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1
이형 기판 상에 희생층을 형성하는 것;상기 희생층 상에 서로 대향되는 제1 면 및 제2 면을 갖는 투명 전극을 형성하는 것;상기 투명 전극 상에 개구부를 갖는 나노와이어 패턴을 형성하되, 상기 개구부는 상기 투명 전극의 상기 제2 면을 노출시키고; 상기 나노와이어 패턴 상에 버퍼층을 형성하는 것;상기 버퍼층 상에 기판을 제공하는 것; 및상기 이형 기판 및 상기 희생층을 제거하여, 상기 투명 전극의 상기 제1 면을 노출시키는 것을 포함하는 유기발광소자용 집적기판 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 나노와이어 패턴은 복수의 나노와이어들을 포함하고, 상기 버퍼층은 상기 나노와이어들 사이를 채우는 유기발광소자용 집적기판 제조방법
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3
제 2항에 있어서, 상기 버퍼층은 상기 개구부 내로 제공되어 상기 투명 전극의 상기 제2 면과 접촉하고, 투명한 유기발광소자용 집적기판 제조방법
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4
제 1항에 있어서, 상기 지지 기판 및 상기 희생층을 제거하는 것은: 상기 지지 기판을 제거하여, 상기 희생층을 노출시키는 것; 및상기 희생층을 식각하는 것을 포함하는 유기발광소자용 집적기판 제조방법
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5
제 1항에 있어서, 상기 희생층 상에 절연 패턴을 형성하는 것을 더 포함하되, 상기 투명 전극은 상기 절연 패턴 상으로 연장되는 유기발광소자용 집적기판 제조방법
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6
제 1항에 있어서, 상기 버퍼층 및 상기 나노와이어 패턴 사이에 광추출 패턴을 형성하는 것;상기 버퍼층 및 상기 기판 사이에 배리어층을 형성하는 것; 및상기 기판 상에 제공되는 외부 광추출 패턴을 형성하는 것을 더 포함하는 유기발광소자용 집적기판 제조방법
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7
이형 기판 상에 희생층을 형성하는 것;상기 희생층 상에 서로 대향되는 제1 면 및 제2 면을 갖는 제1 전극을 형성하는 것;상기 제1 전극 상에 개구부를 갖는 나노와이어 패턴을 형성하되, 상기 개구부는 상기 제1 전극의 상기 제2 면을 노출시키는 것; 상기 나노와이어 패턴 상 및 상기 개구부 내에 버퍼층을 형성하는 것;상기 버퍼층 상에 기판을 제공하는 것;상기 이형 기판 및 상기 희생층을 제거하여, 상기 제1 전극의 상기 제1 면을 노출시키는 것; 상기 제1 전극의 상기 제1 면 상에 유기발광층을 형성하는 것; 및 상기 유기발광층 상에 제2 전극을 형성하는 것을 포함하는 유기발광 소자 제조방법
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8
제 7항에 있어서, 상기 희생층 상에 절연 패턴을 형성하는 것을 더 포함하되, 상기 절연 패턴은 평면적 관점에서 상기 이형 기판의 엣지에 대응되는 영역에 제공되는 유기발광소자 제조방법
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9
제 8항에 있어서, 상기 제2 전극 상에 제2 전극 패드를 형성하는 것을 더 포함하되, 상기 제2 전극 패드는 평면적 관점에서 상기 절연 패턴과 중첩되는 유기발광소자 제조방법
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10
제 9항에 있어서, 상기 유기발광층은 상기 절연 패턴을 노출시키며, 상기 제2 전극은 상기 절연 패턴 상으로 연장되는 유기발광소자 제조방법
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11
제 7항에 있어서, 상기 유기발광층 및 상기 제2 전극은 상기 제1 전극의 상기 제1 면의 일부를 노출시키고, 상기 제1 전극의 상기 제1 면의 상기 일부 상에 제1 전극 패드를 형성하는 것을 더 포함하는 유기발광소자 제조방법
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12
제 7항에 있어서, 상기 나노와이어 패턴은 복수의 나노와이어들을 포함하며
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13
제 7항에 있어서, 상기 나노와이어 패턴은 상기 제1 전극보다 낮은 저항을 갖는 유기발광소자 제조방법
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14
제 7항에 있어서, 상기 나노와이어 패턴 및 상기 제1 전극 내에 그루브를 형성하여, 상기 기판 상에서 상기 나노와이어 패턴 및 상기 제1 전극과 전기적으로 단절되는 패드부를 제공하는 것을 더 포함하되, 상기 패드부는 상기 제1 전극과 동일한 물질을 포함하는 제1 패드부 및 상기 나노와이어 패턴과 동일한 물질을 포함하는 제2 패드부를 포함하는 유기발광소자 제조방법
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15
기판; 상기 기판 상에 배치되는 나노와이어 패턴;상기 나노와이어 패턴 상에 배치되고, 서로 대향되는 제1 면 및 제2 면을 갖는 제1 전극;상기 제1 전극 상에 제공되며, 상기 제1 전극의 상기 제1 면을 노출시키는 절연 패턴; 상기 제1 전극 상에 제공되며, 상기 제1 전극의 상기 제1 면 및 상기 절연 패턴을 노출시키는 유기발광층;상기 제1 전극 상에서 상기 유기발광층과 옆으로 배치되는 제1 전극 패드; 상기 유기발광층 상에 제공되며, 상기 절연 패턴 상으로 연장되는 제2 전극; 및상기 제2 전극 상에 제공되는 제2 전극 패드를 포함하되, 상기 제2 전극 패드는 평면적 관점에서 상기 절연 패턴과 중첩되는 유기발광소자
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16
제 15항에 있어서, 상기 기판은 제1 영역, 제2 영역, 및 제3 영역을 가지고, 상기 제1 전극 및 상기 제1 전극 패드는 상기 제1 영역과 중첩되며, 상기 제1 전극, 상기 유기발광층, 상기 제2 전극은 상기 제2 영역과 중첩되고, 상기 절연 패턴, 상기 제2 전극, 및 상기 제2 전극 패드는 상기 제3 영역과 중첩되는 유기발광소자
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17
제 15항에 있어서, 상기 나노와이어 패턴은 상기 제1 전극의 상기 제2 면을 노출시키는 개구부를 갖는 유기발광소자
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18
제 17항에 있어서, 상기 기판 및 상기 나노와이어 패턴 사이에 제공되며, 상기 개구부 내로 연장되는 버퍼층을 더 포함하되, 상기 버퍼층은 투명한 유기발광소자
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19
제 15항에 있어서, 상기 유기발광층은 평면적 관점에서 상기 제2 전극 패드와 옆으로 배치되는 유기발광소자
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20
제 15항에 있어서, 상기 절연 패턴의 상면은 상기 제2 전극의 상기 제1 면과 공면(coplanar)을 이루는 유기발광소자
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