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이산화탄소 발생을 특징으로 하는 필름형 플라즈마 발생 장치 및 제조 방법(Film type plasma generator for CO2 generation and its manufacturing methods)

  • 기술번호 : KST2017011805
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 플라스마 발생 장치가 개시된다. 플라스마 발생 장치는 전원; 및 절연 필름의 일면에 접지된 제1전극이 형성되고, 타면에 상기 전원과 연결되는 제2전극이 형성된 플라스마 발생 필름을 포함하되, 상기 절연 필름은 폴리 이미드 재질로 제공된다.
Int. CL H05H 1/24 (2016.02.18)
CPC H05H 1/24(2013.01) H05H 1/24(2013.01) H05H 1/24(2013.01) H05H 1/24(2013.01)
출원번호/일자 1020160001521 (2016.01.06)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0082292 (2017.07.14) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.08.04)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김상유 대한민국 경기도 용인시 수지구
2 정규선 대한민국 강원도 춘천시 안마산로 ,

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박상열 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** **층 ****호(나눔국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.01.06 수리 (Accepted) 1-1-2016-0012715-18
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2017.08.04 수리 (Accepted) 1-1-2017-0752544-98
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.06.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.08.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0099441-58
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.10.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0706408-55
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.11.06 수리 (Accepted) 1-1-2018-1100940-64
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.11.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-1100941-10
8 등록결정서
Decision to grant
2019.01.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0034842-63
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
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번호 청구항
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절연 필름의 일면에 제1 전극이 형성되고, 타면에 제2전극이 형성된 플라즈마 발생 필름을 생산하는 방법에 있어서,상기 절연 필름에 상기 제1전극과 상기 제2전극을 형성하는 공정은상기 절연 필름의 일 면을 질소 이온 플레이팅 처리하는 공정;상기 절연 필름의 타 면을 산소 플라스마 처리하는 공정;상기 절연 필름의 양면에 아르곤 가스 분위기에서 스퍼터링 공정을 통해 도전성 박막을 형성하는 공정;전해도금 공정을 통해 상기 도전성 박막의 두께를 증가시키는 공정;상기 도전성 박막 중 적어도 어느 하나의 박막에 패턴을 형성하는 공정을 포함하는 플라스마 발생 필름 생산 방법
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패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.