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회수하고자 하는 고투과성의 목표기체가 포함된 분리대상기체를 공급하는 분리대상기체 공급부; 분리대상기체와 제 2 투과기체를 혼합하는 기체혼합부; 분리대상기체와 제 2 투과기체의 혼합기체를 설정된 제 1 SC값(θ1)에 따라 제 1 투과기체와 제 1 잔류기체로 분리하는 제 1 기체분리막모듈; 및 상기 제 1 잔류기체를 설정된 제 2 SC값(θ2)에 따라 제 2 투과기체와 제 2 잔류기체로 분리하는 제 2 기체분리막모듈;을 포함하여 이루어지며, 상기 제 2 투과기체는 상기 기체혼합부에 공급되며, 제 2 투과기체의 목표기체 농도가 분리대상기체의 목표기체 농도와 일치되도록 제 1 SC값(θ1)을 특정하여, 제 1 투과기체의 목표기체 농도를 일정하게 유지시킬 수 있으며, 상기 목표기체는 분리대상기체에 포함되어 있는 분자크기가 상대적으로 작은 특정 고투과성기체이며, 제 2 SC값(θ2)의 조절을 통해 고투과성기체 회수장치의 전체 회수율(Rtot)의 제어가 가능하며, 제 2 SC값(θ2)은 아래의 식으로 설정되는 것을 특징으로 하는 고투과성기체 회수장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 SC값(θ1)은 아래의 식으로 특정되는 것을 특징으로 하는 고투과성기체 회수장치
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제 1 항에 있어서, 제 1 기체분리막모듈의 선택도와 제 2 기체분리막모듈의 선택도는 서로 동일하며, 상기 제 1 SC값(θ1)은 아래의 식으로 특정되는 것을 특징으로 하는 고투과성기체 회수장치
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제 1 항에 있어서, 제 1 압축탱크와 제 2 압축탱크가 더 구비되며, 상기 제 1 압축탱크는 분리대상기체와 제 2 투과기체의 혼합기체를 특정 공급압력으로 제 1 기체분리막모듈로 공급하며, 상기 제 2 압축탱크는 제 1 잔류기체를 특정 공급압력으로 제 2 기체분리막모듈로 공급하며, 상기 제 1 압축탱크의 공급압력과 제 2 압축탱크의 공급압력은 동일하게 설정되는 것을 특징으로 하는 고투과성기체 회수장치
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제 5 항에 있어서, 상기 제 1 압축탱크의 공급압력(P)과 제 2 압축탱크의 공급압력(P)은 아래의 식을 통해 산출되는 것을 특징으로 하는 고투과성기체 회수장치
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제 1 기체분리막모듈과 제 2 기체분리막모듈을 구성하고, 제 1 기체분리막모듈을 통해 주입기체를 제 1 투과기체와 제 1 잔류기체로 분리하고, 제 2 기체분리막모듈은 제 1 잔류기체를 제 2 투과기체와 제 2 잔류기체로 분리하며, 제 1 기체분리막모듈에는 회수하고자 하는 고투과성의 목표기체가 포함된 분리대상기체와 제 2 투과기체가 공급되며, 상기 제 1 기체분리막모듈은 주입기체를 설정된 제 1 SC값(θ1)에 따라 제 1 투과기체와 제 1 잔류기체로 분리하며, 상기 제 2 기체분리막모듈은 제 1 잔류기체를 설정된 제 2 SC값(θ2)에 따라 제 2 투과기체와 제 2 잔류기체로 분리하며, 제 2 투과기체의 목표기체 농도가 분리대상기체의 목표기체 농도와 일치되도록 제 1 SC값(θ2)을 특정하여, 제 1 투과기체의 목표기체 농도가 일정하게 유지되도록 하며, 상기 목표기체는 분리대상기체에 포함되어 있는 분자크기가 상대적으로 작은 특정 고투과성기체이며, 제 2 SC값(θ2)의 조절을 통해 고투과성기체 회수장치의 전체 회수율(Rtot)의 제어가 가능하며, 제 2 SC값(θ2)은 아래의 식으로 설정되는 것을 특징으로 하는 고투과성기체 회수방법
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제 7 항에 있어서, 상기 제 1 SC값(θ1)은 아래의 식으로 특정되는 것을 특징으로 하는 고투과성기체 회수방법
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제 7 항에 있어서, 제 1 기체분리막모듈의 선택도와 제 2 기체분리막모듈의 선택도는 서로 동일하며, 상기 제 1 SC값(θ1)은 아래의 식으로 특정되는 것을 특징으로 하는 고투과성기체 회수방법
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삭제
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제 7 항에 있어서, 제 1 압축탱크와 제 2 압축탱크가 더 구비되며, 상기 제 1 압축탱크는 분리대상기체와 제 2 투과기체의 혼합기체를 특정 공급압력으로 제 1 기체분리막모듈로 공급하며, 상기 제 2 압축탱크는 제 1 잔류기체를 특정 공급압력으로 제 2 기체분리막모듈로 공급하며, 상기 제 1 압축탱크의 공급압력과 제 2 압축탱크의 공급압력은 동일하며, 아래의 식을 통해 산출되는 것을 특징으로 하는 고투과성기체 회수방법
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