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가역적으로 수소원자를 저장하거나 방출할 수 있는 MIT층(metal insulator transition layer)을 구비하는 수소저장소자(hydrogen storage element)의 저항을 실시간으로 측정함으로써 상기 수소저장소자에 함유된 상기 수소원자의 함량을 검출하는 방법으로서,상기 수소저장소자(hydrogen storage element)는 가역적으로 수소원자를 저장하거나 방출할 수 있는 MIT층(metal insulator transition layer)을 구비하고, 상기 MIT층은 터널 구조(tunnel structure)를 가지며,상기 수소저장소자는 상기 MIT층 상에 형성된 금속촉매(metal catalyst)를 구비하고, 상기 금속촉매는 균일한 간격으로 서로 이격되어 배치된 복수개의 나노입자를 포함하며,상기 나노입자에 의해 수소분자가 상기 수소원자로 해리되고, 상기 MIT층으로 상기 수소원자가 이동되며, 상기 터널 구조 내에 상기 수소원자가 저장되어 상기 MIT층의 체적을 변화시켜 상기 MIT층의 저항값이 변하고,상기 MIT층의 면 저항값을 실시간으로 측정함으로써 상기 수소원자의 함량을 검출하는 것을 특징으로 하는,터널 구조를 갖는 산화물 기반의 수소저장소자를 이용한 수소 함량의 실시간 검출 방법
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제 1 항에 있어서,상기 MIT층 내에 상기 수소원자가 저장되거나 상기 MIT층의 외부로 상기 수소원자가 방출됨으로써, 상기 MIT층이 절연체에서 금속 또는 금속에서 절연체로 상(phase) 구조가 변화하면서 상기 MIT층의 저항이 변하는,터널 구조를 갖는 산화물 기반의 수소저장소자를 이용한 수소 함량의 실시간 검출 방법
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제 1 항에 있어서,상기 MIT층은 바나듐옥사이드층 또는 바나듐옥시하이드라이드층(vanadium oxyhydride)을 포함하고,상기 바나듐옥사이드층에 수소화(hydrogenation) 처리함으로써 상기 바나듐옥사이드층이 상기 바나듐옥시하이드라이드층(vanadium oxyhydride)으로 변화되어, 상기 바나듐옥시하이드라이드층에 저장된 상기 수소원자의 함량이 증가함에 따라 저항값이 증가하는,터널 구조를 갖는 산화물 기반의 수소저장소자를 이용한 수소 함량의 실시간 검출 방법
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제 4 항에 있어서,상기 수소화 처리는 상기 바나듐옥사이드층의 바나듐원자 및 산소원자가 비어있는 상기 터널 구조(tunnel structure) 내에 상기 수소원자가 저장되어 상기 MIT층의 상 구조를 변화시키는, 터널 구조를 갖는 산화물 기반의 수소저장소자를 이용한 수소 함량의 실시간 검출 방법
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제 4 항에 있어서,상기 바나듐옥시하이드라이드층에 저장된 상기 수소원자가 방출됨으로써 상기 바나듐옥시하이드라이드층이 상기 바나듐옥사이드층으로 변화되어, 상기 바나듐옥시하이드라이드층에 저장된 상기 수소원자의 함량이 감소함에 따라 저항값이 감소하는,터널 구조를 갖는 산화물 기반의 수소저장소자를 이용한 수소 함량의 실시간 검출 방법
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제 6 항에 있어서,상기 수소원자가 저장된 상기 바나듐옥시하이드라이드층을 대기(atmosphere)중에서 어닐링(annealing)하여 상기 바나듐옥시하이드라이드층의 외부로 상기 수소원자를 방출함으로써 상기 MIT층의 상 구조를 변화시키는,터널 구조를 갖는 산화물 기반의 수소저장소자를 이용한 수소 함량의 실시간 검출 방법
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