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상호 비접촉되며 마찰이 발생되지 않도록 연결되는 복수의 물체를 포함하는 운동유닛; 및상기 복수의 물체들 사이의 자기력 발생을 제어하여, 상기 운동유닛의 복수의 물체를 상호 비접촉 및 무마찰 운동시키도록 제어하는 제어유닛; 을 포함하며, 상기 운동유닛은, 제1구동체; 상기 제1구동체에 대해 Z축 방향으로 마주하도록 이격되는 제2구동체; 및상기 제1 및 제2구동체 사이에 마련되어, 상기 제1 및 제2구동체를 상호 탄성적으로 연결시키는 연결부; 를 포함하고, 상기 제어유닛은, x, y 및 z축 방향으로 마련되어, 상기 제2구동체와 마주하도록 상기 제1구동체에 설치되는 복수의 영구자석을 포함하는 영구자석부; x, y 및 z축 방향으로 마련되어, 상기 제1구동체와 마주하도록 상기 제2구동체에 설치되는 복수의 코일을 포함하는 코일부; 및상기 코일부로 인가되는 전류를 제어하는 전류 제어부; 를 포함하고, 상기 영구자석부는, z축으로 동일한 방향을 가지고 상호 다열 및 다행으로 이격되도록 상기 제1구동체에 복수개 마련되는 z축 자석;상기 복수의 z축 자석 사이에 상호 x축 방향으로 마주하되, x축으로 동일한 방향을 가지고 상호 이격되도록 상기 제1구동체에 복수개 마련되는 x축 자석; 및상기 복수의 z축 자석 사이에 상호 y축 방향으로 마주하되, y축으로 동일한 방향을 가지고 상호 이격되도록 상기 제1구동체에 복수개 마련되는 y축 자석; 을 포함하며, 상기 코일부는,상기 복수의 z축 자석들과 각각 대면하도록 상기 제2구동체에 복수개 마련되는 z축 코일; 상기 복수의 x축 자석들과 각각 대면하도록 상기 제2구동체에 복수개 마련되는 x축 코일; 및상기 복수의 y축 자석들과 각각 대면하도록 상기 제2구동체에 복수개 마련되는 y축 코일;을 포함하는 정밀 공간 운동기
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제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2구동체는 상호 대응되는 사각 평판 형상을 가지며, 상기 연결부는 상기 제1 및 제2구동체 사이에서 상기 제1 및 제2구동체를 상호 무마찰 연결시키는 복수의 탄성체를 포함하는 정밀 공간 운동기
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제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2구동체 중 어느 하나에는 z축 방향으로 돌출된 구동돌기가 마련되며, 다른 하나에는 상기 구동돌기가 통과될 수 있는 구동홀이 마련되는 정밀 공간 운동기
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제1항에 있어서,상기 제2구동체에는 상기 복수의 z축 자석들이 z축 방향으로 통과할 수 있는 복수의 개구가 마련되는 정밀 공간 운동기
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제1항에 있어서, 상기 복수의 z축 자석들은 x축 및 y축 방향으로 상호 등간격으로 이격되도록 다열 및 다행으로 마련되고, 상기 복수의 x축 자석은 상기 복수의 z축 자석 중에서 상호 y축 방향으로 마주하는 상기 z축 자석들 사이에 마련되어, x축 방향으로 상호 마주하도록 적어도 한 쌍으로 마련되며, 상기 복수의 y축 자석은 상기 복수의 z축 자석 중에서 상호 x축 방향으로 마주하는 상기 z축 자석들 사이에 마련되어, y축 방향으로 상호 마주하도록 적어도 한 쌍으로 마련되는 정밀 공간 운동기
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제1항에 있어서, 상기 복수의 z축 자석은, z축 방향을 가지고 상기 제1구동체에 설치되는 제1자석, z축 방향을 가지고 상기 제1자석에 대해 x축 양(+)의 방향으로 이격되도록 상기 제1구동체에 설치되는 제2자석, z축 방향을 가지고 상기 제1자석에 대해 y축 음(-)의 방향으로 이격되도록 상기 제1구동체에 설치되는 제3자석 및 z축 방향을 가지고 상기 제3자석에 대해 x축 양(+)의 방향으로 이격되도록 상기 제1구동체에 설치되는 제4자석을 포함하고, 상기 복수의 x축 자석은 x축 방향을 가지고 마주하는 상기 제1 및 제2자석 사이의 제1구동체에 설치되는 제5자석 및 x축 방향을 가지고 마주하는 상기 제3 및 제4자석 사이에 마련되어, 상기 제5자석과 y축 방향으로 상호 마주하도록 상기 제1구동체에 설치되는 제6자석을 포함하고, 상기 복수의 y축 자석은 y축 방향을 가지고 마주하는 상기 제1 및 제3자석 사이의 제1구동체에 설치되는 제7자석 및 y축 방향을 가지고 마주하는 상기 제2 및 제4자석 사이에 마련되어, 상기 제7자석과 x축 방향으로 상호 마주하도록 상기 제1구동체에 설치되는 제8자석을 포함하며, 상기 코일부는,상기 제1 내지 제8자석과 각각 마주하는 위치의 제2구동체에 설치되는 제1 내지 제8코일을 포함하는 정밀 공간 운동기
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제9항에 있어서, 상기 제2구동체에는 상기 제1 내지 제4자석들이 z축 방향으로 통과할 수 있는 복수의 개구가 마련되는 정밀 공간 운동기
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상호 비접촉되며 탄성적으로 연결되는 복수의 구동체를 포함하는 운동유닛; 및자기력을 제어하여, 상기 복수의 구동체가 6자유도 및 3차원 공간 구동되도록 제어하는 제어유닛; 을 포함하며, 상기 운동유닛은, 제1구동체; 상기 제1구동체에 대해 Z축 방향으로 마주하도록 이격되는 제2구동체; 및상기 제1 및 제2구동체 사이에 복수개 마련되는 탄성체를 포함하여, 상기 제1 및 제2구동체를 상호 탄성적으로 무마찰 연결시키는 연결부; 를 포함하고, 상기 제어유닛은, x, y 및 z축 방향으로 마련되어, 상기 제2구동체와 마주하도록 상기 제1구동체에 설치되는 복수의 영구자석을 포함하는 영구자석부; x, y 및 z축 방향으로 마련되어, 상기 제1구동체와 마주하도록 상기 제2구동체에 설치되는 복수의 코일을 포함하는 코일부; 및상기 코일부로 인가되는 전류를 제어하는 전류 제어부;를 포함하며, 상기 영구자석부는, z축 방향을 가지고 상기 제1구동체에 설치되는 제1자석;z축 방향을 가지고 상기 제1자석에 대해 x축 양(+)의 방향으로 이격되도록 상기 제1구동체에 설치되는 제2자석;z축 방향을 가지고 상기 제1자석에 대해 y축 음(-)의 방향으로 이격되도록 상기 제1구동체에 설치되는 제3자석; z축 방향을 가지고 상기 제3자석에 대해 x축 양(+)의 방향으로 이격되도록 상기 제1구동체에 설치되는 제4자석; x축 방향을 가지고 마주하는 상기 제1 및 제2자석 사이의 제1구동체에 설치되는 제5자석; x축 방향을 가지고 마주하는 상기 제3 및 제4자석 사이에 마련되어, 상기 제5자석과 y축 방향으로 상호 마주하도록 상기 제1구동체에 설치되는 제6자석; y축 방향을 가지고 마주하는 상기 제1 및 제3자석 사이의 제1구동체에 설치되는 제7자석; 및y축 방향을 가지고 마주하는 상기 제2 및 제4자석 사이에 마련되어, 상기 제7자석과 x축 방향으로 상호 마주하도록 상기 제1구동체에 설치되는 제8자석; 을 포함하며, 상기 코일부는,상기 제1 내지 제8자석과 각각 마주하는 위치의 제2구동체에 설치되는 제1 내지 제8코일을 포함하는 정밀 공간 운동기
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제11항에 있어서, 상기 제1 및 제2구동체 중 어느 하나에는 z축 방향으로 돌출된 구동돌기가 마련되며, 다른 하나에는 상기 구동돌기가 통과될 수 있는 구동홀이 마련되는 정밀 공간 운동기
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제11항에 있어서,상기 제2구동체에는 상기 복수의 z축 영구자석들이 z축 방향으로 통과할 수 있는 복수의 개구가 마련되는 정밀 공간 운동기
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