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3차원 형상 데이터를 이용한 CD 추출 장치 및 방법(CRITICAL DIMENSION EXTRACTING APPARATUS AND METHOD USING 3-DIMENSIONAL SHAPE INFORMATION)

  • 기술번호 : KST2017013066
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 3차원 형상 데이터를 이용한 CD 추출 장치 및 방법이 개시된다. 3차원 형상 데이터를 입력받는 3차원 형상 데이터 입력 모듈; 상기 3차원 형상 데이터 입력 모듈에서 입력받은 3차원 형상 데이터를 3차원 형상의 높낮이에 따라 색상을 구별하여 디스플레이에 출력하는 3차원 형상 데이터 출력 모듈; 상기 3차원 형상 데이터 출력 모듈에 의해 출력된 3차원 형상 데이터에 대해 사용자에 의해 지정된 영역을 부분 확대하여 상기 디스플레이에 출력하는 3차원 형상 데이터 부분 확대 모듈; 상기 3차원 형상 데이터 부분 확대 모듈에 의해 부분 확대되어 출력된 3차원 형상 데이터에 대해 CD(critical dimension)를 포함하는 2차원 형상 데이터를 추출하는 2차원 형상 데이터 추출 모듈; 상기 2차원 형상 데이터 추출 모듈에 의해 추출된 2차원 형상 데이터의 노이즈(noise)를 제거하는 2차원 형상 데이터 노이즈 제거 모듈; 상기 2차원 형상 데이터 노이즈 제거 모듈에 의해 노이즈가 제거된 2차원 형상 데이터에 대해 수평화(leveling) 작업을 수행하는 2차원 형상 데이터 수평화 모듈; 상기 차원 형상 데이터 수평화 모듈에 의해 수평화 작업이 수행된 2차원 형상 데이터에 대해 CD를 지정하여 상기 디스플레이에 출력하는 2차원 형상 데이터 CD 추출 모듈을 구성한다.
Int. CL G06T 17/00 (2016.03.05) G06T 5/00 (2016.03.05) G06T 3/40 (2016.03.05)
CPC G06T 17/00(2013.01) G06T 17/00(2013.01) G06T 17/00(2013.01)
출원번호/일자 1020160011312 (2016.01.29)
출원인 한국기술교육대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0091204 (2017.08.09) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.01.29)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기술교육대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 천안시 동남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김병기 대한민국 충남 천안시 서북구
2 신우철 대한민국 충북 청주시 흥덕구
3 유두현 대한민국 충남 천안시 동남구
4 김종원 대한민국 경기도 용인시 수지구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이성원 대한민국 서울특별시 서초구 동광로**길 ***, *층(방배동, 스튜디오빌) ***호(아이피비랩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기술교육대학교 산학협력단 충청남도 천안시 동남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.01.29 수리 (Accepted) 1-1-2016-0098835-71
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.09.20 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.11.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2016-0154724-29
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.11.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0840490-19
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.01.23 수리 (Accepted) 1-1-2017-0080715-70
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.02.21 수리 (Accepted) 1-1-2017-0177768-20
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.03.21 수리 (Accepted) 1-1-2017-0278114-83
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.04.21 수리 (Accepted) 1-1-2017-0392910-51
9 지정기간연장 관련 안내서
Notification for Extension of Designated Period
2017.04.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0056107-16
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.05.16 수리 (Accepted) 1-1-2017-0463752-87
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.05.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0463766-15
12 등록결정서
Decision to grant
2017.08.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0600152-75
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.11.19 수리 (Accepted) 4-1-2018-5234295-28
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번호 청구항
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3차원 형상 데이터를 입력받는 3차원 형상 데이터 입력 모듈;상기 3차원 형상 데이터 입력 모듈에서 입력받은 3차원 형상 데이터를 3차원 형상의 높낮이에 따라 색상을 구별하여 디스플레이에 출력하는 3차원 형상 데이터 출력 모듈;상기 3차원 형상 데이터 출력 모듈에 의해 출력된 3차원 형상 데이터에 대해 사용자에 의해 지정된 영역을 부분 확대하여 상기 디스플레이에 출력하는 3차원 형상 데이터 부분 확대 모듈;상기 3차원 형상 데이터 부분 확대 모듈에 의해 부분 확대되어 출력된 3차원 형상 데이터에 대해 CD(critical dimension)를 포함하는 2차원 형상 데이터를 추출하는 2차원 형상 데이터 추출 모듈;상기 2차원 형상 데이터 추출 모듈에 의해 추출된 2차원 형상 데이터의 노이즈(noise)를 제거하는 2차원 형상 데이터 노이즈 제거 모듈;상기 2차원 형상 데이터 노이즈 제거 모듈에 의해 노이즈가 제거된 2차원 형상 데이터에 대해 수평화(leveling) 작업을 수행하는 2차원 형상 데이터 수평화 모듈;상기 2차원 형상 데이터 수평화 모듈에 의해 수평화 작업이 수행된 2차원 형상 데이터에 대해 CD를 지정하여 상기 디스플레이에 출력하는 2차원 형상 데이터 CD 추출 모듈을 포함하고,상기 2차원 형상 데이터 CD 추출 모듈은,상기 2차원 형상 데이터의 두 지점의 높이차(step) 또는 폭(width)을 지정하여 출력하고, 에지(edge), 피크(peak) 및 바텀(bottom)을 각각 추출하며, 상기 피크 및 바텀 간의 높이차를 산출하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 3차원 형상 데이터를 이용한 CD 추출 장치
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3차원 형상 데이터 입력 모듈이 3차원 형상 데이터를 입력받는 단계;3차원 형상 데이터 출력 모듈이 상기 3차원 형상 데이터 입력 모듈에서 입력받은 3차원 형상 데이터를 3차원 형상의 높낮이에 따라 색상을 구별하여 디스플레이에 출력하는 단계;3차원 형상 데이터 부분 확대 모듈이 상기 3차원 형상 데이터 출력 모듈에 의해 출력된 3차원 형상 데이터에 대해 사용자에 의해 지정된 영역을 부분 확대하여 상기 디스플레이에 출력하는 단계;2차원 형상 데이터 추출 모듈이 상기 3차원 형상 데이터 부분 확대 모듈에 의해 부분 확대되어 출력된 3차원 형상 데이터에 대해 CD(critical dimension)를 포함하는 2차원 형상 데이터를 추출하는 단계;2차원 형상 데이터 노이즈 제거 모듈이 상기 2차원 형상 데이터 추출 모듈에 의해 추출된 2차원 형상 데이터의 노이즈(noise)를 제거하는 단계;2차원 형상 데이터 수평화 모듈이 상기 2차원 형상 데이터 노이즈 제거 모듈에 의해 노이즈가 제거된 2차원 형상 데이터에 대해 수평화(leveling) 작업을 수행하는 단계;2차원 형상 데이터 CD 추출 모듈이 상기 2차원 형상 데이터 수평화 모듈에 의해 수평화 작업이 수행된 2차원 형상 데이터에 대해 CD를 지정하여 상기 디스플레이에 출력하는 단계를 포함하고,상기 2차원 형상 데이터 CD 추출 모듈이 상기 2차원 형상 데이터 수평화 모듈에 의해 수평화 작업이 수행된 2차원 형상 데이터에 대해 CD를 지정하여 상기 디스플레이에 출력하는 단계는,상기 2차원 형상 데이터의 두 지점의 높이차(step) 또는 폭(width)을 지정하여 출력하고, 에지(edge), 피크(peak) 및 바텀(bottom)을 각각 추출하며, 상기 피크 및 바텀 간의 높이차를 산출하도록 구성되는 3차원 형상 데이터를 이용한 CD 추출 방법
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