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FeS2 박막 형성방법 및 이를 이용한 태양전지의 제조방법(FORMING METHOD FOR FeS2 FILM AND MANUFACTURING METHOD FOR SOLAR CELL BY USING THE FORMING METHOD)

  • 기술번호 : KST2017011406
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 고품질의 FeS2 박막을 상용화에 적합한 공정으로 형성하는 방법에 관한 것으로, Fe-산화물 박막 형성단계; 상기 Fe-산화물 박막을 S가스 분위기에서 열처리하는 1차 열처리 단계; 및 1차 열처리를 거친 박막에 대하여 H2S가스 분위기에서 열처리하는 2차 열처리 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.본 발명은, Fe-산화물 박막을 형성한 뒤에 S 가스 분위기에서의 1차 열처리와 H2S 가스 분위기에서의 2차 열처리를 순차적으로 수행함으로써, 2차상이 없고 밀도가 뛰어난 고품질의 FeS2 박막을 매우 짧은 열처리 시간으로 제조할 수 있는 뛰어난 효과가 있다.또한, 본 발명의 제조방법은, 고품질의 FeS2 박막을 대량생산에 적합하고 제조비용이 낮은 공정으로 형성할 수 있기 때문에, 상용화가 가능하며 태양전지 제조비용을 크게 낮출 수 있는 뛰어난 효과를 나타낸다.
Int. CL H01L 31/0392 (2016.02.06) H01L 31/18 (2016.02.06) H01L 21/324 (2016.02.06) H01L 21/67 (2016.02.06) H01L 31/0224 (2016.02.06) H01L 31/04 (2016.02.06)
CPC C23C 14/085(2013.01) C23C 14/085(2013.01) C23C 14/085(2013.01) C23C 14/085(2013.01) C23C 14/085(2013.01) C23C 14/085(2013.01) C23C 14/085(2013.01) C23C 14/085(2013.01)
출원번호/일자 1020150189914 (2015.12.30)
출원인 한국에너지기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0079405 (2017.07.10) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.12.30)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안세진 대한민국 대전광역시 유성구
2 곽지혜 대한민국 대전광역시 유성구
3 윤재호 대한민국 대전광역시 서구
4 조아라 대한민국 서울특별시 관악구
5 어영주 대한민국 대전광역시 유성구
6 안승규 대한민국 대전광역시 유성구
7 김기환 대한민국 대전광역시 서구
8 조준식 대한민국 대전광역시 유성구
9 박주형 대한민국 대전광역시 유성구
10 유진수 대한민국 서울특별시 노원구
11 윤경훈 대한민국 대전광역시 유성구
12 신기식 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다울 대한민국 서울 강남구 봉은사로 ***, ***호(역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2015-1289127-88
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.07.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.09.09 수리 (Accepted) 9-1-2016-0039316-23
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.11.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0809611-86
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.01.10 수리 (Accepted) 1-1-2017-0031128-41
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.01.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0031140-90
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.19 수리 (Accepted) 4-1-2017-5010650-13
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.05.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0335127-94
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2017.06.14 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-0568955-22
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.06.14 수리 (Accepted) 1-1-2017-0568940-48
11 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)
2017.06.19 수리 (Accepted) 1-1-2017-0580530-14
12 보정요구서
Request for Amendment
2017.06.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0082417-19
13 등록결정서
Decision to Grant Registration
2017.06.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0434582-99
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.01.08 수리 (Accepted) 4-1-2019-5004978-55
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166801-48
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166803-39
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2020-5197654-62
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
Fe-산화물 박막 형성단계; 상기 Fe-산화물 박막을 S가스 분위기에서 300~450℃의 온도 범위로 15~30분 동안 열처리하는 1차 열처리 단계; 및1차 열처리를 거친 박막에 대하여 H2S가스 분위기에서 350~450℃의 온도 범위로 15~30분 동안 열처리하는 2차 열처리 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 FeS2 박막 형성방법
2 2
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3 3
삭제
4 4
청구항 1에 있어서,상기 1차 열처리 단계가 S 가스 압력이 350 torr 이상인 조건에서 수행되는 것을 특징으로 하는 FeS2 박막 형성방법
5 5
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6 6
삭제
7 7
청구항 1에 있어서,상기 2차 열처리 단계가 H2S 가스를 100 sccm 이상으로 흘려주는 조건에서 수행되는 것을 특징으로 하는 FeS2 박막 형성방법
8 8
청구항 1에 있어서,상기 Fe-산화물 박막 형성단계가 비진공 용액공정으로 수행되는 것을 특징으로 하는 FeS2 박막 형성방법
9 9
청구항 8에 있어서,상기 비진공 용액공정이, Fe염을 알콜계 용매에 용해시킨 잉크를 도포하는 방법으로 수행되는 것을 특징으로 하는 FeS2 박막 형성방법
10 10
FeS2 박막을 광흡수층으로 구비한 FeS2 태양전지의 제조방법으로서,FeS2 광흡수층을 형성하는 공정이 청구항 1과 청구항 4 및 청구항 7 내지 청구항 9 중 하나의 방법으로 수행되는 것을 특징으로 하는 FeS2 태양전지의 제조방법
11 11
청구항 10에 있어서,상기 태양전지가 소다라임 유리 기판에 형성된 것을 특징으로 하는 FeS2 태양전지의 제조방법
12 12
청구항 11에 있어서,상기 소다라임 유리 기판 표면에 몰리브덴 후면전극층이 형성된 것을 특징으로 하는 FeS2 태양전지의 제조방법
13 13
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14 14
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15 15
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16 16
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순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업자원부 한국에너지기술연구원 신재생에너지핵심기술개발사업 모듈 단가 0.3$/W 달성을 위한 저독성 범용소재 기반 차세대 박막 태양전지 개발