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난분해성 유해가스 처리를 위한 배가스 농축분리 시스템의 운전방법에 있어서, 과불화화합물을 포함하는 불활성가스를 상기 과불화화합물 선택성 흡착제가 충진된 복수의 흡착탑 중 어느 한 흡착탑으로 도입시켜 불활성가스를 배출시키면서 과불화화합물을 흡착시키는 흡착단계;상기 흡착단계를 거친 상기 흡착탑의 공극에 존재하는 불활성가스를 감압을 통하여 배출하는 벤트단계;상기 벤트단계가 완료된 상기 흡착탑의 압력을 병류감압하면서 얻어진 상기 불활성가스를 세정단계에 있는 흡착탑에 세정가스로 공급하는 퍼지공급 단계; 상기 퍼지공급 단계가 완료된 상기 흡착탑을 진공까지 향류감압하면서 흡착된 과불화화합물가스를 탈착하는 탈착단계;상기 탈착단계가 완료된 상기 흡착탑으로 퍼지공급 단계에서 얻어지는 상기 불활성가스를 이용하여 흡착된 상기 과불화화합물가스를 추가로 탈착하는 세정단계; 및상기 흡착단계에서 분리된 불활성가스를 공급받아 상기 흡착탑을 가압하는 가압단계;를 포함하며,상기 벤트단계에서 배출된 불활성가스는 상기 농축분리 시스템 후단에 연계되는 스크러버의 습식세정장치에 공급되는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스 처리를 위한 배가스 농축분리 시스템의 운전방법
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제1항에 있어서, 상기 과불화화합물은 조성 원소로서 C, N 및 S 중 어느 하나 이상의 원소를 포함하는 과불화화합물 중 하나 또는 2 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스 처리를 위한 배가스 농축분리 시스템의 운전방법
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제1항에 있어서, 상기 과불화화합물은 CF4, NF3, C2F6, C3F6, SF6 및 CHF3 중 하나 또는 2 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스 처리를 위한 배가스 농축분리 시스템의 운전방법
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제1항에 있어서, 상기 흡착제는 친수성 흡착제 중 어느 하나 또는 2 이상인 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스 처리를 위한 배가스 농축분리 시스템의 운전방법
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제4항에 있어서, 상기 친수성 흡착제는 활성탄소, 실리카겔, 제올라이트, 활성알루미나, 상업적으로 이용가능한 친수성 흡착제 중 어느 하나 또는 2 이상인 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스 처리를 위한 배가스 농축분리 시스템의 운전방법
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제1항에 있어서, 상기 흡착단계의 압력은 1기압 내지 15기압인 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스 처리를 위한 배가스 농축분리 시스템의 운전방법
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제1항에 있어서, 상기 벤트단계에서 상기 농축된 과불화화합물의 유량변화는 평균유량값의 15% 이내인 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스 처리를 위한 배가스 농축분리 시스템의 운전방법
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제1항에 있어서, 상기 탈착단계의 압력은 0
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제1항에 있어서, 상기 탈착단계 및 세정단계를 거친 상기 농축된 과불화화합물을 포함하는 상기 세정가스는 배가스 농축분리 시스템의 후단에 연계된 스크러버의 소각장치에 공급되는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스 처리를 위한 배가스 농축분리 시스템의 운전방법
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제9항에 있어서, 상기 스크러버의 소각장치는 세라믹다공체의 내부에 화염이 형성되어 상기 농축된 과불화화합물을 소각시키는 소각장치인 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스 처리를 위한 배가스 농축분리 시스템의 운전방법
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난분해성 유해가스 처리를 위한 배가스 농축분리 시스템에 있어서, 과불화화합물 선택성 흡착제가 충진되어 있으며 일련의 과불화화합물 분리하여 농축하는 과정을 서로 상이하게 수행하는 병렬로 연결된 2 이상의 흡착탑;상기 과불화화합물을 포함하는 불활성가스를 과불화화합물을 흡착하기 위한 흡착탑으로 이송하는 유입배관;상기 과불화화합물이 흡착된 다음의 불활성가스를 벤트하여 상기 배가스 농축분리 시스템의 후단에 연계된 스크러버의 습식세정 영역에 공급하는 제1공급배관;탈착이 완료된 과불화화합물은 상기 배가스 농축분리 시스템의 후단에 연계된 스크러버의 소각장치에 투입되도록 하는 제2공급배관; 및상기 각 흡착탑에 연결된 다수의 배관을 개폐하는 밸브로 이루어진 압력조절장치;를 포함하며,상기 벤트를 통하여 배출된 불활성가스는 상기 농축분리 시스템 후단에 연계되는 스크러버의 습식세정장치에 공급되는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스 처리를 위한 배가스 농축분리 시스템
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제11항에 있어서, 상기 과불화화합물은 조성 원소로서 C, N 및 S 중 어느 하나 이상의 원소를 포함하는 과불화화합물 중 하나 또는 2 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스 처리를 위한 배가스 농축분리 시스템
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제11항에 있어서, 상기 과불화화합물은 CF4, NF3, C2F6, C3F6, SF6 및 CHF3 중 하나 또는 2 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스 처리를 위한 배가스 농축분리 시스템
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제11항에 있어서, 상기 흡착제는 친수성 흡착제 중 어느 하나 또는 2 이상인 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스 처리를 위한 배가스 농축분리 시스템
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제14항에 있어서, 상기 친수성 흡착제는 활성탄소, 실리카겔, 제올라이트, 활성알루미나, 상업적으로 이용가능한 친수성 흡착제 중 어느 하나 또는 2 이상인 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스 처리를 위한 배가스 농축분리 시스템
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제11항에 있어서, 상기 흡착탑의 흡착압력은 1기압 내지 15기압인 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스 처리를 위한 배가스 농축분리 시스템
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제11항에 있어서, 상기 벤트되는 상기 농축된 과불화화합물의 유량변화는 평균유량값의 15%이내인 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스 처리를 위한 배가스 농축분리 시스템
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제11항에 있어서, 상기 흡착탑의 탈착압력은 0
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제11항에 있어서, 상기 탈착을 거친 상기 농축된 과불화화합물을 포함하는 세정가스는 배가스 농축분리 시스템의 후단에 연계된 스크러버의 소각장치에 공급되는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스 처리를 위한 배가스 농축분리 시스템
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제19항에 있어서, 상기 스크러버의 소각장치는 세라믹다공체의 내부에 화염이 형성되어 상기 농축된 과불화화합물을 소각시키는 소각장치인 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스 처리를 위한 배가스 농축분리 시스템
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