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도파로가 단면으로부터 반원형 또는 반링형으로 식각된 형태를 갖도록 형성되는 제1 및 제2 공진기;상기 제1 및 제2 공진기로부터 출력되는 2개의 출력광의 간섭에 의한 비팅 신호를 검출하는 광 검출기; 및 상기 2개의 출력광을 굴절시켜 복수의 평행광을 출력하는 렌즈부를 포함하되,상기 제1 및 제2 공진기는, 상기 렌즈부의 초점 거리에 위치하는 것을 특징으로 하는 광센서
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제1항에 있어서, 상기 제1 공진기는, 기준 공진기로 동작하고,상기 제2 공진기는, 센싱 공진기로 동작하는 것을 특징으로 하는 광센서
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제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 공진기는,상기 단면이 상기 광 검출기를 향하도록 나란히 정렬되는 것을 특징으로 하는 광센서
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제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 공진기는, 상기 단면 상에 형성되는 고반사 코팅층을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 광센서
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제1항에 있어서, 상기 2개의 출력광은, 상기 제1 공진기에 입사되어 위스퍼링 갤러리 모드(Whispering Gellary Mode; WGM)를 형성한 광의 일부가 상기 반원형 또는 상기 반링형의 상기 단면으로 출력되는 광인 것을 특징으로 하는 광센서
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도파로가 단면으로부터 반원형 또는 반링형으로 식각된 형태를 갖도록 형성되는 제1 및 제2 공진기; 상기 제1 및 제2 공진기로부터 출력되는 2개의 출력광의 간섭에 의한 비팅 신호를 검출하는 광 검출기; 상기 단면에 집적되어 상기 복수의 출력광을 수신하는 복수의 회절 격자; 및 상기 복수의 회절 격자로부터 출력되는 광을 결합하여 상기 비팅 신호를 출력하는 결합기를 포함하되,상기 결합기는, Y자 결합기 또는 복수의 방향성 결합기인 것을 특징으로 하는 광센서
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제7항에 있어서, 상기 복수의 방향성 결합기는,얕은 용기(shallow ridge) 도파로로 구성되는 것을 특징으로 하는 광센서
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제7항에 있어서, 상기 복수의 방향성 결합기는, 상기 복수의 회절 격자 각각으로부터 출력되는 광에 대한 50%의 광 결합에 대응하는 길이 및 간격으로 설치되는 것을 특징으로 하는 광센서
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제7항에 있어서, 상기 복수의 방향성 결합기는, 제1 회절 격자로부터 출력되는 광에 대한 상기 비팅 신호를 출력하는 제1 방향성 결합기; 및제2 회절 격자로부터 출력되는 광에 대한 상기 비팅 신호가 산란 또는 흡수되도록 변형된 형태의 도파로로 구성되는 제2 방향성 결합기를 포함하는 것을 특징으로 하는 광센서
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제7항에 있어서, 상기 제1 및 제2 공진기는, 상기 단면 상에 형성되는 고반사 코팅층을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 광센서
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제7항에 있어서, 상기 2개의 출력광은, 상기 제1 공진기에 입사되어 위스퍼링 갤로리 모드(Whispering Gellary Mode; WGM)를 형성한 광의 일부가 상기 반원형 또는 상기 반링형의 상기 단면으로 출력되는 광인 것을 특징으로 하는 광센서
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서로 다른 밴드갭 에너지를 갖는 복수의 층으로 구성되는 도파로;상기 도파로 상단에 구비되는 P-InP 층; 및상기 도파로 하단에 구비되는 N-InP 층을 포함하여 구성되되,상기 도파로는, 단면으로부터 반원형 또는 반링형으로 식각된 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 공진기
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제14항에 있어서, 상기 도파로는, 임의의 밴드갭 에너지를 갖는 제1층; 및상기 제1층보다 낮은 밴드갭 에너지를 갖는 제2층을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 공진기
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제15항에 있어서, 상기 제1층 및 상기 제2층은,교대로 적층되어 다수의 양자 우물들을 가지는 활성 영역을 구성하는 것을 특징으로 하는 공진기
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제14항에 있어서, 상기 단면에 형성되는 고반사 코팅층을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 공진기
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