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패턴 두께 계측을 통한 광소결 제어시스템(FLASH LIGHT SINTERING CONTROL SYSTEM VIA MEASURING THICKNESS OF A PATTERN)

  • 기술번호 : KST2017012329
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 광소결 제어시스템은 광소결 유닛, 측정부, 데이터 저장부 및 제어부를 포함한다. 상기 광소결 유닛은 패턴이 형성된 기판부 상에 광을 인가하여 상기 패턴을 소결한다. 상기 측정부는 상기 광소결에 따른 상기 패턴의 두께를 측정하는 측정한다. 상기 데이터 저장부는 상기 측정부에서 측정된 상기 패턴의 두께에 관한 정보를 저장한다. 상기 제어부는 상기 저장된 두께에 관한 정보를 바탕으로 상기 광소결 유닛에서 인가되는 광을 제어한다.
Int. CL B41J 2/455 (2016.02.24) B41J 29/393 (2016.02.24) B41J 29/38 (2016.02.24) B41F 23/04 (2016.02.24) B41F 33/14 (2016.02.24)
CPC B41J 2/455(2013.01) B41J 2/455(2013.01) B41J 2/455(2013.01) B41J 2/455(2013.01) B41J 2/455(2013.01)
출원번호/일자 1020160005763 (2016.01.18)
출원인 한국기계연구원, 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0086217 (2017.07.26) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.01.18)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이택민 대한민국 대전광역시 유성구
2 김인영 대한민국 서울특별시 성북구
3 문창진 대한민국 서울특별시 서대문구
4 김학성 대한민국 서울특별시 성동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김민태 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***, *층 **세기특허법률사무소 (역삼동, 세일빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
2 한양대학교 산학협력단 서울특별시 성동구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.01.18 수리 (Accepted) 1-1-2016-0050785-73
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.06.21 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.09.09 수리 (Accepted) 9-1-2016-0039654-40
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.08.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0557991-55
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.10.10 수리 (Accepted) 1-1-2017-5020442-54
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.11.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-1116057-47
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.11.10 수리 (Accepted) 1-1-2017-1116058-93
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2018.02.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0134507-61
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.03.28 수리 (Accepted) 1-1-2018-0310235-85
11 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2018.03.28 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2018-0310234-39
12 등록결정서
Decision to Grant Registration
2018.04.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0251620-89
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
패턴이 형성된 기판부 상에 펄스(pulse) 광을 인가하여 상기 패턴을 소결하는 광소결 유닛; 상기 광소결에 따른 소결 공정이 진행됨에 따라 상기 패턴의 두께 변화를 지속적으로 측정하는 측정부; 상기 측정부에서 상기 패턴의 두께에 관하여 지속적으로 측정된 정보를 저장하는 데이터 저장부; 및상기 저장된 두께에 관한 정보를 바탕으로 상기 광소결 유닛에서 인가되는 광을 제어하는 제어부를 포함하고, 상기 제어부는 상기 두께에 관한 정보로부터 상기 펄스광의 인가 여부를 판단하는 판단부를 포함하고, 상기 판단부는 상기 데이터 저장부에 저장된 패턴의 두께 변화에 관한 정보로부터 상기 측정된 두께가 이전 두께보다 감소하는 경우 상기 펄스광을 추가로 인가하고, 상기 측정된 두께가 이전 두께보다 증가하는 경우 상기 펄스광의 인가를 중단하고, 상기 기판부는 이동 가능한 스테이지 상에서 위치하며, 상기 패턴의 두께 측정이 필요한 경우, 상기 광소결 유닛에 의해 소결 공정이 수행되는 공간 다른 공간으로 상기 스테이지가 이동하여 상기 측정부에 의해 상기 패턴의 두께가 측정되는 것을 특징으로 하는 광소결 제어시스템
2 2
제1항에 있어서, 상기 측정부는, 상기 기판부에 인접하도록 위치하여 상기 패턴의 두께를 측정하는 것을 특징으로 하는 광소결 제어시스템
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서, 상기 측정부는, 비접촉식 레이저 센서인 것을 특징으로 하는 광소결 제어시스템
5 5
삭제
6 6
제1항에 있어서, 상기 제어부는, 상기 두께에 관한 정보로부터 상기 펄스광의 하나의 펄스의 지속 시간을 제어하는 시간 제어부; 상기 두께에 관한 정보로부터 상기 펄스광의 펄스 크기를 제어하는 크기 제어부; 및상기 두께에 관한 정보로부터 상기 펄스광의 펄스의 개수를 제어하는 펄스 제어부를 더 포함하는 광소결 제어시스템
7 7
삭제
8 8
제6항에 있어서, 상기 시간 제어부 및 상기 크기 제어부는 상기 펄스광을 통해 인가되는 에너지량을 제어하며, 상기 데이터 저장부에 저장된 광의 인가에 따른 패턴의 두께 변화에 관한 정보를 바탕으로 이후 인가하는 에너지량을 제어하는 것을 특징으로 하는 광소결 제어시스템
9 9
제6항에 있어서, 상기 펄스 제어부는, 상기 패턴에 대한 전처리(preheating) 공정에서는 복수의 펄스광을 공급하도록 광을 제어하고, 상기 패턴에 대한 소결(sintering) 공정에서는 단일 펄스광을 공급하도록 광을 제어하는 것을 특징으로 하는 광소결 제어시스템
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
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