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질소 및 육불화황 분리용 MFI 제올라이트 분리막 및 이의 제조 방법(MFI zeolite membrane for separating nitrogen and sulfur hexafluoride and preparation method of the same)

  • 기술번호 : KST2017011791
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 MFI 제올라이트 층; 및 상기 MFI 제올라이트 층 표면에 코팅된 질소 투과도가 50 barrer 이상인 고분자;를 포함하는 질소(N2) 및 육불화황(SF6) 분리용 제올라이트 분리막을 제공하며, 상기 분리막은 종래 MFI 분리막의 열처리 시 발생하는 열적 결함을 보완하여 N2 및 SF6을 포함하는 폐 가스로부터 SF6을 효과적으로 분리할 수 있는 장점이 있고, 표면 소수성으로 인하여 수분 흡착을 방지하는 효과가 있다.
Int. CL B01D 71/02 (2016.02.13) B01D 71/06 (2016.02.13) B01D 67/00 (2016.02.13) B01D 53/22 (2016.02.13) B01D 53/54 (2016.02.13) B01D 53/68 (2016.02.13)
CPC B01D 71/028(2013.01) B01D 71/028(2013.01) B01D 71/028(2013.01) B01D 71/028(2013.01) B01D 71/028(2013.01) B01D 71/028(2013.01) B01D 71/028(2013.01) B01D 71/028(2013.01) B01D 71/028(2013.01) B01D 71/028(2013.01) B01D 71/028(2013.01)
출원번호/일자 1020160000826 (2016.01.05)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0082164 (2017.07.14) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.01.05)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이평수 대한민국 대전광역시 서구
2 박유인 대한민국 대전광역시 유성구
3 남승은 대한민국 대전광역시 유성구
4 박호식 대한민국 대전광역시 서구
5 임민수 대한민국 대전광역시 동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.01.05 수리 (Accepted) 1-1-2016-0007105-59
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.12.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.03.21 수리 (Accepted) 9-1-2017-0009122-60
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.05.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0353418-97
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.07.11 수리 (Accepted) 1-1-2017-0661078-11
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.07.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0661085-20
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
9 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2017.11.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0793965-47
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.01.11 수리 (Accepted) 1-1-2018-0034246-80
11 등록결정서
Decision to grant
2018.05.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0369929-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
MFI 제올라이트 층; 및상기 MFI 제올라이트 층 표면에 코팅된 질소 투과도가 50 barrer 이상인 고분자;를 포함하는 질소(N2) 및 육불화황(SF6) 분리용 제올라이트 분리막을 사용하여 질소(N2) 및 육불화황(SF6)을 포함하는 폐 가스로부터 SF6을 분리하는 방법에 있어서,상기 질소(N2) 및 육불화황(SF6) 분리용 제올라이트 분리막은,질소 투과도가 50 barrer 이상인 고분자가 포함된 용액을 MFI 제올라이트 층 표면에 도포하고, 50℃ 내지 90℃ 온도로 열처리하여 제조되는 것을 특징으로 하는, 질소(N2) 및 육불화황(SF6)을 포함하는 폐 가스로부터 SF6을 분리하는 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 질소 투과도가 50 barrer 이상인 고분자는 Poly[4,5-difluoro-2,2-bis(trifluoromethyl)-1,3-dioxole-co-tetrafluoroethylene](PTFE AF), Poly(1-trimethylsilyl-1-propyne)(PTMSP), Poly(dimethylsiloxane)(PDMS), 폴리비닐리덴 플루오라이드(PVDF;polyvinylidene fluoride), 폴리클로로트리플루오르에틸렌(PCTFE;polychlorotrifluoroethylene), 폴리에틸렌 테트라플루오로에틸렌(ETFE;polyethylene tetrafluoroethylene), 폴리에틸렌 클로로트리플루오로에틸렌(ECTFE;polyethylene chlorotrifluoroethylene)으로 이루어지는 군으로부터 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는, 질소(N2) 및 육불화황(SF6)을 포함하는 폐 가스로부터 SF6을 분리하는 방법
3 3
제1항에 있어서,상기 제올라이트 분리막의 육불화황(SF6) 투과도는 7 gpu 내지 63 gpu인 것을 특징으로 하는, 질소(N2) 및 육불화황(SF6)을 포함하는 폐 가스로부터 SF6을 분리하는 방법
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제1항에 있어서,상기 제올라이트 분리막의 질소(N2) 투과도는 700 gpu 내지 900 gpu인 것을 특징으로 하는, 질소(N2) 및 육불화황(SF6)을 포함하는 폐 가스로부터 SF6을 분리하는 방법
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삭제
6 6
삭제
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삭제
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제1항에 있어서,상기 질소 투과도가 50 barrer 이상인 고분자가 포함된 용액은 불소계 용매를 더 포함하고, 상기 불소계 용매는 퍼플루오로-N-알킬-몰포린(perfluoro-N-alkyl-morpholines), 퍼플루오로카본(perfluorocarbon), 퍼플루오로트리펜틸아민(perfluorotripentylamine), 퍼플루오로사이클로에테르(perfluorcycloether) 및 퍼플루오로헥산(perfluorohexane)으로 이루어지는 군으로부터 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는, 질소(N2) 및 육불화황(SF6)을 포함하는 폐 가스로부터 SF6을 분리하는 방법
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삭제
10 10
삭제
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국화학연구원 에너지자원기술개발사업 (RCMS)반도체/디스플레이 공정용 5LPM급 NF3 순환기술 개발