유체이송관의 종방향에 평행하도록 상기 유체이송관의 내부에 설치되고, 상기 환형의 도파관으로부터 전자파가 유입되는 유전체관; 및상기 유체이송관 내에 전자파 및 플라즈마 가둠 캐비티를 형성하도록 상기 유전체관의 상단부 및 하단부에 배치된 한 쌍의 금속 메쉬망을 포함하는 것을 특징으로 하는,고밀도 마이크로파 플라즈마 장치를 이용한 폐가스 처리장치
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제8항에 있어서,상기 폐가스 처리장치는,상기 마이크로파 플라즈마 장치의 앞단의 위치에서 상기 폐가스배출관에 연결되어 상기 폐가스배출관 내부로 산소 및/또는 수증기를 공급하는 기체공급관을 더 포함하는 것을 특징으로 하는,고밀도 마이크로파 플라즈마 장치를 이용한 폐가스 처리장치
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