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롤투롤 기반의 다층 적층 장치(MULTI LAYER DEPOSITON APPARATUS BASED ROLL TO ROLL)

  • 기술번호 : KST2017012125
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 필름상에 특정 물질을 다층 적층하는 장치로서 언와인딩 롤과 와인딩 롤사이에 이동하는 웹상에 한 쌍의 EHDA 유닛과 그 사이에 배치되는 ALD 유닛을 구비하되, 상기 ALD 유닛은 대기압 환경에서 작동되도록 하여 대량 생산이 용이하고 적층되는 두께를 조정을 용이하게 할 수 있으며, 제조 원가 또한 절감할 수 있는 롤투롤 기반의 다층 적층 장치이다.
Int. CL C23C 16/54 (2016.02.27) C23C 16/455 (2016.02.27) B05B 5/025 (2016.02.27) C23C 16/22 (2016.02.27) B05D 7/00 (2016.02.27) B05D 1/00 (2016.02.27)
CPC C23C 16/545(2013.01) C23C 16/545(2013.01) C23C 16/545(2013.01) C23C 16/545(2013.01) C23C 16/545(2013.01) C23C 16/545(2013.01) C23C 16/545(2013.01) C23C 16/545(2013.01) C23C 16/545(2013.01) C23C 16/545(2013.01)
출원번호/일자 1020160004301 (2016.01.13)
출원인 제주대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0084897 (2017.07.21) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.01.13)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 제주대학교 산학협력단 대한민국 제주특별자치도 제주시 제주

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최경현 대한민국 제주특별자치도 제주시
2 카므란 파키스탄 제주특별자치도 제주시 제주대학로 **
3 양영진 대한민국 제주특별자치도 제주시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.01.13 수리 (Accepted) 1-1-2016-0038716-51
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.01.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0062305-99
3 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.03.24 수리 (Accepted) 1-1-2017-0293301-11
4 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.04.24 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2017-0399187-54
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.04.24 무효 (Invalidation) 1-1-2017-0399186-19
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.04.24 수리 (Accepted) 1-1-2017-0399215-45
7 보정요구서
Request for Amendment
2017.05.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0060643-16
8 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document
2017.05.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0060645-07
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.05.24 수리 (Accepted) 1-1-2017-0494966-66
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.05.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0494967-12
11 무효처분통지서
Notice for Disposition of Invalidation
2017.05.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0071749-04
12 서류반려통지서
Notice for Return of Document
2017.06.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0080593-89
13 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.09.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0622482-31
14 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
2017.09.29 수리 (Accepted) 1-1-2017-0959784-82
15 법정기간연장승인서
2017.10.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0144182-17
16 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.11.06 수리 (Accepted) 1-1-2017-1099015-96
17 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2017.11.06 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-1099016-31
18 보정요구서
Request for Amendment
2017.11.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0163164-85
19 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)
2017.11.21 수리 (Accepted) 1-1-2017-1126658-56
20 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.12.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0868952-91
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번호 청구항
1 1
언와인딩 롤(R1)과 와인딩 롤(R2)사이에서 이동되는 웹(W)상에 다른 물질을 다수 층 적층하기 위한 장치로서,상기 웹(W)상에 배치되는 것으로서 일정 간격 이격되어 설치되는 한 쌍의 EHDA 유닛(300)과, 상기 EHDA 유닛(300)사이에 배치되는 ALD 유닛(400)을 포함하되,상기 ALD유닛(400)은 대기압 환경에서 상기 웹(W)상에 특정 물질을 적층하는 롤투롤 기반의 다층 적층 장치
2 2
제1항에 있어서,상기 EHDA 유닛(300)은 상기 웹(W)상에 배치되는 것으로서 외부와 차단되는 챔버(310)와, 상기 챔버(310) 내부에 설치되어 특정 물질을 분사하는 EHDA부(330)와,상기 EHDA부(330) 양 측에 설치되는 1차 경화부(320) 및 2차 경화부(340)를 포함하는 롤투롤 기반의 다층 적층 장치
3 3
제1항에 있어서,상기 ALD 유닛(400)은 내부에 대기압 환경이 조성되는 것으로서 상기 웹(W)이 출입하는 ALD 챔버(410)와,상기 ALD 챔버(410) 내부에 웹(W) 진행방향 양 측에 배치되되 상기 ALD 챔버(410)의 높이 방향으로 다수 개 배치되어 상기 웹(W)이 이동하는 아이들 롤러(IR)와,상기 웹(W)의 이동 경로 중 일 부분에 설치되는 것으로서 상기 웹(W)에 불활성 가스를 도포하는 불활성 가스 챔버(420)와, 상기 웹(W)에 제1전구체를 도포하는 제1전구체 챔버(430)와, 상기 웹(W)에 제2전구체를 도포하는 제2전구체 챔버(440)를 포함하되,상기 각 챔버(420,430,440)의 양 측에는 일부가 개방된 슬릿(S)이 형성되어 상기 웹(W)이 상기 각 챔버(420,430,440)를 경유하는 롤투롤 기반의 다층 적층 장치
4 4
제3항에 있어서,상기 불활성 가스 챔버(420)는 일정 간격 이격된 상태로 다수 개 배치되고,상기 불활성 가스 챔버(420) 사이에 상기 제1전구체 챔버(430)와 제2전구체 챔버(440)가 번갈아 배치되는 롤투롤 기반의 다층 적층 장치
5 5
제3항에 있어서,상기 불활성 가스 챔버(420)에 연결되어 불활성 가스를 공급하는 불황성 가스 공급부(460)와,상기 제1전구체 챔버(430)에 특정 전구체를 공급하는 1차 전구체 공급부(470)와,상기 제2전구체 챔버(440)에 또 다른 전구체를 공급하는 2차 전구체 공급부(480)와, 상기 ALD 챔버(410) 내부에 연결되어 가스를 배출하는 배출부(490)를 포함하는 롤투롤 기반의 다층 적층 장치
6 6
제3항에 있어서,상기 ALD유닛(400)에 의해 무기물 물질이 토출되어 웹(W)상에 적층되고,상기 한 쌍의 EHDA 유닛(300) 중 적어도 한 측의 EHDA 유닛에서는 유기물 물질이 토출되어 웹(W)상에 적층되는 롤투롤 기반의 다층 적층 장치
7 7
제1항에 있어서,상기 EHDA 유닛(300)과 ALD유닛(400) 및 언와인딩 롤(R1)과 와인딩 롤(R2)이 내부에 설치되는 것으로서 주변과 단절되는 메인 챔버(100)를 더 포함하는 롤투롤 기반의 다층 적층 장치
8 8
제7항에 있어서,상기 메인 챔버(100) 일 측에 배치되어 웹 또는 상기 웹에 도포되는 물질을 공급하는 공급 챔버(200)를 더 포함하는 롤투롤 기반의 다층 적층 장치
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패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 제주대학교 기초연구사업-중견연구자지원사업 피부형 박막센서 개발을 위한 3차원 고신축 나노구조체 패터닝 공정 및 측정 시스템 연구