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그래핀 검사 장치 및 방법(Assessment Apparatus and Method of Graphene)

  • 기술번호 : KST2017011816
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 그래핀 필름에 결함이 있는지 여부를 포함하는 그래핀 필름의 특성을 검사하는 장치로서, 상기 그래핀 필름의 상면에 액체를 분사하여 액체 방울을 형성하는 분사 노즐부와, 상기 그래핀 필름의 상면에 형성된 상기 액체 방울의 형상에 대한 영상 정보를 생성하는 영상 정보 생성부 및 상기 영상 정보로부터 상기 액체 방울의 직경, 높이 및 상기 그래핀 필름과의 접촉각의 적어도 어느 하나의 값을 산출하여 상기 그래핀 필름에 결함이 생성되는지 여부를 판단하는 영상 분석부를 포함하는 그래핀 검사 장치 및 이를 이용한 그래핀 검사 방법에 대하여 개시한다.
Int. CL G01N 13/00 (2016.02.12) G01N 13/02 (2016.02.12) G01N 21/95 (2016.02.12) G01B 11/08 (2016.02.12) G01B 11/06 (2016.02.12) G01B 11/26 (2016.02.12) G06T 7/00 (2016.02.12) C01B 31/04 (2016.02.12) F26B 3/06 (2016.02.12)
CPC G01N 13/00(2013.01) G01N 13/00(2013.01) G01N 13/00(2013.01) G01N 13/00(2013.01) G01N 13/00(2013.01) G01N 13/00(2013.01) G01N 13/00(2013.01) G01N 13/00(2013.01) G01N 13/00(2013.01) G01N 13/00(2013.01)
출원번호/일자 1020160000956 (2016.01.05)
출원인 경기대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0082176 (2017.07.14) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.01.05)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 경기대학교 산학협력단 대한민국 경기도 수원시 영통구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 주상현 대한민국 경기도 수원시 영통구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김호종 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **-*, *층 (역삼동, 신도빌딩)(태산특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 경기대학교 산학협력단 경기도 수원시 영통구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.01.05 수리 (Accepted) 1-1-2016-0008163-65
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.06.24 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.08.10 수리 (Accepted) 9-1-2016-0035920-08
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.12.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0911366-10
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.02.20 수리 (Accepted) 1-1-2017-0175605-51
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.03.20 수리 (Accepted) 1-1-2017-0272068-30
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.04.19 수리 (Accepted) 1-1-2017-0382817-23
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.05.19 수리 (Accepted) 1-1-2017-0478171-11
9 지정기간연장 관련 안내서
Notification for Extension of Designated Period
2017.05.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0071449-12
10 [출원서 등 보정(보완)]보정서
2017.06.19 수리 (Accepted) 1-1-2017-0585923-15
11 [공지예외적용 보완 증명서류]서류제출서
2017.06.19 수리 (Accepted) 1-1-2017-0585973-98
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.06.19 수리 (Accepted) 1-1-2017-0587422-00
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.06.19 수리 (Accepted) 1-1-2017-0587491-39
14 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.06.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0587503-00
15 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.07.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0514419-19
16 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
2017.08.24 수리 (Accepted) 1-1-2017-0821544-95
17 법정기간연장승인서
2017.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0120959-13
18 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.09.25 수리 (Accepted) 1-1-2017-0934337-67
19 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2017.09.25 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-0934481-23
20 등록결정서
Decision to Grant Registration
2017.10.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0720792-56
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
연속적으로 이송되는 그래핀 필름에 결함이 있는지 여부를 포함하는 그래핀 필름의 특성을 검사하는 장치로서,상기 그래핀 필름의 폭 방향을 따라 일렬로 서로 이격되어 위치하며, 상기 그래핀 필름의 상면에 액체를 분사하여 액체 방울을 형성하는 복수 개의 분사 노즐을 포함하는 분사 노즐부와,상기 그래핀 필름의 상면에 형성된 상기 액체 방울의 형상에 대한 영상 정보를 생성하는 영상 정보 생성부 및상기 영상 정보로부터 상기 액체 방울의 높이 및 상기 그래핀 필름과의 접촉각의 적어도 어느 하나의 값을 산출하여 상기 그래핀 필름에 결함이 생성되는지 여부를 판단하는 영상 분석부를 포함하며,상기 분사 노즐부는 상기 그래핀 필름의 상면에서 폭 방향으로 일렬로 복수 개의 상기 액체 방울을 동시에 형성하며,상기 영상 정보 생성부는 상기 액체 방울의 전방 또는 후방에서 상기 액체 방울의 수직 방향의 영상을 촬영하여 상기 액체 방울의 상기 그래핀 필름에 대한 접촉각 또는 높이에 대한 정보를 포함하는 제 2 영상 정보를 생성하는 제 2 촬영부를 포함하며,상기 제 2 촬영부는 상기 그래핀 필름의 상면과 동일한 높이에 위치하며 상기 액체 방울의 수직 방향에 대한 영상 정보를 촬영하는 제 2 카메라를 포함하며,상기 제 2 촬영부는 상기 액체 방울이 상기 그래핀 필름에 형성되고 0 ∼ 30초의 촬영 시간 간격이 경과된 후 상기 제 2 영상 정보를 촬영하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 그래핀 검사 장치
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서,상기 액체는 물 또는 알코올인 것을 특징으로 하는 그래핀 검사 장치
4 4
제 1 항에 있어서,상기 영상 정보 생성부는상기 액체 방울의 상부에서 상기 액체 방울을 촬영하여 상기 액체 방울의 직경에 대한 정보를 포함하는 제 1 영상 정보를 생성하는 제 1 촬영부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 검사 장치
5 5
제 4 항에 있어서,상기 제 1 촬영부는 상기 제 1 영상 정보를 촬영하는 제 1 카메라와 상기 제 1 영상 정보를 상기 영상 분석부로 전송하는 제 1 전송 모듈을 포함하며,상기 제 2 촬영부는 상기 제 2 영상 정보를 상기 영상 분석부로 전송하는 제 2 전송 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 검사 장치
6 6
제 5 항에 있어서,상기 제 1 촬영부는 상기 액체 방울이 상기 그래핀 필름에 형성되고 0 ~ 30초의 촬영 시간 간격이 경과된 후 상기 제 1 영상 정보를 촬영하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 그래핀 검사 장치
7 7
제 6 항에 있어서,상기 제 1 촬영부 또는 제 2 촬영부는 상기 촬영 시간 간격에 따라 1 번 또는 적어도 2번 촬영하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 그래핀 검사 장치
8 8
제 1 항에 있어서,상기 영상 분석부는 결함이 없는 상기 그래핀 필름에 상기 액체 방울을 형성하여 산출한 기준 직경, 기준 높이 및 기준 접촉각중에 적어도 하나의 정보를 포함하며,상기 액체 방울의 직경이 상기 기준 직경보다 큰 경우, 상기 액체 방울의 높이가 상기 기준 높이보다 낮은 경우 또는 상기 액체 방울의 접촉각이 상기 기준 접촉각보다 작은 경우에 상기 그래핀 필름에 결함이 생성되는 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 그래핀 검사 장치
9 9
삭제
10 10
삭제
11 11
제 1 항에 있어서,상기 영상 정보 생성부에서 영상 정보의 생성이 종료된 상기 액체 방울에 바람, 열풍 또는 빛을 공급하여 상기 액체 방울을 제거하는 방울 제거부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 검사 장치
12 12
삭제
13 13
삭제
14 14
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15 15
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16 16
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17 17
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18 18
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19 19
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20 20
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21 21
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1 미래창조과학부 경기대학교 산학협력단 이공분야기초연구사업>중견연구자지원사업>도약연구지원사업>도약연구지원사업(전략)(성과확산) 엑소켄버스 디스플레이 플랫폼 개발
2 미래창조과학부 경기대학교 산학협력단 이공분야기초연구사업>중견연구자지원사업>도약연구지원사업>도약연구지원사업(전략)(상향식) 자기조립단분자 표면제어를 이용한 기능성 나노전자소자 개발