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교류 전기장을 이용한 초순수 제조 방법에 있어서, 순수를 저수조의 취수구로 투입하는 단계;상기 저수조의 취수구에서 이온 물질의 접근을 방지하기 위해 교류 전기장을 전극에 인가하는 단계;농축수의 농도를 일정하게 유지하도록 전동 밸브를 조절하여 상기 저수조에서 농축수를 배출하는 단계; 및상기 전극에서 형성된 상기 교류 전기장을 통과하여 나온 초순수를 상기 저수조의 추출구에서 추출하는 단계를 포함하며, 상기 교류 전기장은 이온 물질의 전기 에너지에 비례하는 교류 전기장인 것을 특징으로 하는 교류 전기장을 이용한 초순수 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 여러 가지 이온 물질들의 접근을 방지하기 위해, 여러 가지 이온 물질들의 전기 에너지에 비례하도록 상기 전극에 인가된 교류 전기장의 세기를 변화시키면서 인가하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 교류 전기장을 이용한 초순수 제조 방법
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제 2 항에 있어서, 상기 교류 전기장의 세기를 변화시키면서 인가하는 단계는 여러 가지 이온 물질들의 전기 에너지에 비례하도록 AC 파워 소스의 유효 전압, 유효 전류 및 주파수 중의 적어도 하나를 변화시키면서 교류 전기장의 세기를 변화시키는 것을 특징으로 하는 교류 전기장을 이용한 초순수 제조 방법
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제 3 항에 있어서,상기 교류 전기장의 세기 변화에 따라 상기 전동 밸브를 이용하여 유속을 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 교류 전기장을 이용한 초순수 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 저수조와 다른 저수조들을 연결하여 상기 투입하는 단계부터 상기 추출하는 단계까지 재차 반복하여 다단계로 초순수를 추출하는 단계를 더 포함하며,각 저수조의 전극에 인가되는 교류 전기장은 연결된 각 저수조마다 다른 세기를 가지는 것을 특징으로 하는 교류 전기장을 이용한 초순수 제조 방법
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교류 전기장을 이용한 초순수 제조 장치에 있어서, 초순수의 원료가 되는 순수를 투입하고, 상기 투입된 순수에서 이온 물질을 제거하여 초순수를 추출할 장소가 되는 저수조(tank);이온 물질의 접근을 방지하기 위한 교류 전기장을 인가하기 위한 전극; 상기 저수조에서 농축수의 농도를 일정하게 유지하도록 농축수의 배출을 조절하기 위한 전동 밸브; 및 상기 전극에 교류 전기장을 인가시키기 위한 AC 파워 소스를 포함하며, 상기 교류 전기장은 상기 이온 물질의 전기 에너지에 비례하는 것을 특징으로 하는 교류 전기장을 이용한 초순수 제조 장치
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제 6 항에 있어서, AC 파워 소스는 여러 가지 이온 물질들의 접근을 방지하기 위해, 여러 가지 이온 물질들의 전기 에너지에 비례하도록 상기 전극에 인가된 교류 전기장의 세기를 변화시키면서 인가시키는 것을 특징으로 하는 교류 전기장을 이용한 초순수 제조 장치
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제 7 항에 있어서, 상기 교류 전기장의 세기를 변화시키면서 인가시키는 것은 여러 가지 이온 물질들의 전기 에너지에 비례하도록 상기 AC 파워 소스의 유효 전압, 유효 전류 및 주파수 중의 적어도 하나를 변화시키면서 교류 전기장의 세기를 변화시키는 것을 특징으로 하는 교류 전기장을 이용한 초순수 제조 장치
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제 8 항에 있어서, 상기 전동 밸브를 조절하여, 상기 교류 전기장의 세기 변화에 따라 유속을 조절하는 것을 특징으로 하는 교류 전기장을 이용한 초순수 제조 장치
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제 6 항에 있어서, 상기 초순수 제조 장치들을 다단계로 설치하여 연결하고, 각 AC 파워 소스는 각 저수조마다 다른 세기를 가지는 교류 전기장을 인가하도록 하여 초순수를 추출하도록 하는 것을 특징으로 하는 교류 전기장을 이용한 초순수 제조 장치
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제 10 항에 있어서, 상기 다른 세기를 가지는 교류 전기장의 인가는 상기 각 AC 파워 소스의 유효 전압, 유효 전류 및 주파수 중의 적어도 하나를 다르게 하여, 교류 전기장의 세기를 다르게 하는 것을 특징으로 하는 교류 전기장을 이용한 초순수 제조 장치
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제 11 항에 있어서,상기 전동 밸브를 조절하여, 상기 교류 전기장의 세기 변화에 따라 유속을 조절하는 것을 특징으로 하는 교류 전기장을 이용한 초순수 제조 장치
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