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(a) 플렉시블 기판 상에 미리 결정된 패턴을 갖는 히터 전극을 형성하는 단계;(b) 상기 히터 전극 상의 미리 결정된 영역에 절연층을 형성하는 단계;(c) 상기 절연층 상에 미리 결정된 패턴을 갖는 감지 전극을 형성하는 단계; 및(d) 상기 감지 전극 상에 가스 감지층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 가스 센서의 제조 방법
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제 1항에 있어서,상기 (a) 단계는,(a1) 상기 플렉시블 기판 상에 상기 미리 결정된 패턴에 따라 포토 레지스트 층을 형성하는 단계;(a2) 상기 플렉시블 기판 표면을 플라즈마 처리하는 단계; 및(a3) 상기 플렉시블 기판 상에 전극 물질을 도포하여 상기 히터 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 가스 센서의 제조 방법
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제 2항에 있어서,상기 (a3) 단계에서,상기 전극 물질은 Ti 및 Pt를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 가스 센서의 제조 방법
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제 3항에 있어서,상기 (a3) 단계는,(a31) 상기 플렉시블 기판 상에 상기 Ti가 포함된 제1 물질층을 형성하는 단계; 및(a32) 상기 제1 물질층 상에 상기 Pt가 포함된 제2 물질층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 가스 센서의 제조 방법
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제 1항에 있어서,상기 (b) 단계에서,상기 절연층은 Al2O3 소재로 형성되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 가스 센서의 제조 방법
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제 1항에 있어서,상기 (c) 단계는,(c1) 상기 절연층 상에 상기 미리 결정된 패턴에 따라 포토 레지스트 층을 형성하는 단계; 및(c2) 상기 절연층 상에 전극 물질을 도포하여 상기 감지 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 가스 센서의 제조 방법
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제 6항에 있어서,상기 전극 물질은 Ti 및 Pt를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 가스 센서의 제조 방법
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제 7항에 있어서,상기 (c2) 단계는,(c21) 상기 절연층 상에 상기 Ti가 포함된 제3 물질층을 형성하는 단계; 및(c22) 상기 제3 물질층 상에 상기 Pt가 포함된 제4 물질층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 가스 센서의 제조 방법
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제 1항에 있어서,상기 (d) 단계는,(d1) 상기 감지 전극의 상부면 및 상기 절연층의 노출면을 플라즈마 처리하는 단계; 및(d2) 상기 감지 전극의 상부면 및 상기 절연층의 노출면에 상기 가스 감지층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 가스 센서의 제조 방법
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제 1항에 있어서,상기 (a) 단계에서,상기 플렉시블 기판은 PI(Polymide) 기판인 것을 특징으로 하는 플렉시블 가스 센서의 제조 방법
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제 1항에 있어서,상기 (d) 단계에서,상기 가스 감지층은 SnO2 소재로 형성되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 가스 센서의 제조 방법
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플렉시블 기판;상기 플렉시블 기판 상에 형성되는 히터 전극;상기 히터 전극 상의 미리 결정된 영역에 형성되는 절연층;상기 절연층 상에 형성되는 감지 전극; 및상기 감지 전극 상에 형성되는 가스 감지층을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 가스 센서
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제 12항에 있어서,상기 히터 전극은 일단 및 타단에 각각 구비되는 제1 단자부 및 제2 단자부, 상기 제1 단자부 및 상기 제2 단자부 사이에 미리 결정된 간격을 갖도록 복수 개가 구비되는 핑거부, 및 상기 복수 개의 핑거부 각각의 전단 또는 후단에 구비되어 상기 제1 단자부, 상기 복수 개의 핑거부, 및 상기 제2 단자부를 전기적으로 연결하는 연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 가스 센서
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제 12항에 있어서,상기 감지 전극은 전단 및 후단에 각각 구비되는 제1 지지부 및 제2 지지부, 상기 제1 지지부 후측에 복수 개가 돌출 형성되며 각각 미리 결정된 간격을 갖도록 이격되어 구비되는 제1 핑거부, 상기 제2 지지부 전측에 복수 개가 돌출 형성되며 각각 미리 결정된 간격을 갖도록 이격되어 구비되는 제2 핑거부를 포함하고,상기 제1 핑거부 및 상기 제2 핑거부는 서로 미리 결정된 간격을 갖도록 이격되어 구비되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 가스 센서
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제 12항에 있어서,상기 플렉시블 기판은 PI(Polymide) 기판인 것을 특징으로 하는 플렉시블 가스 센서
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제 12항에 있어서,상기 감지층은 SnO2 소재로 형성되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 가스 센서
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