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반도체 소자의 선택적 도핑 방법(Method for selective doping of semiconductor device)

  • 기술번호 : KST2017012299
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 소자의 선택적 도핑 방법에 관한 것이다. 이에 따른 본 발명은, 반도체 소자의 선택적 도핑 방법으로, 기판상에 증착된 희생층 상에 도핑 영역을 정의하기 위한 마스크 층을 형성하는 단계, 상기 마스크 층 상에 증착되는 도펀트 물질을 상기 기판 내부로 확산하여 도핑 영역을 형성하는 제1 열처리 단계, 상기 도핑 영역으로 확산된 도펀트 물질을 활성화 하는 제2 열처리 단계 및 상기 희생층을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 선택적 도핑 방법에 관한 것이다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/04 (2006.01.01) H01L 21/324 (2017.01.01) H01L 21/3215 (2006.01.01)
CPC H01L 21/0257(2013.01) H01L 21/0257(2013.01) H01L 21/0257(2013.01) H01L 21/0257(2013.01)
출원번호/일자 1020160006517 (2016.01.19)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0086907 (2017.07.27) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.05.13)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 고영호 대한민국 대전광역시 유성구
2 김덕준 대한민국 대전광역시 서구
3 한원석 대한민국 대전광역시 유성구
4 권용환 대한민국 대전광역시 유성구
5 김동영 대한민국 대전광역시 유성구
6 김종회 대한민국 대전광역시 유성구
7 최병석 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.01.19 수리 (Accepted) 1-1-2016-0060304-15
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2016.10.24 수리 (Accepted) 1-1-2016-1030958-30
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.05.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0483505-78
4 [심사청구]심사청구서·우선심사신청서
 2020.05.13 수리 (Accepted) 1-1-2020-0483506-13
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번호 청구항
1 1
반도체 소자의 선택적 도핑 방법으로, 기판상에 증착된 희생층 상에 도핑 영역을 정의하기 위한 마스크 층을 형성하는 단계; 상기 마스크 층 상에 증착되는 도펀트 물질을 상기 기판 내부로 확산하여 도핑 영역을 형성하는 제1 열처리 단계; 상기 도핑 영역으로 확산된 도펀트 물질을 활성화 하는 제2 열처리 단계; 및상기 희생층을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 선택적 도핑 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국전자통신연구원 한국전자통신연구원연구개발지원 소프트웨어 정의 네트워크(SDN) 기반 Flexible 광노드 핵심기술