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제1방향에 비해 제1방향에 수직한 제2방향 및 제3방향으로의 스프링 상수가 상대적으로 작게 형성됨으로써, 외부로부터 제2방향 또는 제3방향의 힘이 인가되면 제2방향 또는 제3방향으로 휘어지되, 제1방향의 힘이 인가되면 일측 끝단에서 타측 끝단으로 제1방향의 변위를 전달하도록 형성되는 변위전달용 선형구조물(110)로서,면형으로 형성되어 제2방향-제3방향 평면 상에 배치되는 변위전달판(111);제1방향으로 연장되는 선형으로 형성되며, 일측 끝단이 변위전달판(111)에 연결되는 복수 개의 변위전달봉(112);를 포함하여 이루어지며,복수 개의 상기 변위전달봉(112)들은 상기 변위전달판(111) 상에 방사상을 이루며 배치되어, 일측 끝단에서 타측 끝단으로 제1방향의 변위를 전달하도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 변위전달용 선형구조물
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제 1항에 있어서, 상기 변위전달용 선형구조물(110)은상기 변위전달봉(112)의 길이 대비 단면의 등가직경(equivalent diameter) 비가 1~10% 범위 내로 형성되며,상기 변위전달용 선형구조물(110)에 의하여 전달되는 변위가 상기 변위전달봉(112)의 길이 대비 0
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제 2항에 있어서, 상기 변위전달봉(112)은길이가 수~수십mm 범위 내로 형성되는 것을 특징으로 하는 변위전달용 선형구조물
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제 1항에 있어서, 상기 변위전달봉(112)은내부가 꽉 찬 봉 형상, 내부가 빈 파이프 형상, 스프링 중 선택되는 적어도 어느 한 가지 형태로 이루어지는 것을 특징으로 하는 변위전달용 선형구조물
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제 1항에 있어서, 상기 변위전달용 선형구조물(110)은상기 변위전달용 선형구조물(110)의 강성을 보강하거나 또는 미리 결정된 특정 방향으로의 스프링 상수를 증대하도록, 복수 개의 상기 변위전달봉(112)들 사이에 구비되는 보강재(113);를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 변위전달용 선형구조물
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제 5항에 있어서, 상기 보강재(113)는선형으로 형성되어, 복수 개가 평행하게 배치되거나 또는 X자 형으로 배치되거나,면형으로 형성되어, 복수 개의 상기 변위전달봉(112)들 중 선택되는 적어도 어느 한 쌍의 상기 변위전달봉(112)들 사이에 구비되는 것을 특징으로 하는 변위전달용 선형구조물
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제 1항에 의한 변위전달용 선형구조물(110);상면 및 하면이 제2방향-제3방향 평면과 나란하게 배치되며, 상면 및 하면 중 선택되는 어느 한 면이 고정단을 형성하고 다른 면이 이동단을 형성하여, 제1방향으로 인장 및 수축 변형하는 구동부(120);를 포함하여 이루어지며,상기 구동부(120)의 이동단에 상기 변위전달용 선형구조물(110)이 구비되는 것을 특징으로 하는 1차원 미세 이동 장치
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제 7항에 있어서, 상기 구동부(120)는압전 액추에이터 또는 전자석 구동기로 이루어지는 것을 특징으로 하는 1차원 미세 이동 장치
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제 7항에 있어서, 상기 구동부(120)는제1방향으로 인장 및 수축 변형하는 복수 개의 압전 소자가 제2방향-제3방향 평면 상에 병렬 배열되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 1차원 미세 이동 장치
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제 7항에 있어서, 상기 1차원 미세 이동 장치(100)는상기 구동부(120)와 고정단 및 이동단이 반대 방향으로 배치되는 보조 구동부(125);를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 1차원 미세 이동 장치
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제 10항에 있어서, 상기 1차원 미세 이동 장치(100)는상기 구동부(120) 및 상기 보조 구동부(125) 사이에 상기 변위전달판(111)이 개재 구비되도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 1차원 미세 이동 장치
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제 7항에 있어서, 상기 1차원 미세 이동 장치(100)는상기 구동부(120)의 이동단에 구비되는 탄성체로서, 탄성력이 상기 구동부(120)을 제1방향으로 압축하는 방향으로 작용하도록 형성되는 탄성압축부(130);를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 1차원 미세 이동 장치
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제 7 내지 12항 중 선택되는 어느 한 항에 의한 1차원 미세 이동 장치(100)를 포함하여 이루어지는 3차원 미세 이동 장치(500)로서,각각 X, Y, Z축 방향으로 배치되는 3개의 상기 1차원 미세 이동 장치(100)들;3개의 상기 1차원 미세 이동 장치(100)들이 연결되는 이동부(200);를 포함하여 이루어지며,3개의 상기 1차원 미세 이동 장치(100)에 의하여 상기 이동부(200)가 X, Y, Z축 방향으로 이동 가능하게 이루어지는 것을 특징으로 하는 3차원 미세 이동 장치
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제 13항에 있어서, 상기 3차원 미세 이동 장치(500)는상기 1차원 미세 이동 장치(100)들 중 선택된 적어도 하나의 상기 1차원 미세 이동 장치(100)의 상기 변위전달판(111)에 연결되며,선택된 상기 1차원 미세 이동 장치(100)의 변위전달 방향과 수직한 방향으로 연장되는 선형으로 형성되는 복수 개의 지지봉(310)으로 이루어지는 지지용 선형구조물(300);을 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 3차원 미세 이동 장치
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제 13항에 있어서, 상기 3차원 미세 이동 장치(500)는상기 이동부(200)에 구비되어 상기 이동부(200)의 X, Y, Z축 방향 중 선택되는 적어도 한 방향의 변위를 감지하는 적어도 하나의 센서(400);를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 3차원 미세 이동 장치
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