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웨이퍼 상에 댐을 설계하기 위한 유한 요소 해석 방법(FINITE ELEMENT ANALYSIS METHOD FOR DESIGNING DAM ON WAFER)

  • 기술번호 : KST2017013152
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 웨이퍼 상에 댐을 최적 설계하기 위한 유한 요소 해석 방법은, 웨이퍼 및 댐을 3차원 모델링하되, 웨이퍼의 크기 및 댐의 패턴 중 하나 이상을 다양하게 3차원 모델링하는 단계, 웨이퍼 및 댐의 물성치를 설정하는 단계, 물성치가 설정된 웨이퍼 및 댐의 구속 조건을 설정하는 단계, 구속 조건이 설정된 웨이퍼의 온도 편차 및 휨 변형량을 획득하는 단계 및 획득된 온도 편차 및 휨 변형량을 근거로 댐을 최적 설계하기 위한 요소를 해석하는 단계를 포함한다.
Int. CL H01L 23/495 (2016.03.11) H01L 21/768 (2016.03.11) H01L 29/06 (2016.03.11) H01L 27/06 (2016.03.11) H01L 27/02 (2016.03.11)
CPC H01L 23/49531(2013.01) H01L 23/49531(2013.01) H01L 23/49531(2013.01) H01L 23/49531(2013.01) H01L 23/49531(2013.01) H01L 23/49531(2013.01)
출원번호/일자 1020160013124 (2016.02.02)
출원인 서울과학기술대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0092067 (2017.08.10) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.02.02)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울과학기술대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 노원구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김종형 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 고현준 대한민국 서울특별시 중랑구
3 임승용 대한민국 서울특별시 동대문구
4 장동휘 대한민국 인천광역시 부평구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 윤귀상 대한민국 서울특별시 금천구 디지털로*길 ** ***호 (가산동, 한신IT타워*차)(디앤특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서울과학기술대학교 산학협력단 서울특별시 노원구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.02.02 수리 (Accepted) 1-1-2016-0113938-73
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.10.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.12.20 수리 (Accepted) 9-1-2016-0052976-97
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.04.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0236615-18
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.06.01 수리 (Accepted) 1-1-2017-0524343-81
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.06.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0524344-26
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.08.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0605389-49
8 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2017.09.29 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-0958580-07
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.09.29 수리 (Accepted) 1-1-2017-0958579-50
10 등록결정서
Decision to Grant Registration
2017.10.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0727679-13
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번호 청구항
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웨이퍼 레벨 패키지에 있어서 웨이퍼의 휨 현상 및 깨짐이 해결되도록 웨이퍼 상에 댐(dam)을 설계하기 위한 유한 요소 해석 방법으로서,상기 웨이퍼 및 댐을 3차원 모델링하되, 상기 댐의 패턴을 트라이앵글 패턴, 라운딩 패턴 및 직선 패턴을 포함하는 복수의 패턴으로 모델링하는 것인 3차원 모델링하는 단계;상기 웨이퍼 및 댐의 물성치를 설정하는 단계;상기 물성치가 설정된 상기 웨이퍼 및 댐의 구속 조건을 설정하는 단계;상기 구속 조건이 설정된 웨이퍼의 온도 편차 및 휨 변형량을 상기 댐의 패턴별로 획득하는 단계; 및상기 댐의 패턴별로 획득된 온도 편차 및 휨 변형량을 기초로 상기 댐의 패턴별로 획득된 온도 편차의 평균값을 산출하여 각 패턴에 따른 온도 편차의 차이값을 비교하고, 상기 댐의 패턴별로 획득된 휨 변형량을 비교하여 상기 댐을 설계하기 위해 상기 복수의 댐의 패턴 중에서 어느 하나의 패턴을 선택하는 단계를 포함하는, 웨이퍼 상에 댐을 설계하기 위한 유한 요소 해석 방법
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삭제
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제 1 항에 있어서,상기 3차원 모델링하는 단계에서, 상기 웨이퍼는 300mm 및 450mm 의 크기 중 어느 하나의 크기로 모델링되는, 웨이퍼 상에 댐을 설계하기 위한 유한 요소 해석 방법
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제 3 항에 있어서,상기 300mm 웨이퍼는 노드수 및 요소의 개수가 각각 222705 및 23331이고, 450mm 웨이퍼는 노드수 및 요소의 개수가 각각 382347 및 131696인, 웨이퍼 상에 댐을 설계하기 위한 유한 요소 해석 방법
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제 1 항에 있어서,상기 구속 조건은 공정 시간 및 공정 온도를 포함하고, 상기 공정 시간은 3600초까지이며 상기 공정 온도는 200℃까지 승온되는, 웨이퍼 상에 댐을 설계하기 위한 유한 요소 해석 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 재영솔루텍(주) 제조기반산업원천기술개발사업 두께 3.5mm 이하급 이미지센서-경통 일체형 화상통화용 카메라 모듈의 융합 생산기반 기술 개발